一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法与流程

文档序号:11888044阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法,其特征为,具体步骤如下:

(1)取厚度为0.05-0.5mm铜箔,放置于CVD反应炉中;

(2)在600-1200℃的温度下向CVD反应炉中通入保护气体和气体碳源进行反应,气体碳源与保护气体的体积流量比为1:10-1:200,所述保护气体为氩气和氮气按4:1的体积份数比混合而成,所述气体碳源为甲烷,气体碳源的通入时间为5-25min,保护气体持续通入;

(3)关闭CVD反应炉,使铜箔上生长第一石墨烯层,生长30-80min后,在第一石墨烯层上覆盖一层第一高导粉末层;

(4)再次打开CVD反应炉,在600-1200℃的温度下向CVD反应炉中通入保护气体和气体碳源进行反应,气体碳源与保护气体的体积流量比为1:10-1:80;

(5)关闭CVD反应炉,在第一高导粉末层上继续生长第二石墨烯层,生长20-60min后,在第二石墨烯层上覆盖一层第二高导粉末层;

(6)重复步骤(4)和步骤(5)6-12次;

(7)再次打开CVD反应炉,在600-1200℃的温度下向CVD反应炉中通入保护气体和气体碳源进行反应,气体碳源与保护气体的体积流量比为1:10-1:200;

(8)关闭CVD反应炉,在第二高导粉末层上继续生长第三石墨烯层,生长20-60min后,剥除铜箔即可得到多层石墨烯。

2.如权利要求1所述的一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法,其特征为,所述第一高导粉末层按重量份数计由纳米银粉、纳米铜粉和微粉石墨按1:8:3的重量份数比混合而成。

3.如权利要求1所述的一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法,其特征为,所述第一高导粉末层的厚度为0.01-0.05mm。

4.如权利要求1所述的一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法,其特征为,所述第二高导粉末层按重量份数计由纳米铜粉和微粉石墨按10:1的重量份数比混合而成。

5.如权利要求1所述的一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法,其特征为,所述第二高导粉末层的厚度为0.01-0.02mm。

6.如权利要求2所述的一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法,其特征为,所述纳米银粉的粒径为10-15nm。

7.如权利要求2所述的一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法,其特征为,所述纳米铜粉的粒径为12-20nm。

8.如权利要求2所述的一种超高导电性能的多层石墨烯的制备方法,其特征为,所述微粉石墨的粒径为15-25nm。

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