复合碱土金属氧化物的制作方法

专利名称：复合碱土金属氧化物的制作方法
技术领域：
本发明涉及含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的复合碱土金属氧化物。 本发明的复合碱土金属氧化物可以有利地用作通过电子束蒸镀法或溅射法等物理气相生长法(PVD)制造含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的膜时的膜材料。
背景技术：
交流型等离子体显示面板(以下，也称作为AC型PDP)通常包括作为图像显示面的前面板、和夹持填充了放电气体的放电空间而对向配置的背面板。前面板包括前面玻璃基板、在前面玻璃基板上形成的一对放电电极、被覆放电电极的介电体层、以及在介电体层的表面形成的介电体层保护膜。背面板包括背面玻璃基板、在背面玻璃基板上形成的寻址电极、被覆背面玻璃基板和寻址电极且分隔放电空间的隔板，以及配置于隔板表面的用红色发光荧光体、绿色发光荧光体、蓝色发光荧光体的各荧光体形成的荧光体层。介电体层保护膜保护介电体层免于受到来自放电空间内生成的等离子体造成的离子冲击，另外在AC型PDP的放电开始时，还具有发射二次电子而使放电开始电压降低的效果。因此，要求介电体层保护膜的耐溅射性高，并且二次电子发射系数高。作为满足这种要求的介电体层保护膜，目前广泛利用着氧化镁膜。作为介电体层保护膜用的氧化镁膜的成膜方法，广泛利用着电子束蒸镀法。电子束蒸镀法是指对于成膜用材料(蒸镀材料)照射电子束，使氧化镁气化，并使气化的氧化镁沉积在基体上而形成膜的方法。为了进一步降低AC型PDP的放电开始电压，有效的是提高介电体层保护膜的二次电子发射系数。已知对于碱土金属氧化物，二次电子发射系数以氧化镁、氧化钙、氧化锶、氧化钡的顺序逐次变高，正在研究介电体层保护膜中使用蒸镀膜的技术，所述蒸镀膜通过使用在氧化镁中添加了氧化镁以外的碱土金属氧化物的蒸镀材料并利用电子束法而制造。但是，碱土金属氧化物的吸湿性以氧化镁、氧化钙、氧化锶、氧化钡的顺序依次变高。即，含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的蒸镀材料与仅含有氧化镁的蒸镀材料相比，吸湿性变高。对于在利用电子束蒸镀法制造膜的过程中使用的蒸镀材料，期望其吸湿性低。这是因为如果蒸镀材料吸附有水分，则在利用电子束蒸镀法制造膜时，水分会从蒸镀材料上依次脱离，蒸镀装置内的真空度变得不稳定，而难以制造均勻厚度的膜。应予说明，期望成膜用材料的吸湿性低，这即使对于溅射法也一样，所述溅射法是使由离子的冲击而从靶材飞溅出的粒子沉积在基体上而制造膜的方法。专利文献1中记载了氧化镁蒸镀材料，其是可有利地用于通过电子束蒸镀法来形成氧化镁膜的氧化镁蒸镀材料，所述氧化镁膜可用作AC型PDP的电介质层保护膜，该氧化镁蒸镀材料中含有氧化镁以外的碱土金属氧化物和金属元素的价数为3价、4价或5价的任一者的金属氧化物，所述氧化镁以外的碱土金属氧化物和金属元素的价数为3价、4价或5 价的任一者的金属氧化物各自换算成金属元素量为0. 005摩尔％以上，且其总量换算成金属元素量为6摩尔％以下。该专利文献1有下述主旨的记载碱土金属氧化物和金属元素的价数为3 5价的金属氧化物的含量以换算成金属元素量的摩尔比计优选为2:1 1:2 的范围，实施例中记载的氧化镁蒸镀材料的碱土即使农户氧化物和金属氧化物的含量以换算成金属元素量的摩尔比计为1:1。专利文献1 日本特开2005-330574号公报。

发明内容
专利文献1中记载的氧化镁蒸镀材料在利用电子束蒸镀法形成氧化镁膜时是有利的材料之一。但是，根据本发明人的研究表明，伴随蒸镀材料中含有的3 5价金属元素的氧化物的量变多，使用该蒸镀材料利用电子束法制造的蒸镀膜却存在碱土金属氧化物的添加所致的二次电子发射系数的提高效果相对变低的倾向。本发明的目的在于提供成膜用材料，其虽然含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物，但吸湿性低，且可以利用电子束蒸镀法或溅射法等物理气相生长法制造二次电子发射系数高的膜。本发明人为了解决上述课题反复进行了研究，结果发现只要氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的含量比以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 80:20的范围， 则即使令价数为3价、4价或5价的任一者的金属的氧化物添加量相对于镁以外的碱土金属1摩尔、以金属元素量计为0. 0002 0. 1摩尔的范围这样少的量，也可以得到相对密度高达95. 0 99. 9%，吸湿性被抑制到实用上没有问题程度的复合碱土金属氧化物，且使用该复合碱土金属氧化物利用物理气相生长法制造的膜具有高的二次电子发射系数，从而完成了本发明。因此，本发明在于复合碱土金属氧化物，其是按以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 80:20的范围的比例含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物，且相对密度在95. 0 99. 9%的范围的复合碱土金属氧化物，其中，进一步含有价数为3价、4价或5 价的任一者的至少一种金属元素的氧化物，该金属元素的氧化物含量相对于上述碱土金属 1摩尔，以该金属元素的量计为0. 0002 0. 1摩尔的范围。复合碱土金属氧化物通常为颗粒等的块状物。本发明的复合碱土金属氧化物的优选方式如下所述。(1)氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的含量，以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98 2 90 10的范围的比例。(2)氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的含量，以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 92:8的范围的比例。(3)价数为3价、4价或5价的任一者的金属元素的氧化物的含量，相对于碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 002 0. 1摩尔的范围。(4)价数为3价、4价或5价的任一者的金属元素的氧化物的含量，相对于碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 005 0. 05摩尔的范围。(5)价数为3价、4价或5价的任一者的金属元素的氧化物是选自硼、铝、锆、钛和硅中的至少一种金属元素的氧化物。本发明还在于包含上述本发明的复合碱土金属氧化物的、用于利用物理气相生长法进行成膜的材料。
本发明还在于制造在基体上含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的膜的方法，其包含使用上述本发明的复合碱土金属氧化物、并利用物理气相生长法使氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物气化、使气化的氧化镁和碱土金属氧化物沉积在基体上。物理气相生长法优选为对复合碱土金属氧化物照射电子束的方法。本发明还在于上述本发明的复合碱土金属氧化物的制造方法，其含有
准备水性分散液的工序，该水分散液在水性溶剂中，按以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 80:20的范围的比例分散有镁化合物的粒子和镁化合物以外的碱土金属化合物的粒子，且进一步溶解有水溶性金属化合物，该水溶性金属化合物含有价数为3价、 4价或5价的任一者的至少一种金属元素，该水溶性金属化合物的溶解量相对于该碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 0002 0. 1摩尔的范围； 将该水性分散液干燥而得到粒状物的工序； 将该粒状物成形而得到块状物的工序； 将该块状物在1400 1700°C的温度下进行烧成的工序。本发明进一步在于上述本发明的复合碱土金属氧化物的制造方法，其含有
准备水性分散液的工序，该水分散液在水性溶剂中，按以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 80:20的范围的比例分散有镁化合物的粒子和镁化合物以外的碱土金属化合物的粒子，且进一步分散有金属化合物粒子，该金属化合物粒子是含有价数为3价、4 价或5价的任一者的至少一种金属元素的化合物的粒子、且平均粒径相对于该碱土金属化合物的粒子的平均粒径为1/10以下，该金属化合物粒子的分散量相对于该碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 0002 0. 1摩尔的范围； 将该水性分散液干燥而得到粒状物的工序； 将该粒状物成形而得到块状物的工序； 将该块状物在1400 1700°C的温度下进行烧成的工序。本发明的复合碱土金属氧化物在温度30°C、相对湿度80%的环境下静置7天时的质量增加率通常为0.1质量％以下、特别为0. 01质量％以下，吸湿性低，水分难以吸附，因而可以有利地用作利用电子束蒸镀法或溅射法等物理气相生长法制造膜时的成膜用材料。 另外，使用本发明的复合碱土金属氧化物利用物理气相生长法制造的膜由于含有氧化镁以外的碱土金属氧化物，因此二次电子发射系数高，可以作为AC型PDP的介电体层保护膜而有利地使用。进一步地，通过利用本发明的复合碱土金属氧化物的制造方法，可以在工业上有利地制造含有氧化镁以外的碱土金属氧化物、同时吸湿性低的复合碱土金属氧化物。
具体实施例方式本发明的复合碱土金属氧化物可以有利地用作利用物理气相生长法进行的成膜用材料。本发明的成膜用材料包括利用电子束蒸镀法制造膜时使用的蒸镀材料和利用溅射法制造膜时使用的靶材。本发明的复合碱土金属氧化物，按以镁和碱土金属的摩尔比(Mg 碱土金属)计为 98:2 80:20的范围、优选98:2 86:14的范围、更优选98:2 90:10的范围、特别优选 98:2 92:8的范围含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属的氧化物。作为氧化镁以外的碱土金属氧化物的例子，可以列举氧化钙、氧化锶和氧化钡。这些碱土金属氧化物可以单独使用1种，也可以将两种以上组合使用。本发明的复合碱土金属氧化物进一步含有价数为3价、4价或5价的任一者的金属的氧化物，该金属的氧化物的含量相对于镁以外的碱土金属1摩尔、以金属元素量计为 0. 0002 0. 1摩尔的范围、优选0. 002 0. 1摩尔的范围、更优选0. 004 0. 08摩尔的范围、特别优选0. 005 0. 05摩尔的范围。上述金属氧化物在成膜用材料的制造时起到烧结辅助材料的作用，具有提高成膜用材料的密度的效果。上述金属氧化物的例子可以列举硼、 铝、锆、钛和硅的氧化物。这些金属氧化物可以单独使用1种，也可以将两种以上组合使用。 金属氧化物也可以与氧化镁或氧化镁以外的碱土金属氧化物形成复合氧化物。本发明的复合碱土金属氧化物的相对密度在95. 0 99. 9%的范围，优选96. 0 99. 9%的范围。相对密度是相对于复合碱土金属氧化物的理论密度的百分率。在本发明中， 理论密度是用复合碱土金属氧化物的氧化镁含有率乘以氧化镁的理论密度求得的氧化镁部分的理论密度、与用复合碱土金属氧化物的氧化镁以外的碱土金属氧化物含有率乘以碱土金属氧化物的理论密度求得的碱土金属氧化物部分的理论密度的合计值。本发明的复合碱土金属氧化物例如可以通过下述方法来制造，所述方法含有准备水性分散液的工序，该水分散液分散有镁化合物的粒子和镁化合物以外的碱土金属化合物的粒子，且进一步含有金属化合物，该金属化合物含有价数为3价、4价或5价的任一者的至少一种金属元素；将该水性分散液干燥而得到粒状物的工序；将该粒状物成形而得到块状物的工序；将该块状物烧成的工序。上述镁化合物粒子、即氧化镁源粒子可以使用氧化镁粒子和通过烧成而生成氧化镁的水难溶性镁化合物的粒子。水难溶性镁化合物粒子的例子可以列举氢氧化镁粒子、碳酸镁粒子和碱式碳酸镁粒子。镁化合物粒子优选为氧化镁粒子。氧化镁粒子优选为利用气相法制造的粒子。气相法是使金属镁蒸气与氧进行气相氧化反应而生成氧化镁粒子的方法。 上述镁化合物粒子优选BET比表面积换算粒径为IOnm 1 μ m的范围。在本发明中，BET比表面积换算粒径是由利用BET法测定的粒子的BET比表面积和粒子的真密度，利用下式算出的粒径。BET比表面积换算粒径=比表面积形状系数/ (粒子的BET比表面积X粒子的真密度)
其中，比表面积形状系数为6。上述镁化合物以外的碱土金属化合物的粒子、即碱土金属氧化物源粒子可以使用通过烧成而生成碱土金属的氧化物的水难溶性碱土金属化合物的粒子。水难溶性碱土金属化合物粒子的例子可以列举氢氧化物粒子和碳酸盐粒子。碱土金属化合物粒子优选BET比表面积换算粒径为IOnm 2 μ m的范围。优选碱土金属化合物粒子与镁化合物粒子相比，BET比表面积换算粒径大，为1. 1 5. 0倍的范围， 特别为1.1 2.0倍的范围。上述含有价数为3价、4价或5价的任一者的至少一种金属元素的金属化合物、即金属氧化物源可以是水溶性的，也可以是水难溶性的。当使用水溶性金属化合物时，使水溶性金属化合物溶解在水性分散液中。水溶性金属化合物的例子可以列举氯化物和硝酸盐。另外，当金属元素为硼时，可以列举硼酸。当使用水难溶性金属化合物时，使水难溶性金属化合物的粒子分散于水性分散液中。水难溶性金属化合物的例子可以列举氧化物。水难溶性金属化合物的粒子优选平均粒径为碱土金属化合物粒子的平均粒径的1/10以下，特别为1/30 1/10的范围。平均粒径可以使用BET比表面积换算粒径。水性分散液的水性溶剂可以使用水、以及水和对于水的亲和性高的有机溶剂的混合液。有机溶剂的例子可以列举乙醇、丙醇等低级醇、丙酮等酮。对于水和有机溶剂的混合液，优选水和有机溶剂的含量以质量比(水有机溶剂)计为5:95 50:50的范围。水性分散液中镁化合物粒子和碱土金属化合物粒子的合计浓度优选为10 75质量％的范围。水性分散液中的镁化合物粒子和碱土金属化合物粒子的比例以镁和碱土金属的摩尔比计为98:2 80:20的范围。水性分散液中金属化合物源的量相对于碱土金属1 摩尔、以金属元素量计为0. 0002 0. 1摩尔的范围的量。优选在水性分散液中添加水溶性聚合物。水溶性聚合物在以后的工序中、在将粒状物成形为块状物时作为粘合剂发挥作用。水溶性聚合物的例子可以列举聚乙二醇、聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛和水溶性丙烯酸系共聚物。优选分散液中的水溶性聚合物浓度相对于镁化合物粒子和碱土金属化合物粒子的合计量100质量份为0. 10 10质量份的范围。在将上述水性分散液干燥而得到粒状物的方法中，可以使用利用喷雾干燥器的喷雾干燥法。在将上述粒状物成形为块状物(颗粒)的方法中，可以使用加压成形法。成形压力一般为0.3 3吨/cm2的范围。块状物的烧成温度通常为1400 1700°C的范围，优选为1500 1600°C的范围。 烧成时间根据块状物的尺寸(特别是厚度)或烧成温度等重要条件而变化，因此不能一概而论，一般为1 8小时。本发明的复合碱土金属氧化物可以有利地用作由电子束蒸镀法制造膜时的蒸镀材料。即，将本发明的碱土金属氧化物配置于电子束蒸镀装置的蒸镀室中，一边将蒸镀室维持在减压下，一边向复合碱土金属氧化物照射电子束，使复合碱土金属氧化物中的氧化镁和碱土金属氧化物气化，并将气化的氧化镁和碱土金属氧化物沉积在基体上，由此可以制造在基体上含有氧化镁和碱土金属氧化物的膜。膜制造时的蒸镀室的内压优选以氧分压计维持在5 KT2Pa以下。
实施例实施例1
(1)分散有氧化镁粒子和氢氧化钙粒子的水性分散液的制备
将氧化镁粉末(用气相法制造的，纯度99. 9质量％，BET比表面积换算粒径180nm) 7. 03摩尔、氢氧化钙粉末(纯度99. 9质量％，BET比表面积换算粒径270nm) 0. 30摩尔分散于水712. 51mL中，制备以镁和钙的摩尔比计为96 4 (Mg:Ca)的比例分散有氧化镁粒子和氢氧化钙粒子的水性分散液。(2)复合碱土金属氧化物的烧结体颗粒的制造
在上述(1)所制备的水性分散液中加入预先溶解于水中的硼酸0. 0028摩尔，并搅拌1 小时后，加入聚乙烯醇7. 63g、聚乙二醇1. 22g，进一步进行搅拌。接着，使用喷雾干燥器将搅拌后的水性分散液在200°C的干燥温度下进行喷雾干燥。将所得粒状物以2吨/cm2的成形压力成形为颗粒状(直径为8mm，厚度为3mm，成形体密度为2. 2g /cm2)。将得到的颗粒状成形物在1570°C的温度下烧成5小时，得到复合碱土金属氧化物的烧结体颗粒。通过下述方法测定所得烧结体颗粒的相对密度和吸湿所致的质量增加率。其结果示于表1。[相对密度]
通过使用煤油作为标准物质的阿基米德法测定烧结体颗粒的密度，利用下式算出相对
也/又。相对密度=IOOX测定的烧结体颗粒的密度(g/cm3)/烧结体颗粒的理论密度 (=3. 572g/cm3)
应予说明，将氧化镁和氧化钙的摩尔比设为96:4、氧化镁的理论密度设为3. 585g/cm3、 分子量设为40. 3g/摩尔、氧化钙的理论密度设为3. 350g/cm3、分子量设为56. Ig/摩尔，烧结体颗粒的理论密度通过下式求得。烧结体颗粒的理论密度=3.585X96X40. 3/ (96X40. 3 + 4X56. 1) + 3. 350X4X56. 1/ (96X40. 3 + 4X56. 1)
将预先测定了质量的烧结体颗粒在调节至温度30°C、相对湿度80%的恒温恒湿器内静置7天。测定静置后的烧结体颗粒的质量增加量，算出相对于静置前烧结体颗粒的质量的质量增加率。[实施例2]
除了在实施例1 (2)中，在水性分散液中加入铝浓度为0. 0015摩尔/g的硝酸铝水溶液15. 3061g来代替硼酸以外，其它与实施例1同样来制造烧结体颗粒，测定烧结体颗粒的相对密度和吸湿所致的质量增加率。其结果示于表1。[实施例3]
除了在实施例1 (2)中，在水性分散液中加入预先溶解于水中的硝酸氧锆(力矢〉硝酸夕> 二二々Λ )o. 0025摩尔来代替硼酸以外，其它与实施例1同样来制造烧结体颗粒，测定烧结体颗粒的相对密度和吸湿所致的质量增加率。其结果示于表1。[实施例4]
除了在实施例1 (2)中，在水性分散液中加入铝浓度为0. 015摩尔/g的硝酸铝水溶液 1. 148g，进一步加入预先溶解于水中的硝酸氧锆0. 0016摩尔来代替硼酸以外，其它与实施例1同样来制造烧结体颗粒，测定烧结体颗粒的相对密度和吸湿所致的质量增加率。其结果示于表1。[实施例5]
除了在实施例1 (2)中，在水性分散液中加入以钛量计为0. 0031摩尔的使二氧化钛粉末(BET比表面积换算粒径16nm)分散于水中而制备的二氧化钛粒子水性分散液来代替硼酸以外，其它与实施例1同样来制造烧结体颗粒，测定烧结体颗粒的相对密度和吸湿所致的质量增加率。其结果示于表1。[实施例6]
除了在实施例1 (2)中，在水性分散液中加入以硅量计为0.0027摩尔的使二氧化硅粉末(BET比表面积换算粒径14. 7nm)分散于水中而制备的二氧化硅粒子水性分散液来代替硼酸以外，其它与实施例1同样来制造烧结体颗粒，测定烧结体颗粒的相对密度和吸湿所致的质量增加率。其结果示于表1。[比较例1]
除了在实施例1 (2)中，在水性分散液中加入预先溶解于水中的硝酸氧锆0.30摩尔来代替硼酸以外，其它与实施例1同样来制造烧结体颗粒，测定烧结体颗粒的相对密度和吸湿所致的质量增加率。其结果示于表1。[蒸镀膜的二次电子发射量的测定]
蒸镀材料使用实施例1 6和比较例1中制造的烧结体颗粒，利用电子束蒸镀法在不锈钢基板上制造蒸镀膜，对于所得蒸镀膜照射Ne离子，测定从蒸镀膜发射的二次电子量。 其结果示于表1。其中，表1的数据是将使用比较例1中制造的烧结体颗粒制造的蒸镀膜中发射的二次电子量记作1时的相对值。蒸镀膜的制造条件设为，电压8KV、电流40mA、蒸镀室的氧分压2X 10_2Pa、基板温度200°C。向蒸镀膜照射Ne离子的条件设为，真空度3X10_5Pa、Ne离子的加速电压 300eV、基板温度300°C。表 权利要求
1.复合碱土金属氧化物，其是按以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98 2 80 20 的范围的比例含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物、且相对密度为95. 0 99. 9%的范围的复合碱土金属氧化物，其中，进一步含有价数为3价、4价或5价的任一者的至少1种金属元素的氧化物，该金属元素的氧化物的含量相对于上述碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 0002 0. 1摩尔的范围。
2.权利要求1所述的复合碱土金属氧化物，其中，氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的含量、以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 90:10的范围的比例。
3.权利要求2所述的复合碱土金属氧化物，其中，氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的含量、以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 92:8的范围的比例。
4.权利要求1所述的复合碱土金属氧化物，其中，价数为3价、4价或5价的任一者的金属元素的氧化物的含量相对于碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 002 0. 1摩尔的范围。
5.权利要求4所述的复合碱土金属氧化物，其中，价数为3价、4价或5价的任一者的金属元素的氧化物的含量相对于碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 005 0. 05摩尔的范围。
6.权利要求1所述的复合碱土金属氧化物，其中，价数为3价、4价或5价的任一者的金属元素的氧化物是选自硼、铝、锆、钛和硅中的至少一种金属元素的氧化物。
7.利用物理气相生长法的成膜用的材料，其包含权利要求1所述的复合碱土金属氧化物。
8.制造在基体上含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的膜的方法，其包含使用权利要求1所述的复合碱土金属氧化物、利用物理气相生长法使氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物气化、使气化的氧化镁和碱土金属氧化物沉积在基体上。
9.权利要求8所述的方法，其中，物理气相生长法是对复合碱土金属氧化物照射电子束的方法。
10.权利要求1所述的复合碱土金属氧化物的制造方法，其含有准备水性分散液的工序，该水分散液在水性溶剂中，按以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 80:20的范围的比例分散有镁化合物的粒子和镁化合物以外的碱土金属化合物的粒子，且进一步溶解有水溶性金属化合物，该水溶性金属化合物含有价数为3价、 4价或5价的任一者的至少一种金属元素，该水溶性金属化合物的溶解量相对于该碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 0002 0. 1摩尔的范围；将该水性分散液干燥而得到粒状物的工序；将该粒状物成形而得到块状物的工序；将该块状物在1400 1700°C的温度下进行烧成的工序。
11.权利要求1所述的复合碱土金属氧化物的制造方法，其含有准备水性分散液的工序，该水分散液在水性溶剂中，按以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2 80:20的范围的比例分散有镁化合物的粒子和镁化合物以外的碱土金属化合物的粒子，且进一步分散有金属化合物粒子，该金属化合物粒子是含有价数为3价、4 价或5价的任一者的至少一种金属元素的化合物的粒子、且平均粒径相对于该碱土金属化合物的粒子的平均粒径为1/10以下，该金属化合物粒子的分散量相对于该碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0. 0002 0. 1摩尔的范围； 将该水性分散液干燥而得到粒状物的工序； 将该粒状物成形而得到块状物的工序； 将该块状物在1400 1700°C的温度下进行烧成的工序。
全文摘要
本发明涉及含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的复合碱土金属氧化物，本发明提供成膜用材料，其含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物，同时吸湿性低，且可以利用电子束蒸镀法或溅射法等物理气相生长法制造二次电子发射系数高的膜。复合碱土金属氧化物，其是按以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2～80:20的范围的比例含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物，且相对密度为95.0～99.9%的范围的复合碱土金属氧化物，其中，进一步含有价数为3价、4价或5价的任一者的至少一种金属元素的氧化物，该金属元素的氧化物含量相对于上述碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0.0002～0.1摩尔的范围。
文档编号C23C14/06GK102372481SQ20111019085
公开日2012年3月14日 申请日期2011年7月8日 优先权日2010年7月8日
发明者加藤裕三, 植木明, 财田真人, 高崎薰 申请人:宇部材料工业株式会社