一种分段式单晶硅加料器的制作方法

技术特征：

1.一种分段式单晶硅加料器，包括外筒和内筒，内筒设置在外筒内，其特征在于：所述内筒包括设置在外筒底部的内底筒和设置在内底筒上的内套筒。

2.根据权利要求1所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒和内套筒外径相同，内底筒厚度大于内套筒厚度。

3.根据权利要求2所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内套筒下端面与内底筒上端面贴合。

4.根据权利要求1所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒高度小于内套筒高度。

5.根据权利要求4所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒高度为内筒高度的1/7-1/5。

6.根据权利要求4所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒高度为内筒高度的1/7。

7.根据权利要求5或6所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒和内套筒为石英筒。

8.根据权利要求5或6所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒为钼筒，内套筒为石英筒。