一种离子液体及其在sem-edx检测中作为导电处理剂的用图
【技术领域】
[0001] 本发明属于化学领域，具体涉及一种离子液体及其在SEM-EDX检测方面的应用。
【背景技术】
[0002] SEM是扫描电子显微镜的简称，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面 形态，使用逐点成像的方法获得放大像，在实际的使用中，SEM常常和EDX联用；EDX是能量 色散X射线光谱仪的简称，SEM和EDX联用作为扫描电镜能谱仪进行能谱分析。
[0003] 在进行SEM-EDX检测时，需要被测样品具有导电的性质，所以，在观测绝缘样品之 前，需要使用金属或碳素等对绝缘样品进行导电处理，形成数十纳米的导电薄膜后再进行 观测。目前常使用的使用金属或碳素等对绝缘样品进行导电处理的方案技术难度较高，在 实验室中往往需要专门的设备和技术人员负责；另外，使用金属或碳素等对绝缘样品进行 导电处理的处理方式的费用昂贵，这大大限制了SEM-EDX检测的推广使用。
【发明内容】
[0004] 为了解决现有技术存在的上述问题，本发明提供了一种离子液体及其在SEM-EDX 检测方面的用途，所述离子液体可代替金属或碳素对绝缘样品进行导电处理。
[0005] 离子液体具有呈液态的温度区间大、溶解范围广、没有显著的蒸汽压、良好的稳定 性、导电率高、极性较强且酸性可调、电化学窗口大等许多优点，故离子液体的概念一经提 出，就引起了巨大的关注并取得了巨大的科研进展。
[0006] 1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体除了具有离子液体的共性之外，还具有 低熔点、抗水解、稳定性强的优点，基于以上的优点，本发明使用1-乙基-3-甲基咪唑四氟 硼酸盐离子液体对绝缘样品进行导电处理，经过导电处理后进行SEM-EDX检测。
[0007] 在进行SEM-EDX检测时，为了得到倍率为5000倍以上的鲜明二次电子图像，往 往需要对粒径大于10um的绝缘被测样品进行导电处理，在本发明中，使用所述1-乙 基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体对绝缘样品进行导电处理。
[0008] 因为离子液体的粘度都比较大，在使用1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体 对绝缘样品就行导电处理时，往往使用的是1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体的稀 释液，所使用的稀释剂一般为乙醇和/或丙酮，所述乙醇和丙酮混合时可采用任意比例。
[0009] 本发明所采用的技术方案为：一种离子液体，准确的说，是1-乙基-3-甲基咪唑四 氟硼酸盐离子液体。CAS号：143314-16-3 ;分子式为C6HnBF4N2;分子结构式为：
[0010]
【主权项】
1. 一种离子液体，其特征在于：所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子 液体，分子式为C 6H11BF4N2;分子结构式为：
2. 所述1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体在SEM-EDX检测过程中，作为导电处 理剂的用途。
3. 根据权利要求2所述的所述1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体在SEM-EDX 检测过程中，作为导电处理剂的用途，其特征在于，所述1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离 子液体在使用之前，使用稀释剂稀释，所述稀释剂为乙醇和/或丙酮，所述乙醇和丙酮混合 时可采用任意比例。
4. 根据权利要求2所述的所述1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体在SEM-EDX 检测过程中，作为导电处理剂的用途，其特征在于，在进行SEM-EDX检测之前，用所述所述 1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体将被测绝缘样品表面润湿。
【专利摘要】本发明涉及一种离子液体，所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体，分子式为C6H11BF4N2；所述1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体在SEM-EDX检测过程中，作为导电处理剂使用。本发明的有益效果为：使用所述的导电处理剂进行的导电处理具有成本低廉、操作简单的优点，这大大的扩大了SEM-EDX检测的适用范围。
【IPC分类】G01N23-22, C07D233-58
【公开号】CN104761501
【申请号】CN201510169523
【发明人】泽龙
【申请人】泽龙
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年4月10日