玻璃板的端部加工装置以及端部加工方法与流程

本发明涉及玻璃板的端部加工装置以及端部加工方法。

背景技术：

近年来，从空间节约化的观点出发，代替以往普及的CRT型显示器，液晶显示器、等离子体显示器、有机EL显示器、场发射显示器等平板显示器逐渐普及。并且，这些平板显示器被要求进一步薄型化。

特别是，在有机EL显示器、有机EL照明中，能够利用其厚度尺寸非常小(薄)这一点来实现能够折叠、卷绕的功能。由此，不仅便于携带，并且除了在以往的平面状态下使用以外，还能够实现曲面状态下的使用，因此期待灵活应用于各种各样的用途。因此，这些能够变形的电子设备所使用的玻璃基板、罩玻璃也被要求进一步提高挠性。

为了提高上述玻璃板的挠性，使玻璃板薄壁化是有效的。在此，例如在专利文献1中提出了厚度尺寸为300μm以下的玻璃板(有时也将该尺寸的玻璃板称作玻璃膜)，由此，能够对玻璃板赋予能够实现曲面状态下的使用的程度的挠性。

另一方面，对平板显示器、太阳能电池等电子设备所使用的玻璃板实施二次加工、清洗等各种各样的电子设备制造相关处理。然而，若使这些电子设备所使用的玻璃板薄壁化，则产生即便应力略微变化也会导致破损的情况，在进行电子设备的制造相关处理时，存在操作非常困难之类的问题。在此基础上，由于厚度尺寸为300μm以下、特别是200μm以下的玻璃板(玻璃膜)富有挠性，因此还存在进行各种制造相关处理时难以进行定位之类的问题。

关于上述问题，例如在专利文献2中，提出了利用一对环状带一边从表背两侧夹持玻璃板一边沿规定的方向搬运玻璃板，并通过配置于侧方的磨石对端部进行磨削的方法。

另一方面，对于这种玻璃板的表面，有时根据玻璃板的用途而安装其他构件，或为了直接以原状态使用而要求非常高的面精度。因此，如果可能，希望以不使任何构件与至少表背一方的面抵接的方式进行磨削等加工。

因此，考虑例如在通过平台等仅支承玻璃板的表背一方的面(通常为下侧的面)的状态下对端部实施磨削加工的方法，但在该情况下，在对以往的厚度尺寸的玻璃板进行加工时会产生没想到的问题。

即，在这种加工(磨削加工)中，通常，使用具有与加工方式相应的形状的磨面的磨石，另外，在利用该磨石进行磨削加工时，根据玻璃板的材质、尺寸、磨削方式，将高压的磨削液(水等)主要喷吹至磨石与玻璃板的端部的抵接部。此时，虽然玻璃板的背面(下侧的面)被平台等支承，但基于上述的理由，玻璃板的表面(上侧的面)在露出的状态下被进行磨削加工。

因此，例如在专利文献3中提出了如下的磨削加工装置，在该磨削加工装置中设置有覆盖磨石的罩部，并且在该罩部形成开口部，能够经由该开口部使要进行磨削的玻璃板的端部与磨石抵接。由此，通过罩部尽可能防止供给至磨石与玻璃板的端部的抵接部的磨削液向玻璃板的表面中央侧飞溅并附着于该表面的情况。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-132531号公报

专利文献2：日本专利第3587104号

专利文献3：日本特开2009-172749号公报

然而，玻璃板随着其厚度尺寸变小而容易因外在负载产生变形，从而因与磨石抵接时的负载而产生向下方挠曲的变形的顾虑增高。当在这样变形后的状态下实施磨削加工时，无法避免对倒角量等的磨削精度造成的不良影响。另外，厚度尺寸越小，针对外在负载的强度也越小，因此担心因与磨石的抵接而导致玻璃板的破损(破裂)。

另外，在通过平台等支承玻璃板的情况下，需要在使要进行加工的玻璃板的端部从平台等伸出的状态下进行加工。然而，若在不支承玻璃板的一部分的状态下实施加工，则担心玻璃板的端部因其自重而产生挠曲变形。另外，由于磨削液通常以高压状态供给(喷吹)，因此当完全不被支承的状态的玻璃板的端部承受磨削液时，担心该端部晃动(振动)。上述现象随着玻璃板的厚度尺寸变小而越明显地显现。

另外，玻璃板的端部因上述的理由而变形或振动，会发生罩部的开口部与玻璃板的缝隙扩大的情况。通常，根据所使用的磨削液的供给条件(水量、水压等)、玻璃板的厚度尺寸等而将该缝隙设定为适当的大小，但当厚度尺寸变小时，缝隙相应地增大厚度尺寸的变小量，而且，由于容易产生上述变形、振动，缝隙大幅变动(增大)的顾虑也增高。在该情况下，由于磨削液飞溅并附着于玻璃板的表面中央侧的顾虑增高，因此担心对表面精度、清洁度等产品质量带来不良影响。为了应对因变形等导致的缝隙的增加，虽也能够预先将玻璃板与开口部的缝隙设定地较小，但若这样做，后续会产生因玻璃板的挠曲、晃动而使得玻璃板与开口部发生干涉的新问题。

技术实现要素：

发明要解决的课题

鉴于以上的情况，在本说明书中，通过本发明要解决的技术课题为，即便是厚度尺寸比以往小的玻璃板，也尽可能地防止玻璃板的变形以及液体向玻璃板表面的附着，对玻璃板的端部实施高精度的加工。

用于解决课题的方案

通过本发明所涉及的玻璃板的端部加工装置解决上述课题。即，该端部加工装置具备支承玻璃板的支承台、用于对被支承台支承的状态的玻璃板的端部实施规定加工的加工部、以及覆盖加工部并且设置有能够使玻璃板的端部与加工部抵接的开口部的罩部，其特征在于，支承台具有支承玻璃板的中央侧区域的第一支承部、以及支承玻璃板的端部侧区域的第二支承部，第二支承部的厚度尺寸设定为比第一支承部的厚度尺寸小、且能够使第二支承部在支承玻璃板的端部侧区域的状态下通过罩部的开口部的程度的大小。需要说明的是，这里所说的中央侧区域与端部侧区域分别指的是，以俯视观察玻璃板的状态下的中心位置与端部位置的中间位置为边界，比中间位置靠中心侧的区域和比中间位置靠端部侧的区域。

这样，在本发明中，由于支承台设置有支承玻璃板的中央侧区域的第一支承部、以及支承玻璃板的端部侧区域的第二支承部，因此即便在玻璃板的厚度尺寸小的情况下，也能够可靠地支承玻璃板的端部侧区域。另外，在该情况下，由于将第二支承部的厚度尺寸设定为比第一支承部的厚度尺寸小、且能够使第二支承部在支承玻璃板的端部侧区域的状态下通过罩部的开口部的大小，因此能够在玻璃板的端部侧区域被第二支承部支承的状态下，实现该玻璃板的端部与被罩部覆盖的加工部的抵接。由此，能够从加工开始前就支承被导入至罩部内的玻璃板的包括靠近端部的区域在内的端部侧区域的大部分，因而能够抑制与加工部抵接时的玻璃板的变形，并且能够抑制因喷吹磨削液等导致的玻璃板的振动，从而实现高精度的加工。另外，通过抑制变形、振动，能够避免罩部的开口部与玻璃板的缝隙大幅变动的情况。由此，能够将上述缝隙维持为规定的大小，尽可能地防止磨削液等液体向玻璃板的表面中央侧飞溅并附着的情况。

另外，在本发明所涉及的玻璃板的端部加工装置中，也可以是，第二支承部与第一支承部分体形成。另外，在该情况下，也可以是，第二支承部构成为能够相对于第一支承部装卸。

通过像这样将第二支承部与第一支承部分体形成，从而能够将要求支承玻璃板的中央侧区域的第一支承部与要求支承玻璃板的端部侧区域的第二支承部设为不同的规格。由此，能够防止各个支承部规格定得过高(over spec)，能够将各支承部的制作成本抑制得较低并且高精度地进行加工。另外，通常，为了顺畅且可靠地进行加工部的加工，玻璃板的端部侧区域以使其端部从第二支承部伸出规定尺寸的状态被第二支承部支承。在该情况下，在研究玻璃板的端部从第二支承部伸出的伸出尺寸与该玻璃板的厚度尺寸的关系时发现：由于玻璃板的厚度尺寸的不同，特别是厚度尺寸从以往尺寸变为最近的薄壁尺寸(所谓的膜尺寸)，而伸出尺寸的适当的大小(范围)大幅变化。由此，通过将第二支承部构成为能够相对于第一支承部装卸，即便在通过相同的加工生产线对厚度尺寸不同的多个种类的玻璃板进行加工的情况下，也只要替换第二支承部就能够形成适当的玻璃板的支承状态。由此，能够对厚度尺寸不同的玻璃板实施高精度的加工。

另外，在本发明所涉及的玻璃板的端部加工装置中，也可以是，在将被支承台支承的状态的玻璃板的端部的从第二支承部伸出的伸出尺寸以单位mm设为A，将玻璃板的厚度尺寸以单位mm设为t的情况下，伸出尺寸A设定为满足A＜t×200。

上述的尺寸设定在对厚度尺寸为300μm以下的玻璃板实施加工时尤其有效。即，若是以往的厚度尺寸(700μm或700μm以上)的玻璃板，则即便伸出尺寸比厚度尺寸的200倍大(例如300倍左右)，也能够不太产生变形、振动的问题地对端部进行加工。另一方面，若玻璃板的厚度尺寸为300μm以下，则发现呈现出与以往的厚度尺寸的玻璃板明显不同的情况。本发明是鉴于上述情况而完成的，特别是在对厚度尺寸为300μm以下的玻璃板实施加工时，通过将玻璃板的伸出尺寸设定为上述范围，能够根据玻璃板的厚度尺寸而适当支承玻璃板。由此，能够有效地抑制加工时的玻璃板的变形、振动，从而实施高精度的加工。另外，在该情况下，通过如上述那样将第二支承部构成为能够相对于第一支承部装卸，能够替换为适当尺寸的第二支承部，以形成针对不同厚度尺寸的不同伸出尺寸。由此，能够通过相同的加工生产线对处于300μm以下的范围且厚度尺寸不同的多个种类的玻璃板高精度地进行加工。

当然，在采用与具有以往的厚度尺寸的玻璃板混合的混合生产线的情况下，通过另外准备具有形成为以往方式的平台等的形状以及尺寸的第二支承部，手动或自动地更换上述的第二支承部，由此能够对以往尺寸的玻璃板与薄壁尺寸的玻璃板一并可靠且高精度地进行加工。

另外，在本发明所涉及的玻璃板的端部加工装置中，也可以是，第二支承部由与第一支承部相比刚性更高的材料形成。

鉴于第二支承部在支承玻璃板的端部侧区域的状态下通过罩部的开口部这一点，优选第二支承部的厚度尺寸小。另一方面，若第二支承部的厚度尺寸过小，则难以确保第二支承部本身的刚性。鉴于以上情况，通过利用与第一支承部相比刚性更高的材料形成第二支承部，能够将第二支承部形成为能够通过罩部的开口部的程度的厚度尺寸，并且能够将第二支承部形成为可确保第二支承部本身的刚性的适当大小的厚度尺寸。

另外，在本发明所涉及的玻璃板的端部加工装置中，也可以是，第二支承部的厚度尺寸设定为0.25mm以上且4.0mm以下，优选设定为0.5mm以上且2.0mm以下。

基于上述的理由，通过将第二支承部的厚度尺寸设定为上述的范围，第二支承部能够与玻璃板一起通过罩部的开口部，并且能够确保所需的刚性。特别是，在由加工性优异的铝等形成成为支承台的基部的第一支承部的情况下，若由与第一支承部相比刚性更高的材料(例如不锈钢等)形成第二支承部，则能够在上述范围中的尺寸相对较小的区域内设定第二支承部的厚度尺寸，能够实现加工性(作业性)的进一步提高。

另外，本发明所涉及的玻璃板的端部加工装置适用于厚度尺寸设定为300μm以下的玻璃板。另外，在该情况下，若厚度尺寸过小，从成形技术的观点出发，认为玻璃板的成形精度降低，因此尽可能地将厚度尺寸设定为5μm以上即可。当然，若在成形技术方面不存在问题，则本申请发明也可以适用于厚度尺寸更小的(小于5μm的)玻璃板。

另外，通过本发明所涉及的玻璃板的端部加工方法解决上述课题。即，该端部加工方法利用被罩部覆盖的加工部对被支承台支承的状态的玻璃板的端部实施规定加工，其特征在于，在罩部设置能够使玻璃板的端部与加工部抵接的开口部，支承台具有支承玻璃板的中央侧区域的第一支承部、以及支承玻璃板的端部侧区域的第二支承部，第二支承部的厚度尺寸设定为比第一支承部的厚度尺寸小、且能够使第二支承部在支承玻璃板的端部侧区域的状态下通过罩部的开口部的程度的大小，以使支承玻璃板的端部侧区域的状态的第二支承部贯通插入开口部，进行玻璃板的端部与加工部的抵接。

这样，根据本发明所涉及的加工方法，由于支承台设置有支承玻璃板的中央侧区域的第一支承部、以及支承玻璃板的端部侧区域的第二支承部，因此即便在玻璃板的厚度尺寸小的情况下，也能够可靠地支承玻璃板的端部侧区域。另外，在该情况下，由于将第二支承部的厚度尺寸设定为比第一支承部的厚度尺寸小、且能够使第二支承部在支承玻璃板的端部侧区域的状态下通过罩部的开口部的大小，因此能够在玻璃板的端部侧区域被第二支承部支承的状态下，使该玻璃板的端部与被罩部覆盖的加工部抵接。由此，能够从加工开始前就支承被导入至罩部内的玻璃板的包括靠近端部的区域在内的端部侧区域的大部分，因而能够抑制与加工部抵接时的玻璃板的变形，并且能够抑制因喷吹磨削液等而导致的玻璃板的振动，从而实现高精度的加工。另外，通过抑制变形、振动，能够避免罩部的开口部与玻璃板的缝隙大幅变动的情况。由此，能够将缝隙维持为规定的大小，尽可能地防止磨削液等液体向玻璃板的表面中央侧飞溅并附着的情况。

发明效果

如以上所述那样，根据本发明，即便是厚度尺寸比以往小的玻璃板，也能够使玻璃板在其端部侧区域被支承的状态下通过罩部的开口部，使玻璃板的端部与加工部抵接。由此，能够尽可能地防止玻璃板的变形以及液体向玻璃板表面的附着，对玻璃板的端部实施高精度的加工。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的端部加工装置的概要的俯视图。

图2是图1所示的端部加工装置的A-A剖视图。

图3是加工前的图2的主要部分放大图。

图4是加工时的图2的主要部分放大图。

图5是本发明的第二实施方式所涉及的玻璃板的端部加工装置的主要部分剖视图。

具体实施方式

以下，参照图1～图4对本发明所涉及的玻璃板的端部加工装置的第一实施方式进行说明。需要说明的是，以下说明中的“上下方向”是为了使说明容易理解而适当设定的，并不指定实际的使用方式。

图1是用于对本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的端部加工装置的概要进行说明的俯视图。该端部加工装置10是用于对通过切断或者割断等例如从成形后的母材玻璃分割为规定形状而得到的玻璃板G的端部Ge实施规定加工的装置，具备支承玻璃板的支承台11、以及对被支承台11支承的状态的玻璃板G的端部Ge实施规定加工的加工单元12。在本实施方式中，加工单元12是磨削单元，通过使设置于加工单元12内的作为加工部的磨石13沿着通过切断为矩形等而得到的玻璃板G的端部Ge(边缘部)相对移动并且使该磨石13与端部Ge抵接，从而能够对端部Ge实施磨削加工。

在此，玻璃板G例如由硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃等形成，优选为由硼硅酸玻璃形成，更优选为由无碱玻璃形成。若玻璃板G中含有碱成分，则在其表面会产生阳离子的脱落、即所谓的出碱(ソ一ダ吹き)的现象。在该情况下，在玻璃板G中产生在结构方面成为缺陷的部分，若在使该玻璃板G弯曲的状态下使用玻璃板G，则担心由于经年老化而以该成为缺陷的部分为起点导致破损。基于以上的理由，在存在以非平坦状态使用玻璃板G的可能性的情况下，优选由无碱玻璃形成玻璃板G。

需要说明的是，这里所说的无碱玻璃指的是实质上不含有碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体地说，指的是碱成分为3000ppm以下的玻璃。当然，从稍微防止或减轻因上述的理由导致的经年老化的观点出发，优选为1000ppm以下的玻璃，更优选为500ppm以下的玻璃，进一步优选为300ppm以下的玻璃。

玻璃板G的厚度尺寸设定为300μm以下，更优选为200μm以下，进一步优选为100μm以下。对于厚度尺寸的下限值，虽能够无特别限制地设定，但若考虑成形精度或者成形后的处理性等，则设定为1μm以上，优选设定为5μm以上。

另外，玻璃板G的与支承台11相反侧的表面Ga的表面粗糙度Ra的大小并不特别限定。例如，在假设实施成膜等电子设备相关处理的情况下，优选为其表面粗糙度Ra为2.0nm以下，更优选为1.0nm以下，进一步优选为0.2nm以下。

上述的玻璃板G通过下拉法等公知的成形方法成形，优选为通过溢流下拉法成形。另外，也可以通过浮法、流延下拉法、辊压法、引上法等成形。需要说明的是，也能够根据需要实施二次加工(通过再拉对玻璃一次成形体进行拉伸)，设定为小于100μm的厚度尺寸。

如图2所示那样，加工单元12具有磨石13、旋转驱动磨石13的旋转驱动部14、升降驱动磨石13的升降驱动部15、覆盖磨石13的罩部16、以及能够使磨石13以及罩部16水平移动的水平移动驱动部17。为了实现高精度的位置控制，这些驱动部例如由伺服马达构成，但当然也可以由除此以外的驱动机构(工作缸等各种致动器)构成。另外，虽然省略图示，加工单元12也可以还具备磨削液供给部，该磨削液供给部朝向玻璃板G的端部Ge与磨石13的抵接部或者抵接部的周边供给磨削液(例如纯水)。该磨削液供给部可以配设于罩部16的内侧，也可以配设于罩部16的外侧。

磨石13在其外周具有与要对玻璃板G的端部Ge实施的加工内容相应的形状的磨面18。在本实施方式中，磨面18由用于对端部Ge实施单侧倒角的斜面构成。需要说明的是，在本图示例中，为了使维护间隔长期化而在磨石13的外周设置有多个磨面18，当然，也可以仅设置有一个磨面18。在该情况下，升降驱动部15可以使磨石13相对于罩部16升降，也可以使磨石13与罩部16一体地升降。另外，对于磨面18的形状，也可以与加工内容(在此为磨削内容)相应地适当设定。

在罩部16上设置用于使成为加工对象的玻璃板G的端部Ge能够与磨石13抵接的开口部19。进行详细说明，该开口部19形成在罩部16中的与支承台11对置的部位，形成为朝向磨石13的相对移动方向贯通罩部16的形状(图1以及图2)。另外，开口部19的开口宽度尺寸w设定为使后述的支承台11的一部分与玻璃板G能够通过且能够可靠地避免加工时的玻璃板G等与罩部16的干涉的程度的大小。

支承台11具有支承玻璃板G的中央侧区域G1的第一支承部20、以及支承玻璃板G的端部侧区域G2的第二支承部21，第二支承部21的厚度尺寸ts设定为比第一支承部20的厚度尺寸小。在本实施方式中，支承台11的构成要素包括板状构件22以及基台23，该基台23与该板状构件22分体地形成，在该基台23的台阶部安装板状构件22。由此，板状构件22主要作为第二支承部21而发挥功能，并且基台23主要作为第一支承部20而发挥功能。在该图示例中，板状构件22因具有向基台23安装的安装部位而不仅作为第二支承部21发挥功能，还作为第一支承部20发挥部分功能。即，板状构件22作为第二支承部21的整体以及第一支承部20的一部分(端部侧)而发挥功能，基台23作为第一支承部20的剩余部(中央侧)而发挥功能。另外，第二支承部21的形状形成为与玻璃板G的四个边缘部对应的形状(具有四个角部的框体状)(图1)。由此，构成第二支承部21的大部分的板状构件22也同样地形成为具有四个角部的框体状。

另外，支承台11可以还具有用于保持玻璃板G并防止加工时的位置偏移的位置偏移防止机构。在本实施方式中，吸附保持部27设置于支承台11(基台23)，该吸附保持部27包括在设置于第一支承部20的上侧的支承面24开口的一个或多个孔部25、以及用于经由孔部25进行吸气的吸气部26。由此，能够吸附并保持在支承面24上载置的玻璃板G。其中，孔部25例如可以配设在能够吸附玻璃板G的中央侧区域G1的位置。

在此，第二支承部21的厚度尺寸ts也可以设定为维持上述的大小关系并根据玻璃板G的厚度尺寸tg适当设定。具体地说，也可以将第二支承部21的厚度尺寸ts设定为满足tg[mm]×0.1≤ts[mm]。由此，能够确保第二支承部21本身的刚性，更加可靠地抑制玻璃板G的变形。但是，若第二支承部21过厚，则难以在支承玻璃板的状态下不受任何干涉地使玻璃板通过罩部16的开口部19，因此，也可以将第二支承部21的厚度尺寸ts设定为满足ts[mm]≤tg[mm]×10。

鉴于以上情况，在玻璃板G的厚度尺寸tg为300μm以下的情况下，具体地说，第二支承部21的厚度尺寸ts可以设定为0.25mm以上且4.0mm以下，优选设定为0.5mm以上且2.0mm以下。通过将第二支承部21的厚度尺寸ts设定为上述的范围，能够使第二支承部21与玻璃板G一起通过罩部16的开口部19，并且能够确保所需的刚性。

另外，在设定被支承台11支承的状态的玻璃板G的端部侧区域G2的从第二支承部21伸出的伸出尺寸Lg[mm]时，可以将伸出尺寸Lg设定为Lg[mm]＜tg[mm]×200。

另外，鉴于以上情况，在玻璃板G的厚度尺寸tg为300μm以下的情况下，具体地说，玻璃板G的伸出尺寸Lg设定为0.5mm以上且20mm以下，优选设定为1.0mm以上且10mm以下。通过将伸出尺寸Lg设定为上述的范围，即便在玻璃板G的厚度尺寸tg比以往小(300μm以下)的情况下，也能够稳定地支承玻璃板G。

需要说明的是，在本实施方式中，如图1所示那样，在玻璃板G的四个边缘部，玻璃板G均从支承台11伸出，但是当然也可以根据加工单元12的设置方式等，采用玻璃板G在一个或两个或三个边缘部从支承台11伸出的方式。

需要说明的是，对于第二支承部21的从第一支承部20突出的突出尺寸Ls，也可以根据要支承的玻璃板G的厚度尺寸tg来设定，具体地说，在玻璃板G的厚度尺寸tg为300μm以下的情况下，突出尺寸Ls可以设定为10mm以上且50mm以下，优选设定为15mm以上且35mm以下。

接下来，对使用上述结构的端部加工装置10进行的磨削加工的一例与本发明的优点一起进行说明。

首先，从图3所示的状态，驱动加工单元12的水平移动驱动部17，使磨石13以及罩部16以接近支承台11的方式移动。在本实施方式中，在将加工单元12配设在从要加工的玻璃板G的端部Ge偏离的位置(不对置的位置)之后，使磨石13以及罩部16水平移动至端部Ge的假想延长线上(图1中用双点划线示出的位置)。然后，使加工单元12接近玻璃板G的端部Ge，与端部Ge的长度方向一端部Gel(图1)抵接。此时，预先通过升降驱动部15将磨石13的磨面18设定为与要加工的玻璃板G的端部Ge相同的高度水平。在对与玻璃板G的厚度尺寸tg不同的玻璃板tg进行加工时，根据其厚度尺寸tg而调整磨面18。另外，通过旋转驱动部14使磨石13以规定的转数旋转。由此，对玻璃板G的端部Ge实施磨削加工，该端部Ge被加工成与磨面18相应的形状(图4)。在本实施方式中，由于磨面18由锥状的斜面构成，因此通过上述加工仅对端部Ge的上侧实施锥状的倒角(单侧倒角)。然后，从该状态起使磨石13沿着端部Ge的长度方向移动，从而玻璃板G的端部Ge在其整个长度方向区域内被实施磨削加工，被加工成如上述那样的形状。

此时，第二支承部21的厚度尺寸ts设定为比第一支承部20的厚度尺寸小，并且设定为能够使第二支承部21在支承玻璃板G的状态下与玻璃板G一起贯通插入罩部16的开口部19的程度的大小。由此，第二支承部21能够与玻璃板G一起不受任何干涉地通过开口部19，能够使玻璃板G的端部Ge与磨石13抵接。另外，如图4所示那样，在使玻璃板G的端部Ge与磨石13的磨面18抵接的状态下，开口部19与玻璃板G的上侧的表面Ga之间的缝隙C维持在5mm以下。由此，能够有效地防止从未图示的磨削液供给部朝向玻璃板G与磨石13的抵接部或其周边供给并飞溅的磨削液通过该缝隙C而到达并附着于表面Ga的情况。但是，若该缝隙C过小，则担心玻璃板G与开口部19干涉，因此优选缝隙C确保至少1mm以上。

另外，在本实施方式中，在设定被支承台11支承的状态的玻璃板G的端部侧区域G2的从第二支承部21伸出的伸出尺寸Lg[mm]时，将伸出尺寸Lg设定为满足Lg[mm]＜tg[mm]×200。由此，特别是在对厚度尺寸为300μm以下的玻璃板G实施加工时，通过将玻璃板G的伸出尺寸Lg设定为上述范围，能够根据玻璃板G的厚度尺寸tg适当支承玻璃板G。由此，能够有效地抑制加工时的玻璃板G的变形、振动，实施高精度的加工。

这样，在玻璃板G的一个端部Ge(边缘部)的磨削加工结束后，使加工单元12移动至与相邻的另一个端部(边缘部)对置的位置，通过重复进行上述的动作，从而对另一个端部也实施同样的磨削加工。由此，对玻璃板G的四个端部(边缘部)全部实施规定的磨削加工(单侧倒角加工)，磨削加工结束。

通过如上述那样，将主要构成第二支承部21的板状构件22与主要构成第一支承部20的基台23分体地形成，从而能够将要求支承玻璃板G的中央侧区域G1的第一支承部20与要求支承玻璃板G的端部侧区域G2的第二支承部21设为不同规格。由此，能够防止各个支承部20、21规格定得过高，从而能够将各支承部20、21的制作成本抑制得较低并且高精度地进行加工。例如，能够通过加工性优异且相对廉价的铝或铝合金形成占支承台11的大部分并且为了安装吸附保持部27等而需要加工成复杂形状的基台23，另一方面，能够通过不锈钢、钛等高刚性材料形成同时要求薄和刚性的第二支承部21。

另外，通过将第二支承部21构成为能够相对于第一支承部20装卸，即便在通过相同的加工生产线对厚度尺寸tg不同的多个种类的玻璃板G进行加工的情况下，也只要替换第二支承部21就能够形成适当的玻璃板G的支承状态。由此，能够对厚度尺寸不同的玻璃板G实施高精度的加工。

以上，对本发明所涉及的玻璃板的端部加工装置以及端部加工方法的第一实施方式进行了说明，但该加工装置以及加工方法当然能够在本发明的范围内采用任意的方式。

例如在上述实施方式中，例示了将第二支承部21与第一支承部20分体地形成(将支承台11分体形成为板状构件22和基台23)的情况，但当然也可以将支承台11形成为一体件。图5示出本发明的第二实施方式所涉及的端部加工装置10’的主要部分剖视图。在该端部加工装置10’中，将第二支承部21与第一支承部20形成为一体。这样，通过将第二支承部21与第一支承部20形成为一体，从而将支承台11形成为一体件，因此能够得到比分体的情况更高的尺寸精度。当然，在该情况下，第二支承部21也能够形成为具有四个角部的框体状。

需要说明的是，在上述实施方式中，例示了加工单元12移动而支承台11接地固定的情况，但当然不限于该方式。例如，也可以采用加工单元12接地固定而支承台11通过未图示的驱动机构进行移动的方式。在该情况下，通过采用支承台11能够绕铅垂轴旋转的结构，即便在使加工单元12接地固定的状态下，也能够对玻璃板G的四个端部(边缘部)全部实施加工。

另外，在上述实施方式中，例示了通过设置有锥形状的磨面18的磨石13进行端部Ge的磨削加工(单侧倒角加工)的情况，但当然也可以采用除此以外的加工方式。例如，也能够将磨面18形成为两侧倒角用的形状，通过使该磨面18与端部Ge的整个面抵接而对端部Ge实施两侧倒角加工。另外，倒角形状当然也是任意的(R形状等)。

另外，在上述实施方式中，作为对玻璃板G实施的加工，例示了使用磨石13进行的磨削加工，但当然也可以将本发明应用于使用除此以外的工具进行的端部Ge的加工等。例如，虽然省略图示，但也可以将本发明应用于使用研磨条(tape)、砂带(belt)进行的磨削(研磨)加工、蚀刻加工等。在作为一例而实施蚀刻加工的情况下，可以采用如下方法，通过一边使含浸有蚀刻液的海绵辊旋转一边使该辊与端部Ge抵接，而对端部Ge实施蚀刻处理，由此在端部Ge形成R倒角部。另外，作为使用研磨条、砂带的磨削方法，例如可以使用日本特开2008-264914号公报、日本特开平5-329760号公报所公开的方法以及装置。

另外，对于被实施以上的加工的玻璃板G，其用途不限。能够将本发明应用于以往公知的电子设备中使用的玻璃基板、罩玻璃等各种用途所使用的玻璃板的加工。

附图标记说明

10 端部加工装置

11 支承台

12 加工单元

13 磨石

14 旋转驱动部

15 升降驱动部

16 罩部

17 水平移动驱动部

18 磨面

19 开口部

20 第一支承部

21 第二支承部

22 支承面

23 孔部

24 吸气部

25 吸附保持部

26 板状构件

27 基台