1.一种真空镀膜机进气装置，其特征在于：包含设置在镀膜机进气口的进气管道、设置有吸气口和出气口的水箱、两端分别连通水箱出气口和进气管道且通过电阻丝加热的加热管道；所述水箱的吸气口设置有下端伸直水箱底部的吸气管道；所述进气管道上分别设置有过滤器、电磁开关阀和调速阀。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机进气装置，其特征在于：所述过滤装器的进气端与调速阀的出气端连通，所述调速阀的进气端与电磁开关阀的出气端连通。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜机进气装置，其特征在于：所述吸气管道的进气端还设置有过滤网。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机进气装置，其特征在于：所述水箱的底部倾斜设置，且水箱底部的最低处设置有通过阀门控制的排水口。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜机进气装置，其特征在于：所述水箱内还设置有用于检测水位的传感器。