用于稳定不饱和烃基前体的稳定剂的制作方法

专利名称：：用于稳定不饱和烃基前体的稳定剂的制作方法
技术领域：
：本发明一般地涉及稳定剂，更具体地涉及用于稳定不饱和烃基前体的稳定剂。
背景技术：
：未来的介电薄膜采用与有机硅酸盐前体结合的致孔剂(porogens)产生多孔低k薄膜。为此，使饱和或不饱和烃基致孔剂与有机硅酸盐共沉积以产生包含有机硅酸盐前体与有机致孔剂的混合物的初始复合薄膜。随后对该薄膜施以各种处理法以分解致孔剂。在此固化法过程中，致孔剂副产物作为气态物释放出来，留下在致孔剂空出的空间中含有空隙的有机硅酸盐基质。所得空隙或气穴具有为1的固有介电常数，其影响是使得多孔固体的总介电常数降至低于致密基质材料。在微电子工业中使用有机前体的其它领域是碳硬掩模的沉积和抗反射涂层的沉积。这些薄膜通过使用烃前体，尤其是不饱和有机烃的等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)法沉积。不饱和烃基材料已经作为与适当的有机硅酸盐前体一起用于沉积多孔低k薄膜的致孔剂前体进行了评测。但是，容易聚合的许多不饱和烃在环境温度下或在特定化学品的正常加工、提纯或应用过程中常遇到的中等温度下逐渐降解或聚合。现有物，如酚、胺、羟胺、硝基化合物、奎宁化合物和某些无机盐)聚合的各种化学品。其实例是公知在储罐中或在环境温度下运输的过程中发生逐渐聚合的单体，如丁二烯和异戊二烯。在共同转让给本发明受让人的美国专利No.6,846,515中描迷了一些不饱和烃基前体材料，该专利全文在此引用作为参考。2,5-降冰片二烯(NBDE)是作为使用化学气相沉积(CVD)法制造低介7电常数薄膜用的致孔剂、碳硬掩模和抗反射涂层的前体评测的主要材料之一。异戊二烯是用于沉积碳硬掩模和抗反射涂层的一种有前景的前体。但是，NBDE和异戊二烯在低聚/聚合方面是热不稳定的。NBDE和异戊二烯在环境温度下以显著速率降解以形成可溶的NBDE和异戊二烯低聚降解产物。异戊二烯也已知发生相对迅速的二聚反应。因此，NBDE和异戊二烯中溶解的低聚物的浓度预计在其用作介电材料前体之前的运输和储存过程中随时间逐渐升高。此外，可溶低聚物在与更极性的液体如二乙氧基甲基硅烷(DEMS)接触时立即沉淀。这种不稳定性预计造成前体输送问题和薄膜品质问题。化学品卖主通常供应含有百万分之100-1000份(ppm)2力-二叔丁基-4-曱基苯酚(也称作丁基化羟基甲苯或以首字母缩写词BHT表示)的NBDE。BHT目前被用作为运输和储存用途而减緩NBDE降解速率的工业标准品。但是，BHT具有有限的抑制NBDE降解的效力。最近公开的Teff等人的美国专利申请20070057235教导了使用酚式抗氧化剂使NBDE稳定化。为使NBDE或异戊二烯在制造环境中耐久，关键的是，使低聚物(即非挥发性残留物)含量最小化以避免加工问题和使制造商能够达到半导体工业设定的苛刻的薄膜品质规格。本发明公开了可用于减緩不饱和烃前体的降解速率的有效稳定剂，由此减轻可能由前体不稳定性引起的潜在工艺问题和薄膜品质问题，由此提高这类材料用作制造高品质低介电常数薄膜用的致孔剂、碳硬掩模材料和抗反射涂层的前体的耐久性。
发明内容本发明的一个实施方案是基本由不饱和烃基前体材料和选自羟基二苯曱酮基稳定剂和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂构成的稳定化组合物。本发明的另一实施方案是基本由不饱和烃基材料、至少一种极性液体和选自羟基二苯曱酮基稳定剂、硝酰游离基型稳定剂和氢醌基稳定剂的稳定剂构成的稳定化组合物。本发明的另一实施方案是基本由2,5-降冰片二烯(NBDE)和选自羟基二笨甲酮基稳定剂和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂构成的稳定化组合物。8本发明的再一实施方案是使不饱和烃基前体材料稳定以防聚合的方法。该方法包括提供选自羟基二苯甲酮基稳定剂和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂。本发明的又一实施方案是使2，5-降水片二烯(NBDE)稳定以防其聚合的方法，包括提供选自羟基二笨甲酮基稳定剂和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂。本发明的又一实施方案是使不饱和烃基前体稳定以免在该不饱和烃与至少一种极性液体接触时固体沉淀的方法，包括(a)向不饱和烃基前体中加入选自羟基二苯曱酮基稳定剂、硝酰游离基型稳定剂和氢醌基稳定剂的稳定剂；和(b)使(a)中的混合物与至少一种极性液体接触。本发明的再一实施方案是使不饱和烃基前体稳定以免在DLI(直接液体注射)期间在经由加热孔流入沉积室的过程中原位形成固体的方法。对于上述实施方案，不饱和烃基前体材料可以具有环状或无环结构，其中环状结构选自(a)至少一种具有式CnHh-2x的羊或多不饱和环烃，其中x是不饱和位点数，n是4至14,该环状结构中的碳数为4至10;和(b)至少一种具有式CnH2n_(2+2x^多不饱和双环烃，其中x是不饱和位点数，n是4至14，该双环结构中的碳数为4至12;羟基二苯甲酮基稳定剂由下列结构所示其中基团R1至R^至少之一是羟基，其余R1至R"独立地选自氢、羟基、d-C!8直链、支链或环状烷基、d-ds直链、支链或环状链烯基、d-C18直链、支链或环状烷氧基、取代或未取代的CrC8芳基及其组合；硝酰游离基型稳定剂由具有至少一个NO基团的结构所示9其中凸点"，"表示一个未成对电子；R1至R"虫立地选自直链或支链的、取代或未取代的烷基或链烯基，其链长足以为NO基团提供位阻；其中被取代的基团包含选自羟基、羰基、醇盐和羧基的含氧基团；且115和116独立地选自直链或支链的、取代或未取代的烷基或链彿基。对于上文的一些实施方案，不饱和烃基前体材料选自2，5-降水片二彿(NBDE)和异戊二烯；硝酰游离基型稳定剂选自2，2，6,6-四甲基-1-哌咬氧基(TEMPO)、4-羟基-2,2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其组合；羟基二苯甲酮基稳定剂选自2-羟基-4-甲氧基-二苯甲酮(2H4MB)、2,4-二羟基二苯曱酮(24DHB)、2,2，-二羟基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)及其组合；氢醌基稳定剂选自甲基氢醌(MHQ)、氢醌单甲醚(HQMME)及其组合；且至少一种极性液体选自二乙氧基曱基硅烷(DEMS)、异丙醇(IPA)及其混合物。图1.从NBDE老化样品的蒸发中收集的非挥发性残留物的固体探针质谱。图2.本发明的不同稳定剂对NBDE在80。C下的降解速率的影响。图3.不同稳定剂对NBDE在8(TC下的降解速率的影响；本发明的稳定剂显示在右边，现有技术中所用的稳定剂显示在左边。图4.由于储存和运输之前期间NBDE的降解，DLI注射器上的残留物沉淀才几制的示意图。图5.经由DLI过程中的NBDE原位反应形成残留物的机制的示意图。图6.使用二乙氧基甲基硅烷和BCHD沉积的多孔薄膜的动态二次o离子质谱(dSIMS)图，其中BCHD含有400和1000ppm的TEMPO。具体实施例方式不饱和烃基前体材料可以是环状不饱和烃基的。环状不饱和烃基前体材料可以是具有环状结构和式CnH2n.2x的单或多不饱和环烃，其中x是不饱和位点数，n是4至14,该环状结构中的碳数为4至0,且至少一种单或多不饱和环烃任选含有多个取代到环状结构上的简单或支链烃取代基，并且在内环内或在烃取代基之一上含有不饱和。实例包括环己烯、乙烯基环己烷、二甲基环己烯、叔丁基环己烯、(x-薛品烯、蒗烯、1,5-二曱基-1，5-环辛二烯和乙烯基-环己烯。环状不饱和烃基前体材料也可以是通式CnH2n.(2+2x>々；不饱和双环烃，其中x是分子中的不饱和位点数，n-4-14，其中该双环结构中的碳数为4至12，且其中可以存在多个取代到环状结构上的简单或支链烃。不饱和可以位于内环内或位于环状结构的烃取代基之一上。实例包括莰烯、降水片烯、降冰片二烯等。不饱和的烃基前体材料也可以是无环的，如直链烃基的。无环不饱和烃基前体材料的实例是异戊二烯。优选地，选择NBDE和异戊二烯作为制造低k介电材料的前体。NBDE(2，5-降水片二烯)由于其高的化学不饱和程度(这被认为产生有利的沉积性能，如高沉积速率和高利用效率)，是特别有吸引力的前体备选物。利用效率涉及相对于有机硅酸盐前体，为沉积具有给定介电常数的多孔低k薄膜所需的烃致孔剂前体的量。不幸地，NBDE的高不饱和程度也可能造成其在低聚方面的固有热不稳定性。实验室评测已经表明，NBDE在环境温度下降解形成可溶低聚物。已经通过固体探针质谱法确定降解产物是NBDE低聚物的混合物，包括图1中所示的各种二聚物、三聚物、四聚物、五聚物、六聚物等。NBDE的降解引起其用作制造低k薄膜用的前体的许多问题。高降解速率意味着前体的化学组成和物理性质会随时间改变。这类变化可能对所得薄膜的性质具有显著影响，造成最终用户难以制造符合薄膜制造商的严格生产规格的品质一致的薄膜。NBDE和异戊二烯降解引起的笫二个问题涉及常用于这类液体前体的化学输送法。挥发性液体，如NBDE和异戊二烯，通常通过在工业中被称作DLI或直接液体注射的技术输送。对于DLI系统，将前体以精确ii计量速率送入设备，其作为液体通过注射口进入加热的注射歧管。该歧管在升高的温度和减压下运行以使前体迅速汽化。一旦汽化，就将气态前体输送到沉积室。DLI输送法将NBDE或异戊二烯液体与任何溶解的低聚降解产物一起无区别地转移到设备中。该低聚物在加热的注射歧管的温度和压力条件下预计较不挥发或不挥发。低挥发性低聚组分的输送会造成所述物质逐渐积聚在设备管道系统中，这预计对设备运行和/或薄膜品质具有有害影响。注射法可能赋予足以加速降解或引发自聚合的能量，从而在输送系统中留下非挥发性固体残留物，这会不利地影响加工。贮存寿命(静态稳定性)的延长所必需的稳定剂和浓度可能不足以实现通过加热的蒸气注射器成功输送(动态稳定性)。此外，通过加热的蒸气注射器成功输送(动态稳定性)所必需的稳定剂和浓度可能取决于注射器温度。本发明公开了在工业相关条件下通过加热的流体动态蒸气注射器成功输送的优选稳定剂实施方案。使用降解的NBDE的第三种可能的不利后果涉及可能由部分降解的NBDE与更极性的化学品如DEMS(二乙氧基甲基硅烷)的接触引起的可能的设备上沉积问题。如果含有明显浓度的溶解的低聚降解产物的NBDE与显著量的更极性液体，如醇或烷氧基硅烷如DEMS接触，预计会发生低聚物的立即沉淀。这种效应显示在实施例24、25和30中。该沉淀被认为由液体掺合物的总极性的升高引起，这在将显著量的DEMS添加到NBDE中时发生。在致孔剂和二氧化硅源材料的共沉积过程中，在含有低聚降解产物的NBDE与更极性的组分如DEMS接触的情况下预计会发生设备上沉淀。这种设备上的沉淀会造成增加的设备停工时间和/或导致需要更频繁的设备预防性维护以避免前体阻塞或流动问题。低聚物沉淀也可能通过不利地影响薄膜品质和/或增加晶片上的粒子数等造成间接问题。在DL1过程中使用未稳定化NBDE的第四种不利后果源自其用于自聚合的低活化能量。在DLI过程中，跨过大的压降强制液体前体通过加热的孔口。条件使得超声流可行。注射器设计使得可能存在接近90度的弯角和多个冲击位置。在高于室温的温度下，分子与分子或分子与注射器表面的碰撞赋予足以自聚合的能量。即使使用純NBDE单体，输送条件使得在DLI和不利影响的加工中原位形成更高分子量的非挥发性材料。为使前体材料在制造环境中耐久，它们需要符合产品贮存寿命方面的实际要求。产品贮存寿命为最终用户或制造商提供了保证，即该化学品如果在贮存寿命规格规定的时间内使用就符合某些最低性能标准。实践中，产品贮存寿命通常由化学品就关键化学组分而言符合预定纯度要求的时长确定。必须将NBDE和异戊二烯降解速率降至可接受的水平以确保它们符合最低贮存寿命标准，并因此在制造环境中可作为用于制造低k薄膜的前体。我们的实验室试验已经表明，NBDE在环境温度下以之前所迷的方式以~1.4重量°/。/年的速率降解，这相当于1.6ppm/小时。在80。C下，降解速率提高160倍至258ppm/小时。用200ppmBHT掺杂NBDE(通常由化学卖主提供)将其降解速率仅降低31%，以使其在80。C下以179ppm/小时降解。因此，尽管BHT确实减緩NBDE的降解速率，但其没有将其减緩到足以使其可用于目前的用途。这些实验描迷在实施例2-4中并概括在表1及图2和3中。对Teff等人的美国专利申请20070057235中所指定的稳定剂MHQ和HQMME，我们实验室的试验表明，它们在抑制NBDE聚合方面确实比BHT更有效。例如，200ppmMHQ将NBDE在80'C下的降解速率降至53ppm/小时；200ppmHQMME略微更有效，将在80'C下的降解速率降至47ppm/小时。这些代表降解速率与未稳定化NBDE相比分别降低了79%和82%。因此证实MHQ和HQMME在稳定NBDE方面比BHT更有效，相同含量的后一抑制剂在相当的试验条件下仅将NBDE降解速率降低31%。因此，尽管MHQ和HQMME比BHT更有效，但它们也具有有限的抑制NBDE低聚的能力，并因此具有有限的用于目前应用的NBDE稳定化的用途。这些实验描迷在实施例4、7和9中并概括在表1和图3中。除了静态结果外，我们的实验室试验还表明，NBDE单体在85'C下通过注射器DLI的过程中以大于0.5重量％的速率降解。如Teff等人的美国专利申请20070057235中所公开的200ppm4-曱基苯酚("4MP，，)不足以实现在85。C的注射器温度下的动态稳定性。在本发明中，公开了非常有效地稳定NBDE的两类材料。这两类材料是羟基二苯甲酮和硝酰游离基。这两类抑制剂，与醌或酚类抗氧化剂不同，不要求存在氧以最有效。第一类稳定剂被称作羟基二苯甲酮。羟基二苯甲酮已知是光稳定剂，其是活性uv吸收剂。它们的抑制热不稳定不饱和烃的低聚反应的能力不是已知的。这类稳定剂由下列结构所示其中基团R^至R"至少之一是OH,其余R'至R"可以各自是氢、羟基、d-ds直链、支链或环状烷基、C,-ds直链、支链或环状链烯基、C广ds直链、支链或环状烷氧基、或取代或未取代的CrCs芳基。W至RW的合适的实例可以包括但不限于氢、羟基、甲基、乙基、正丙基、正丁基、异丙基、异丁基、叔丁基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、丁氧基、异丁氧基或叔丁氧基。羟基二苯甲酮基稳定剂的合适的实例可以包括但不限于2-羟基-4-(正辛氧基)二苯甲酮、2-羟基-4-甲氧基二苯曱酮(2H4MB)、2,4-二羟基二苯甲酮(24DHB)、2-羟基-4-(正十二烷氧基)二苯曱酮、2,2'-二羟基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)、2,2，-二羟基-4,4，-二甲氧基二苯甲酮、2,2，,4，4，-四羟基二笨甲酮、4-羟基二苯甲酮及其任何组合。优选羟基二苯曱酮的实例是2-羟基-4-甲氧基-二苯曱酮(2H4MB)、2，4-二羟基二苯曱酮(24DHB)和2，2，-二羟基-4-曱氧基二苯曱酮(22DH4MB)。对于静态稳定性，稳定剂的量优选为百万分之1至5000份(ppm)，更优选5至1000ppm,最优选20至200ppm。对于在工业相关DLI条件下的动态稳定性，稳定剂的量优选为百万分之至10,000份(ppm),更优选200至10,000ppm，最优选1000至5000ppm。在优选实施方案中，选择NBDE或异戊二烯作为用于制造低k介电材料的不饱和烃基前体；选择2-羟基-4-甲氧基-二苯甲酮、2,4-二羟基二14苯甲酮或2,2，-二轻基-4-甲氧基二苯甲酮作为羟基二苯甲酮基稳定剂。稳定剂的量为20至200ppm。在本文所述的优选实施方案中，稳定剂据显示比现有技术中公开的那些明显更有效地抑制降解速率，并因此提高该前体用于制造低k介电材料的成功工业实施的可能性。被称作硝酰游离基的第二类稳定剂由下列结构所示凸点""，表示一个未成对电子，氮原子将进一步鍵合到两个碳原子上，RJ至W是相同或不同的直链或支链的、取代或未取代的烷基或链烯基，其链长足以为NO基团提供位阻，其中被取代的成分可以包含含氧基团，如羟基、羰基、醇盐、羧基，包括其被取代的基团；115和W是相同或不同的直链或支链的、取代或未取代的烷基或链烯基，其可以通过各种桥连基团进一步连接形成环状结构，例如其可以在其上稠合另一饱和的、部分不饱和的或芳族环，其中任何前述环状或环结构可以具有环取代基，如直链或支链烷基或含氧基团，如羟基、羰基、醇盐、羧基，包括其被取代的基团。W至W的合适的实例包括但不限于甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、异丙基、异丁基、异戊基、叔丁基、新戊基、十八烷基、丙烯基、丁烯基、戊烯基和类似物。115和116的合适的实例包括但不限于甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、异丙基、异丁基、异戊基、叔丁基、新戊基、十八烷基、乙烯基、丙烯基、丁烯基、戊烯基，或115和116可以构成环状结构如6-元哌啶、5-元吡咯烷6同和类似物的一部分，下面提供其实例。这些环结构可这类硝酰游离基化合物具有至少一个NO，15以被取代。硝酰游离基型稳定剂的合适的实例包括但不限于2，2，6,6-四曱基-1-哌啶氧基(TEMPO)和4-羟基-2，2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)、二叔丁基硝酰基、l-氧基-2,2,6，6-四曱基哌啶-4-酮、乙酸l-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基酯、2-乙基己酸l-氧基-2,2,6，6-四甲基哌啶-4-基酯、硬脂酸l-氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基酯、苯甲酸l-氧基-2,2,6,6-四曱基哌啶_4-基酯、4-叔丁基苯曱酸l-氧基-2，2,6,6-四甲基哌啶-4-基酯、双(l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)琥珀酸酯、双(l-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基)己二酸酯、双(l-氧基-2，2,6,6-四曱基哌啶-4-基)癸二酸酯、双(l-氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)正丁基丙二酸酯、双(1-氧基-2，2,6，6-四曱基哌啶-4-基)邻笨二曱酸酯、双(l-氧基-2,2,6，6-四甲基哌啶-4-基)间苯二甲酸酯、双(l-氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)对苯二甲酸酯、双(1-氧基-2，2,6,6-四甲基哌啶-4-基)六氢对苯二甲酸酯、N，N，-双(l-氧基-2,2,6,6-四曱基哌啶-4-基)己二酰胺、N-(l-氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基)己内酰胺、N-(l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)-十二烷基琥珀酰亚胺、2,4，6-三(1-氧基-2,2,6,6-四曱基哌啶-4-基)异氰脲酸酯、2，4，6-三-[N-丁基-N-(1-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)-s-三嗪和4,4，-亚乙基双(卜氧基-2，2,6，6-四曱基"泉漆_3-酮)。优选硝酰游离基的实例是TEMPO和4H-TEMPO。这两种化合物的结构如下所示。TEMPO4H-TEMPO稳定剂的量优选为百万分之1至5000份(ppm),更优选5至1000ppm,最优选20至200ppm。在优选实施方案中，选择NBDE或异戊二烯作为制造低k介电材料用的不饱和烃基前体，并选择TEMPO或4H-TEMPO作为硝酰游离基型稳定剂。稳定剂的量为20至200ppm。本文所迷的优选实施方案中的稳定剂据显示比现有技术中公开的那些明显更有效地抑制NBDE降解速率，并因此提高其用于制造多孔低k介电材料的工业实施的可能性。实施例为了更充分描述本发明，提供下列实施例，它们仅是示例性的且无论如何不是对本发明的限制。NBDE在环境温度下以显著速率降解，形成可溶的低聚副产物。该降解可能造成或不造成NBDE液体变色。通过测定NBDE液体中低聚物的浓度来评估降解程度。但是，气相色谱法，即最常用于有机液体的化学分析法，不是量化NBDE溶液中低聚物的量的有效方法。通过GC不能精确量化低聚物，因为它们是反应性的，因此它们容易进一步低聚。由于它们的高分子量，它们也通常是非挥发性的，这使它们仅在极长停留时间后才从GC柱中洗脱出来或可能完全不洗脱。已经开发出可靠地测量NBDE溶液中低聚物的量的非挥发性残留物试验。为了进行该评测，通过用高纯惰性气体，如氦气吹扫NBDE容器来使NBDE蒸发，留下非挥发性残留组分。该容器可以在蒸发步骤中略微加热以获得稳定的最终重量。使用由此测得的非挥发性残留物的重量作为溶液中低聚物的量的量度，并因此指示NBDE的降解程度。这种通用方法进一步详细描述在实施例1中。未穂定化NBDE在环境温度下以大约1.4%/年的速率降解。这相当于大约270ppm/周或大约1.6ppm/小时。为了评估在实际时间段内的相对降解，对各种未稳定和稳定化的NBDE样品施以标准化加速老化试验条件。这种试验由蒸馏NBDE以除去任何非挥发性降解产物构成。在24小时内，将馏出的NBDE装入如下所述的石英容器中，并加热至60-8(TC6-7天。在此时间后，将容器冷却至室温并测定降解量。以这种方式根椐其抑制NBDE降解的相对能力来评估各种稳定剂。实施例2-23例示了纯的和稳定化的NBDE的各种样品的非挥发性残留物的测量(即降解程度)。实施例2中所用的NBDE在室温下老化。实施例3-23中评测的NBDE经受如本文所述的加速老化条件。实施例1刚馏出的NBDE的残留物评测使用旋转蒸发器将NBDE样品闪蒸以除去非挥发性杂质。通过GC分析馏出的材料具有99.4%的标称純度。在评测后记录空的干净的1.2升石英鼓泡器的皮重。该鼓泡器预先配备气体入口和出口，各自带有特氟隆阀。鼓泡器入口具有延伸到容器基座的1/8"内的浸渍管(diptube)。在含氮气的千燥箱内向石英鼓泡器中加入大约600克NBDE。将该鼓泡器再称重以测定NBDE的重量。将研究级He的气筒连接到鼓泡器入口管上。将鼓泡器温度升至35。C以提高NBDE的蒸气压。He以30SLPM(标准升/分钟)的流速吹扫通过鼓泡器4小时以使NBDE蒸发。此时，将鼓泡器温度升至80'C并将鼓泡器排空2.0小时以获得稳定重量。该实验一式两份地进行。这两次运行的非挥发性残留物重量为0.59克和<0.01克，相当于0.05重量％的平均残留物。实验结果概括在表l中实施例2储存在环境温度下的NBDE的降解速率的评测通过常压蒸馏提纯13.0升NBDE样品。通过GC分析馏出的样品具有99.4%的标称纯度。将样品在室内化学箱中储存总共287天。此时，将大约200克NBDE装入如实施例1中所述的预清洁的预称皮重的鼓泡器。该鼓泡器在35。C下经受3.0SLPM4.0小时以蒸发NBDE。将鼓泡器温度升至80。C并将鼓泡器排空2.0小时以获得稳定重量。在排空步骤后记录鼓泡器的最终重量以测定非挥发性残留物的重量。该实验一式两份地进行。这两次运行的非挥发性残留物重量为2.29克和2.24克，相当于1.12重量％的平均残留物。基于残留物的重量和287天老化，这相当于1.63ppm/小时的降解速率。实验结果概括在表1中。18实施例3使用加速老化条件评测未稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将大约150-200克馏出NBDE装入如实施例1中所述的预清洁的预称皮重的鼓泡器。将鼓泡器装入烘箱中并在8(TC下保持7天。对于此研究，基于两种原因选择80。C的温度(l)假设每升温10°C，降解速率依循筒单Arrhenius型加倍行为，在80。C下7天预计模拟样品在环境温度下老化1年会发生的降解量；和(2)80。C是在化学气相沉积硬件中在混合罐和/或沉积室之前用于汽化前体的加热歧管的常见温度。在7天后将石英鼓泡器从80。C烘箱中取出。使鼓泡器在用3SLPMHe吹扫6小时的同时保持在35。C下。此时，将鼓泡器温度升至80'C并将鼓泡器排空2.0小时以获得稳定重量。在排空步骤后记录鼓泡器的最终重量以测定非挥发性残留物的重量。该实验总共进行6次，因为其用作各种稳定剂评测的"对照物"。这些运行的平均非挥发性残留物为4.33重量％,相当于在80'C下258ppm/小时的降解速率。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例4使用加速老化条件评测用200ppmBHT稳定化的NBDE的降解速率商业NBDE样品通常用BHT稳定化。在此实施例中，进行可比较的实验评测使用BHT作为稳定剂时NBDE的降解速率。将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppmBHT稳定剂掺杂。这是化学供应商提供的NBDE中存在的BHT的常见含量。如实施例3中所迷通过加热至8(TC7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为2.64重量°/。，相当于在80"C下179ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低31Q/。。实验结果概括在表1和图3中。实施例5使用加速老化条件评测用200ppmTBC稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppmTBC(对叔丁基邻苯二酚)稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为2.64重量％,相当于在8(TC下157ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低39.1%。实验结果概括在表1和图3中。实施例6在顶空间中含有8体积°/。氧的用200ppmTBC稳定化的NBDE的降解速率的评测通常与稳定剂联合采用氧以增强化学运输和储存过程中的稳定性。这通过将可聚合化学品储存在其中氧构成储存的液体上方顶空间中气体的5-20%的容器中来实现。以这种方式，氧溶解在烃液体中并由此可用于促进聚合反应的抑制。氧可以用惰性气体如氮气或氦气稀释以产生顶空间气体中所需的氧含量。通常这样做以确保要稳定化的材料的不可燃环境。或者，可以将适当量的环境空气引入容器以建立所需气态氧含量。将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppmTBC稳定剂掺杂。如实施例1中所述将大约170克(~200毫升)TBC稳定化的NBDE添加到在氮气干燥箱内的500毫升石英鼓泡器中。将鼓泡器从干燥箱中取出。使用注射器从鼓泡器顶空间中取出25sccm(标准立方厘米)的氮气。随后通过将气体再注入鼓泡器，向该顶空间中加入25sccm的研究级氧气。由此备好的NBDE鼓泡器在顶空间中具有标称8体积％氧。如实施例3中所迷通过加热至8CTC7天然后He吹扫来使样品经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.97重量％,相当于在80。C下57ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低77.7。/o。实验结果概括在表l和图3中。实施例7使用加速老化条件评测用200ppmMHQ稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppmMHQ(甲基氢醌)稳定剂掺杂。如实施例3中所20述通过加热至8(TC7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.79重量％，相当于在80。C下47ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低81.70/()。实验结果概括在表1和图3中。实施例8在顶空间中含有5体积％氧的用200ppmMHQ稳定化的NBDE的降解速率的评观'J将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppmMHQ稳定剂掺杂。如实施例1中所述将大约150克(~180毫升)MHQ稳定化的NBDE添加到在氮气干燥箱内的500毫升石英鼓泡器中。将鼓泡器从干燥箱中取出。使用注射器从鼓泡器顶空间中取出16sccm(标准立方厘米)的氮气。随后通过将气体再注入鼓泡器，向该顶空间中加入16sccm的研究级氧气。由此备好的NBDE鼓泡器在顶空间中具有标称5体积°/。氧。如实施例3中所述通过加热至8(TC7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.39重量％,相当于在80。C下23ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低91.1。/。。实验结果概括在表1和图3中。实施例9使用加速老化条件评测用200ppmHQMME稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppmHQMME(氬醌单甲醚)稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80'C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.90重量％,相当于在8(TC下53ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低79.3°/。。实验结果概括在表1和图3中。实施例10使用加速老化条件评测用50ppmHQMME稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用50重量ppmHQMME稳定剂掺杂。如实施例3中所迷通过加热至80°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行，对这两次运行使用1U克和130克NBDE。这两次运行的平均非挥发性残留物为1.42重量％，相当于在80。C下84ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低67.3%。实验结果概括在表1和图3中。实施例11使用加速老化条件评测用500ppmHQMME稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所迷闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用500重量ppmHQMME稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE(209克)经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。对于该试验，测得非挥发性残留物为1.73重量％，相当于在8(TC下103ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低60.1%。实验结果概括在表1和图3中。实施例12使用加速老化条件评测用200ppm2-羟基-4-甲氧基二苯曱酮(2H4MB)稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所迷闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppm2H4MB稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.33重量％,相当于在8(TC下20ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低92.3%。实验结果概括在表1及图2和3中。22实施例13使用加速老化条件评测用200ppm2,4-二羟基二苯甲酮(24DHB)稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所迷闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppm24DHB稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.21重量％，相当于在8(TC下12ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低95.2。/。。实验结果;f既括在表1及图2和3中。实施例14使用加速老化条件评测用200ppm2，2，-二羟基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)稳定化的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppm22DH4MB稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.21重量％，相当于在8CTC下13ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低95.1。/。。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例15使用加速老化条件评测用200ppmTEMPO稳定化的在8(TC下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppmTEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80。C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.02重量％,相当于在80。C下1ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低99.4。/q。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例16使用加速老化条件评测用50ppmTEMPO稳定化的在8(TC下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用50重量ppmTEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.04重量％,相当于在80'C下3ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低99.0。/q。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例17使用加速老化条件评测用20ppmTEMPO稳定化的在8(TC下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用20重量ppmTEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80。C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.10重量％，相当于在80'C下6ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低97.7%。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例18使用加速老化条件评测用5ppmTEMPO稳定化的在80'C下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用5重量ppmTEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80°C6天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验的非挥发性残留物为0.13重量％，相当于在8(TC下9ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低96.5%。实验结果概括在表1及图2和3中。24实施例19使用加速老化条件评测用200ppm4H-TEMPO稳定化的在8(TC下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppm4H-TEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至80°C6天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.10重量％，相当于在80'C下7ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低97.2。/。。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例20使用加速老化条件评测用20ppm4H-TEMPO稳定化的在80'C下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用20重量ppm4H-TEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至8(TC6天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.08重量％，相当于在80'C下6ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低97.8。/。。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例21使用加速老化条件评测用200ppmTEMPO稳定化的在60'C下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用200重量ppmTEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至60°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试^^一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.02重量％，相当于在80。C下1ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低99.5。/。。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例22使用加速老化条件评测用50ppmTEMPO稳定化的在60'C下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用50重量ppmTEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至60°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.06重量％，相当于在8(TC下3ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低98.7%。实验结果概括在表l及图2和3中。实施例23使用加速老化条件评测用20ppmTEMPO稳定化的在60'C下的NBDE的降解速率将NBDE样品如实施例1中所述闪蒸以除去非挥发性杂质。将馏出的NBDE用20重量ppmTEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过加热至60°C7天然后He吹扫来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件以测定非挥发性残留物的量。该试验一式两份地进行。这两次运行的平均非挥发性残留物为0.03重量。/o，相当于在80。C下2ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与未稳定化的NBDE相比降低99.3Q/。。实验结果概括在表1及图2和3中。实施例24老化的未稳定化NBDE与作为极性液体的NBDE的混合聚物。2含氮气的干燥箱中操;，将已经在环境温度下老化287天的102.0克未稳定化的NBDE装入200毫升派热克斯(Pyrex)瓶。将相同重量的DEMS装入第二个类似的派热克斯瓶。NBDE和DEMS都是没有表现出沉淀物或残留物的透明的无色液体。通过将DEMS緩慢添加到NBDE中，合并这两种液体。在添加大约20克DEMS后，在DEMS-NBDE混合物中出现少量白色永久沉淀物。在将余量DEMS添加到NBDE中时，该沉淀物更显著生长。白色沉淀物逐渐沉降到派热克斯容器底部。将派热克斯容器的内容物转移到Schlenk烧瓶中。在室温下对烧瓶施以动态真空4小时以除去DEMS和NBDE液体，留下1.20克白色固体。非挥发性固体残留物的该重量相当于NBDE初始重量的1.18重量％。这相当于在环境温度下1.71ppm/小时的降解速率。通过该途径测得的残留26物重量百分比与通过图2和3中所述的He吹扫非挥发性残留物试验测得的残留物量优异地一致。实施例25老化的未稳定化NBDE与DEMS混合时沉淀的评测如实施例1中所述使用旋转蒸发器将NBDE闪蒸以除去非挥发性杂质。通过GC分析馏出的材料具有99.4%的标称纯度。不向NBDE中添加稳定剂。如实施例3中所述通过在石荚鼓泡器中加热至80°C7天来使未稳定化的NBDE经受加速老化试验条件。该试验一式两份地进行，对这两次运行使用87.64克和90.23克NBDE。在从80。C烘箱中取出这两个鼓泡器后，没有出现NBDE液体的可见的沉淀或变色迹象。在使NBDE冷却至室温后，将DEMS通过入口管緩慢添加到各鼓泡器中以试图强制溶解的低聚降解产物沉淀。在未稳定化的NBDE中加入35-40克DEMS后，可以看见最初的永久沉淀物。加入另外的DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。此时可以看见大量的白色沉淀物，表明存在显著量的低聚降解产物。在30。C下对鼓泡器施以动态真空4小时，然后在80'C下最终排空1小时，留下0.73克和1.04克白色固体残留物。这相当于NBDE初始重量的1.00%的平均非挥发性残留物，相当于在8CTC下59ppm/小时的降解速率。实施例26用200ppmHQMME稳定化的老化NBDE与DEMS混合时沉淀减少的评测如实施例1中所述使用旋转蒸发器将NBDE闪蒸以除去非挥发性杂质。通过GC分析馏出的材料具有99.4%的标称纯度。将该NBDE用200重量ppmHQMME稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过在石英鼓泡器中加热至80。C7天来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件。该试验一式两份地进行，对这两次运行使用98.77克和71.93克NBDE。在从80°C烘箱中取出这两个鼓泡器后，没有出现NBDE液体的可见的沉淀或变色迹象。在使NBDE冷却至室温后，将DEMS通过入口管緩'隄添加到各鼓泡器中以试图强制溶解的低聚降解产物沉淀。继续加入DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。这在两个鼓泡器各自中产生模糊的混浊溶液，表明从溶液中沉淀出少量低聚物。在30'C下对鼓泡器施以动态真空4小时，然后在80。C下最终排空1小时，留下0.17克和0.14克白色固体残留物。这相当于NBDE初始重量的0.18重量％的平均非挥发性残留物，相当于在8(TC下11ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与经过与实施例13中所述相同的老化条件的未稳定化NBDE的强制沉淀相比降低82%。实验结果概括在表2中。实施例27用200ppmMHQ稳定化的老化NBDE与DEMS混合时沉淀减少的评测如实施例1中所述使用旋转蒸发器将NBDE闪蒸以除去非挥发性杂质。通过GC分析馏出的材料具有99.4%的标称纯度。将该NBDE用200重量ppmMHQ稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过在石英鼓泡器中加热至80°C7天来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件。该试验一式两份地进行，对这两次运行使用105.17克和98.53克NBDE。在从8(TC烘箱中取出这两个鼓泡器后，没有出现NBDE液体的可见的沉淀或变色迹象。在使NBDE冷却至室温后，将DEMS通过入口管緩慢添加到各鼓泡器中以试图强制溶解的低聚降解产物沉淀。继续加入DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。所得NBDE-DEMS混合物保持透明无色，没有可见的沉淀迹象。在30。C下对鼓泡器施以动态真空4小时，然后在8(TC下最终排空1小时，留下0.10克和0.03克白色固体残留物。这相当于NBDE初始重量的0.06重量°/。的平均非挥发性残留物，相当于4ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与经过与实施例13中结果概括在表2中。实施例28用200ppm22DH4MB稳定化的老化NBDE与DEMS混合时沉淀减少的评测如实施例1中所述使用旋转蒸发器将NBDE闪蒸以除去非挥发性杂质。通过GC分析馏出的材料具有99.4%的标称纯度。将该NBDE用200重量ppm22DH4MB稳定剂掺杂。如实施例3中所迷通过在石英鼓泡器中加热至80。C7天来使稳定化的NBDE经受加速老化试马t条件。该试验一式两份地进行，对这两次运行使用111.53克和106,22克NBDE。在从80。C烘箱中取出这两个鼓泡器后，没有出现NBDE液体的可见的沉淀或变色迹象。在使NBDE冷却至室温后，将DEMS通过入口緩慢28添加到各鼓泡器中以试图强制溶解的低聚降解产物沉淀。继续加入DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。这在两个鼓泡器各自中产生混浊溶液，表明从溶液中沉淀出一定量低聚物。在30。C下对鼓泡器施以动态真空4小时，然后在80。C下最终排空1小时，留下0.51克和0.65克白色固体残留物。这相当于NBDE初始重量的0.53重量％的平均非挥发性残留物，相当于在8CTC下32ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与经过与实施例25中所述相同的老化条件的未稳定化NBDE的强制沉淀相比降低46。/。。实验结果概括在表2中。实施例29用200ppmTEMPO稳定化的老化NBDE与DEMS混合时沉淀减少的评测如实施例1中所迷使用旋转蒸发器将NBDE闪蒸以除去非挥发性杂质。通过GC分析馏出的材料具有99.4%的标称純度。将该NBDE用200重量ppmTEMPO稳定剂掺杂。如实施例3中所述通过在石英鼓泡器中加热至80。C7天来使稳定化的NBDE经受加速老化试验条件。该试验一式两份地进行，对这两次运行使用94.77克和110.56克NBDE。在从8(TC烘箱中取出这两个鼓泡器后，没有出现可见的沉淀迹象。在使NBDE冷却至室温后，将DEMS通过入口緩慢添加到各鼓泡器中以试图强制溶解的低聚降解产物沉淀。继续加入DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。所得NBDE-DEMS混合物保持透明，没有可见的混浊或沉淀迹象。在30。C下对鼓泡器施以动态真空4小时，然后在80'C下最终排空1小时，留下0.11克和0.10克黄色残留物。这相当于NBDE初始重量的0.10重量％的平均非挥发性残留物，相当于6ppm/小时的降解速率。这代表降解速率与经过与实施例25中所述相同的老化条件的未稳定化NBDE的强制沉淀相比降低90%。实验结果概括在表2中。实施例30老化的未稳定化NBDE与极性溶剂的混合类似于实施例24，在氮气干燥箱中操作，将2.0毫升(1,6克)异丙醇(IPA)緩慢添加到2.0毫升未稳定化NBDE(1.7克)中。将用于此试验的NBDE在环境温度下老化287天。用于此实验的NBDE和IPA都是透明的无色液体，没有沉淀物或残留物的迹象。在老化的NBDE中添加最初的几滴异丙醇后，注意到立即的永久沉淀。在加入剩余的2.0毫升IPA29时，沉淀量变得更显著。此实施例再证实，通过提高溶剂的净极性造成基本非极性低聚物的沉淀。实施例31NBDE降解产物的表征将已经在室温下储存几个月的50克未稳定化NBDE样品装入配有特氟隆阀的00毫升石英安瓿中。该安瓿在室温下排空2小时以产生灰白色非挥发性残留物。收集所得固体并通过固体探针质谱法分析。分析证实，存在NBDE的各种低聚物，包括二聚物、三聚物、四聚物、五聚物、六聚物等。来自此分析的固体探针质语显示在图1中。表1.实施例卜23中所述的非挥发性残留物试验结果的概述实施例号錄定刑老化奈件NBDB重i:(克)HVR(非挥发性残贫物)降解速率(ppm/hr)归一化降解速率降解速率降低OO(g>平均(wt.化)1无tt定刑无619.320.S90.10O,OSNANANA582.700.000.00无穗定刑室温下287天202.462.291,131,121.63NANA202.152.241."3无穂定刑80TC下7天148,356.254.214.332581細0.0149.796,064.05103.875,595.38"8,955.94《99148.305.313.S8149.15S.653,79200ppmBHT80t:下7天149.444.63.083.011790.69031.0163.894,B32.955200ppmTBC80C下7天155,433.432.212-641570.60939.1154.634.753.076含02的200ppmTBC80t:下7天174,101.51D.870.97570.22377.71.7S1加^200ppmMHQ80C下7天1S4邻1."0,740.79470.18381.7146.141.240,858含0^200pptnMHQ80t;下7天152.930.520.340.39230.0B991.1"5.570.630,439200ppmHQMME80C下7天106.261加0.940.90530.20779.3"4.82O.站D.851050ppmHQ刚E80t:下7天110.751.201加1,42840.32767,3130.232.2817511500ppmHQMME8QTC下7天209."3.621731.731030,39960,112200ppm2H4MB80t:下7天"7780.590.400.33200.07792.3154.910.410.2613200ppfD24DHB80t:下7天149.140.320,210.21，20.048诉.2145,250.290.2014200ppm22DH4MBS0TC下7天152加0.310.200,21130,049诉,116S.880.370.2215200ppmT￡MPOsot:下7天140.510.040.03002O.咖的.4148.590.030,021650ppmTEMPO80C下7天143.380.080.060.0430.010的.O139,630.040.031720ppmTEMPOsot:下7天130.450.170.130.1060.02397.7144.580.100.07185ppmTEMPO80t:下6天68.B20.090.130.1390,035诉.519200ppm4H-TEMPOsor下6天137,560,120.090.10^0.02B97.2"6.360.140.122020ppm4H-TEMPO80C下6天130邻0.150."0.0860,02297.8102.250加0.0521200ppmTEMPO60X:下7天130.380.030,020.021O.鹏狄5172.710.030.022250ppmTEMPO6Dt;下7天147.100.120加0.060.013站.715S.卯0.050.032320ppmTEMPO60C下7天154.920.030.020.0320,007的.3167.670.070,0431表2.来自实施例25-29中所述的强制沉淀实验的非挥发性残留物试验结果的概述<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>实施例32未稳定化的老化NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE。然后将该液体在80。C下加热1周(加速老化)以模拟在室温下I年。基于实施例3的结果和图4中所示的机制，预计非挥发性低聚物浓度为大约4重量％。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown，PAChemguard⑧液体容纟内系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为70°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外200seem氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为8托。液体流速为1000毫克/分钟。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。在注射器表面上和在出口内部发现显著量的固体物质。实施例33未稳定化的新鲜馏出的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出IOO克NBDE。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.，Allentown，PAChemguard⑧液体容纳系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为80°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外400seem氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为10托。液体流速为1800毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。由于在汽化前不存在非挥发性残留物，所形成的任何残留物预计在注射器中原位发生，与图5中所示的机制一致。在流动试马t完成后，检查注射器的残留物。在注射器表面上和在出口内部发现显著量的固体物质。实施例34在60'C注射器温度下用100ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE并加入100ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard液体容纳系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为60°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外200seem氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为8托。液体流速为1000毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。在注射器表面上和在出口内部发现显著量的固体物质。尽管100ppmTEMPO足以延长室温稳定性，但其不足以在工业相关条件下在DLI过程中实现动态稳定性。实施例35在70。C注射器温度下用100ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE并加入100ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,AUentown,PAChemguard液体容纳系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为70°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外200seem氦气作为注射器表面上的惰性载体。下游室压力设定为8托。液体流速为1000毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以^f莫拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。在注射器表面上和在出口内部发现显著量的固体物质。尽管100ppmTEMPO足以延长室温稳定性，但其不足以在工业相关条件下在DLI过程中实现动态稳定性。结果概括在表3中。实施例36在7(TC注射器温度下用200ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试马全新鲜蒸馏出100克NBDE并加入200ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液体容纳系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为70°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外200seem氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为8托。液体流速为1000毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。发现注射器清洁。结果概括在表3中。实施例37在80。C注射器温度下用200ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE并加入200ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液体容纳系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为80°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外400seem氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为10托。液体流速为1800毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。发现注射器含有轻微的残留物粉尘。结果概括在表3中。实施例38在85。C注射器温度下用200ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE并加入200ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液体容纳系统中。使用带有Horiba34STECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecision"5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为85°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外400seem氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为10托。液体流速为1800毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。发现注射器含有显著残留物。结果概括在表3中。实施例39在8(TC注射器温度下用400ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE并加入400ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals，Inc.,Chemguard⑧液体容納系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为80。C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外400sccm氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为10托。液体流速为1800毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。注射器对肉眼是清洁的，但是在通过放大镜检查时在蒸气口周围可以看见轻微微粒。结果概括在表3中。实施例40在85。C注射器温度下用400ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE并加入400ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液体容納系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为85°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外400seem氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为10托。液体流速为1800毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。发现注射器含有可测量的粘性残留物。结果概括在表3中。35实施例41在卯。C注射器温度下用1000ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE并加入1000ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.，Allentown,PAChemguard(D液体容纳系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为90°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外400seem氦气作为注射器表面上的惰性载体。下游室压力设定为10托。液体流速为1800毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。发现注射器清洁。结果概括在表3中。实施例41在卯'C注射器温度下用1000ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验新鲜蒸馏出100克NBDE并加入1000ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液体容纳系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为90°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外400seem氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为10托。液体流速为1800毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以模拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。发现注射器清洁。结果概括在表3中。实施例42在90。C注射器温度下沉积DEMS/NBDE薄膜使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平台PECVD系统沉积多孔薄膜，然后进行宽带UV曝光以除去致孔剂物质。沉积条件包括90。C的注射器温度、275。C的腔室温度、600瓦功率、350密耳电极间距、8托腔室压力、450毫克/分钟DEMS和450毫克/分钟NBDE的流速及400sccm的氦气流速。UV固化条件包括12分钟的宽带曝光时间。使用含400和1000ppmTEMPO稳定剂的配制料沉积薄膜。进行动态二次质语法(dSIMS)以检查薄膜的氮掺入情况，因为TEMPO含有9重量％的氮。结果显示在图6中。尽管液体前体的稳定剂浓度存在大于2x差异，但dSIMS图中的氮浓度没有可检出的差异。实施例43在9(TC注射器温度下用1800ppmTEMPO稳定化的NBDE的流动试验-更长持续时间新鲜蒸馏出500克NBDE(之前的流动试验的5倍体积)并加入1800ppmTEMPO。预计非挥发性低聚物浓度为0。将液体在惰性气氛下转移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液体容纳系统中。使用带有HoribaSTECTM2410蒸气注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平台进行动态流动测试。注射器温度设定为90°C。使用在30psi压力下的氦气将液体推入蒸气注射器。使用另外400sccm氦气作为注射器表面上的惰性栽体。下游室压力设定为10托。液体流速为1800毫克/分钟。流动以运行3分钟、停止2分钟循环以;漠拟制造条件。在流动试验完成后，检查注射器的残留物。发现注射器清洁。表3.在各种DLI注射器温度和1000-1800毫克/分钟的液体流速下使用TEMPO稳定BCHD的2小时流动注射器残留物结果的概括<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>正好在液体口用放大镜可见少量2残留物更像液态，表明较低分子量低聚物的可能性上文列出的本发明的实施方案，包括实施例，是本发明的许多实施方案的实例。预计可以使用该方法的许多其它构造，且该方法中所用的材料可选自具体公开的材料以外的许多材料。简言之，已经参照具体实施方案阐述了本发明，但应该根据下列权利要求确定本发明的完整范围。权利要求1.基本由不饱和烃基前体材料和选自羟基二苯甲酮基稳定剂和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂构成的稳定化组合物。2.权利要求1的组合物，其中不饱和烃基前体材料是环状结构，选白'.(a)至少一种具有式CnH^2x的单或多不饱和环烃，其中X是不饱和位点数，n是4至14，该环状结构中的碳数为4至10;和(b)至少一种具有式CnH2n-。+2x)的多不饱和双环烃，其中X是不饱和位点数，n是4至14，该双环结构中的碳数为4至12。3.权利要求2的组合物，其中不饱和烃基前体材料(a)选自环己烯、乙烯基环己烷、二甲基环己烯、叔丁基环己烯、a-萜品烯、蒎烯、1,5-二甲基-l,5-环辛二烯、乙烯基-环己烯及其组合。4.权利要求2的组合物，其中不饱和烃基前体材料(b)选自莰烯、降水片烯、降水片二烯及其组合物。5.权利要求1的组合物，其中不饱和烃基前体材料选自2,5-降冰片二烯(NBDE)和异戊二烯。6.权利要求5的组合物，其中不饱和烃基前体材料是2，5-降冰片二烯(NBDE)。7.权利要求1或6的组合物，其中羟基二笨曱酮基稳定剂具有以下结构<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>其中基团W至R"至少之一是羟基，其余W至R^各自独立地选自氢、羟基、C-ds直链、支链或环状烷基、d-ds直链、支链或环状链烯基、Cpds直链、支链或环状烷氧基、取代或未取代的CrC8芳基及其组合。8.权利要求7的组合物，其中其余R'至R"各自选自氢、羟基、甲基、乙基、正丙基、正丁基、异丙基、异丁基、叔丁基、曱氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、丁氧基、异丁氧基、叔丁氧基及其组合。9.权利要求1或6的组合物，其中羟基二苯曱酮基稳定剂选自2-羟基-4-(正辛氧基)二苯曱酮、2-羟基-4-曱氧基二苯曱酮(2H4MB)、2,4-二羟基二笨甲酮(24DHB)、2-羟基-4-(正十二烷氧基)二苯甲酮、2,2，-二羟基-4-甲氧基二苯曱酮(22DH4MB)、2，2，-二羟基-4,4，-二甲氧基二苯曱酮、2,2，,4,4，-四羟基二苯甲酮、4-羟基二苯甲酮及其组合。10.权利要求1或6的组合物，其中硝酰游离基型稳定剂具有以下结构凸点""，表示一个未成对电子；R1至R"虫立地选自直链或支链的、取代或未取代的烷基或链烯基，其链长足以为NO基团提供位阻；其中被取代的基团包含选自轻基、锬基、醇盐和羧基的含氧基团；且115和W独立地选自直链或支链的、取代或未取代的烷基或链烯基。11.权利要求10的组合物，其中115和116中的烷基或链烯基通过桥连基团连接形成饱和、部分不饱和或芳族环的环状结构。12.权利要求10的组合物，其中R)至W各自选自曱基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、异丙基、异丁基、异戊基、叔丁基、新戊基、十八烷基、丙烯基、丁烯基、戊烯基及其组合。13.权利要求10的组合物，其中115和116各自选自曱基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、异丙基、异丁基、异戊基、叔丁基、新戊基、十八烷基、丙烯基、丁烯基、戊烯基，和6-元哌"定或5-元吡咯烷酮的环状结构及其取代环状结构的一部分。14.权利要求1或6的组合物，其中硝酰游离基型稳定剂选自2，2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(TEMPO)、4-轻基-2，2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基其中:(4H-TEMPO)、二叔丁基硝酰基、l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌咬-4-酮、乙酸l-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基酯、2-乙基己酸l-氧基-2，2，6，6-四甲基咪啶-4-基酯、硬脂酸l-氧基-2，2,6,6-四甲基哌啶-4-基酯、苯曱酸1-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基酯、4-叔丁基苯甲酸l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基酯、双(l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)琥珀酸酯、双(1-氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基)己二酸酯、双(1-氧基-2,2，6，6-四甲基哌啶-4-基)癸二酸酯、双(l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)正丁基丙二酸酯、双(卜氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基)邻苯二甲酸酯、双(1-氧基-2，2,6，6-四曱基哌啶-4-基)间苯二曱酸酯、双(l-氧基-2，2,6，6-四曱基哌啶-4-基)对苯二甲酸酯、双(1-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基)六氢对苯二甲酸酯、N，N，-双(1-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基)己二酰胺、N-(l-氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)己内酰胺、N-(l-氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基)-十二烷基琥珀酰亚胺、2,4，6-三(1-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基)异氰脲酸酯、2,4,6-三-[N-丁基-N-(l-氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)-s-三嗪、和4,4，-亚乙基双(1-氧基-2,2，6,6-四甲基哌。秦-3-酮)及其组合。15.权利要求1或6的组合物，其中硝酰游离基型稳定剂选自2,2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(TEMPO)和4-羟基-2，2,6，6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)。16.权利要求1或6的組合物，其中稳定剂以1至10,000ppm存在。17.权利要求16的组合物，其中稳定剂以200至10,000ppm存在。18.权利要求17的组合物，其中稳定剂以1000至5000ppm存在。19.基本由不饱和烃基材料、至少一种极性液体和选自羟基二苯甲酮基稳定剂、硝酰游离基型稳定剂和氢醌基稳定剂的稳定剂构成的稳定化组合物。20.权利要求19的组合物，其中稳定剂以1至10,000ppm存在。21.权利要求19的组合物，其中稳定剂以200至10,000ppm存在。22.权利要求19的组合物，其中稳定剂以1000至5000ppm存在。23.权利要求19的组合物，其中不饱和烃基前体材料选自2,5-降水片二烯(NBDE)和异戊二烯；硝酰游离基型稳定剂选自2,2,6,6-四曱基-l-咪咬氧基(TEMPO)、4-羟基-2，2，6,6-四曱基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其组合；轻基二苯甲酮基稳定剂选自2-轻基-4-甲氧基-二苯曱酮(2H4MB)、，2,4-二羟基二苯甲酮(24DHB)、2,2，-二羟基-4-甲氧基二苯曱酮(22DH4MB)及其组合；氩醌基稳定剂选自甲基氩醌(MHQ)、氪醞单曱醚(HQMME)及其组合；且至少一种极性液体选自二乙氧基曱基硅烷(DEMS)、异丙醇(IPA)及其混合物。24.权利要求19的组合物，进一步包括与氬醌基稳定剂结合的选自NO、N02、N20、C02、02及其混合物的氧化气体。25.使不饱和烃基前体材料稳定以防止其聚合的方法，包括提供选自轻基二苯曱酮基稳定剂和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂。26.权利要求25的方法，其中稳定剂以1至10，000ppm存在。27.权利要求26的方法，其中稳定剂以200至10,000ppm存在。28.权利要求27的方法，其中稳定剂以1000至5000ppm存在。29.权利要求25的方法，其中不饱和烃基前体材料选自2,5-降水片二烯(NBDE)和异戊二烯；硝酰游离基型稳定剂选自2,2，6，6-四甲基-l-哌啶氧基(TEMPO)、4-羟基-2,2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其组合；和轻基二苯甲酮基稳定剂选自2-羟基-4-曱氧基-二苯甲酮(2H4MB)、2,4-二羟基二苯甲酮(24DHB)、2,2，-二轻基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)及其组合。30.使2，5-降水片二烯(NBDE)稳定以防止其聚合的方法，包括提供选自羟基二苯甲酮基稳定剂和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂。31.权利要求30的方法，其中羟基二苯甲酮基稳定剂选自2-羟基-4-甲氧基-二笨甲酮(2H4MB)、2，4-二羟基二苯甲酮(24DHB)、2,2，-二羟基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)及其組合；确酰游离基型稳定剂选自2,2,6,6-四曱基-l-哌咬氧基(TEMPO)、4-羟基-2，2，6,6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其组合。32.使不饱和烃基前体稳定以免在该不饱和烃与至少一种极性液体接触时固体沉淀的方法，包括(a)向不饱和烃基前体中加入选自羟基二苯甲酮基稳定剂、硝酰游离基型稳定剂和氩醌基稳定剂的稳定剂；和(b)使(a)中的混合物与至少一种极性液体接触。33.权利要求32的方法，其中不饱和烃基前体材料选自2,5-降水片二烯(NBDE)和异戊二烯；硝酰游离基型稳定剂选自2，2，6，6-四甲基-l-哌啶氧基(TEMPO)、4-羟基-2,2,6，6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其组合；羟基二苯甲酮基稳定剂选自2-羟基-4-甲氣基-二苯曱酮(2H4MB)、2,4-二羟基二苯甲酮(24DHB)、2,2，-二羟基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)及其組合；氢醌基稳定剂选自甲基氢醌(MHQ)、氢醌单甲醚(HQMME)及其组合；且至少一种极性液体选自二乙氧基曱基硅烷(DEMS)、异丙醇(IPA)及其混合物。34.权利要求32的方法，进一步包括与氢醌基稳定剂一起向不饱和烃基前体材料中加入选自NO、N02、N20、C02、02及其混合物的氣化气体。全文摘要本发明涉及用于稳定不饱和烃基前体的稳定剂。稳定化组合物基本由不饱和烃基材料和选自羟基二苯甲酮和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂构成。稳定化组合物基本由不饱和烃基前体材料、至少一种极性液体和选自羟基二苯甲酮、硝酰游离基型稳定剂和氢醌基稳定剂的稳定剂构成。使不饱和烃基前体材料稳定以防聚合的方法包括提供选自羟基二苯甲酮和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂。使不饱和烃基前体材料与至少一种极性液体的混合物稳定以防聚合的方法包括向该混合物中加入选自羟基二苯甲酮和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂。文档编号C07C7/20GK101468937SQ20081017805公开日2009年7月1日申请日期2008年12月19日优先权日2007年12月19日发明者D·西纳托尔,K·A·钱德勒,M·K·哈斯,M·L·奥内尔,S·G·梅厄加申请人:气体产品与化学公司