一种为真空镀膜机提供水蒸气的专用装置的制作方法

本实用新型属于水蒸气发生技术领域，具体涉及到一种为真空镀膜机提供水蒸气的专用装置。

背景技术：

凝血是与血液接触的生物器械和人工器官表面存在的主要问题，提高抗凝血性对于这类生物材料的发展和应用至关重要。无机薄膜材料表面的血液相容性与材料的结构性能，特别是表面特性有密切关联，因此，考察材料表面结构性能与抗凝血性之间的关系，了解材料表面与血液之间的界面作用行为，揭示抗凝血表面改性机制，探索材料处理工艺和方法，对于调控和制备具有优良血液相容性医疗器械和生物材料的发展具有重要的理论指导和实际应用意义。

自对氧化钛薄膜研究以来，众多研究成果表明，目前，具有较好抗凝血性能的氧化钛薄膜，其满意度并不能达到临床需要。而苏宏斌采用第一性原理密度泛函理论对金红石相TiO₂表面小分子吸附H₂O进行理论模拟和计算，研究表明TiO₂氧缺陷表面H₂O以解离吸附为主，氧空位为吸附位点。H₂O吸附未改变表面N型半导体结构，与表面产生的羟基有关。金红石相TiO₂氧缺陷表面以及H₂O的吸附后形成的电子能带结构均可能阻止蛋白质的电荷向材料转移而导致构象变化，有利于血液相容性的提高。为此，提出对氧化钛薄膜进行高温真空条件下的水蒸气处理以达到预期目标。

为了实现高温真空条件下对氧化钛薄膜进行水蒸气表面处理，提供了一种为真空镀膜机提供水蒸气的专用装置。

技术实现要素：

本实用新型实施例目的旨在为对无机氧化钛薄膜在高温真空条件下进行水蒸气处理提供气氛条件，以提高薄膜材料表面的物理性能，进而提高其表面的血液相容性。

本实用新型实施例是这样实现的，一种为真空镀膜机提供水蒸气的专用装置，包括金属罐、密封圈、罐盖、第一真空阀、第二真空阀、进水软管和抽气金属管；其特征在于，所述金属罐的上面设置有檐口，檐口上设置有螺栓孔，内部设有内腔，所述金属罐的侧面设置有第一金属管和第二金属管；所述密封圈放置在罐盖与檐口之间；所述罐盖边上设置有通孔，螺栓通过螺栓孔、圆孔和通孔将金属罐、密封圈和罐盖串在一起，将螺栓套在螺栓上旋紧，可将金属罐、密封圈和罐盖固定成一个整体；所述第一真空阀的一端与进水软管的一端连接，另一端与第一金属管的一端连接，第一金属管的另一端焊接在金属罐上，进水软管的内部与金属罐的上内腔导通；所述第二真空阀的一端与抽气金属管的一端连接，另一端与第二金属管的一端连接，第二金属管的另一端焊接在金属罐上，抽气金属管的内部与金属罐的上内腔导通。

所述金属罐和罐盖均采用不锈钢制作；所述密封圈采用柔性耐高温材料制作。

采用本实用新型技术方案，具有以下有益效果：

1）本实用新型在超高真空度达到1×10^-3pa及以下时，产生的水蒸气中不含有空气等其他杂质成分，保证了水蒸气的纯度；

2）本实用新型能保证与真空镀膜机真空室中的真空度一致，为水蒸气的发生提供了充足的气压条件；

3）罐盖可打开，便于使用者清洗金属罐内部杂质；

4）本实用新型为真空室提供水蒸气操作简单、安全可控，节能且环保。

附图说明

图1是本实用新型实施例的立体图；

图2是本实用新型实施例的结构示意图；

图中：10—金属罐、11—檐口、12—内腔、13—第一金属管、14—第二金属管、20—密封圈、21—圆孔、30—罐盖、31—通孔、32—螺栓、33—螺帽、40—第一真空阀、50—第二真空阀、60—进水软管、70—抽气金属管。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

下面结合附图及具体实施例对本实用新型的应用原理作进一步描述。

如图1—图2所示，本实用新型实施例是这样实现的，一种为真空镀膜机提供水蒸气的蒸汽发生装置，包括金属罐10、密封圈20、罐盖30、第一真空阀40、第二真空阀50、进水软管60和抽气金属管70；其特征在于，所述金属罐10的上面设置有檐口11，檐口11上设置有螺栓孔12，内部设有内腔15，所述金属罐10的侧面设置有第一金属管13和第二金属管14；所述密封圈20放置在罐盖30与檐口11之间；所述罐盖30边上设置有通孔31，螺栓32通过螺栓孔12、圆孔21和通孔31，将金属罐10、密封圈20和罐盖30串在一起，将螺栓32套在螺栓32上旋紧，可将金属罐10、密封圈20和罐盖30固定成一个整体；所述第一真空阀40的一端与进水软管60的一端连接，另一端与第一金属管13的一端连接，第一金属管13的另一端焊接在金属罐10的侧面；进水软管60的内部与金属罐10的内腔15导通；所述第二真空阀50的一端与抽气金属管70的一端连接，另一端与第二金属管14的一端连接，第二金属管14的另一端焊接在金属罐10的侧面，抽气金属管70的内部与金属罐10的内腔15导通。

所述密封圈20与檐口11相匹配；所述金属罐10和罐盖30均采用不锈钢制作；所述密封圈20采用柔性耐高温材料制作。

采用本实用新型为真空镀膜机提供水蒸气的步骤如下：

1）将抽气金属管70与还未进行工作的真空镀膜机的真空室进行连接，将进水软管60与装有二次蒸馏水的容器连接；

2）关闭第一真空阀40和第二真空阀50，将真空镀膜机抽真空至 1×10-3Pa；

3）打开第二真空阀50， 真空度下降，继续抽真空镀膜机真空至 1×10^-3Pa；

4）关闭第二真空阀50，此时金属罐10内的真空度与真空镀膜机的真空室一致；

5）慢慢打开第一真空阀40，进水软管60内的空气和二次蒸馏水自然吸入小型金属罐10内并蒸发为水蒸气；

6）关闭第一真空阀40，打开第二真空阀50，抽高温真空室的真空至 1×10^-3Pa，此时，本实用新型为真空镀膜机提供水蒸气；

7）重复上述步骤，可反复为真空镀膜机提供水蒸气。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。