CuSe化合物旋转靶材的制备方法与流程

文档序号:14052158阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种CuSe化合物旋转靶材的制备方法,包括:选用无磁管材为基体;利用超音速冷喷涂技术将CuSe粉体在预处理后的基体外表面喷涂,沉积层厚度不超过20mm;再利用冷等静压技术在超高压下进一步提高密度;通过高温烧结获取相应组织结构的旋转靶材毛坯,机加工得到旋转靶材。本发明制取得到的CuSe材料的内部密度均匀,有利于良好镀膜的形成,减少太阳能产品的次品率。

技术研发人员:孙良成;鲁飞;刘小鱼;李静雅;李慧;刘树峰;娄树普;温永清
受保护的技术使用者:包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
技术研发日:2017.10.27
技术公布日:2018.03.30
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