一种栅极电镀方法

文档序号:9485493阅读:525来源:国知局
一种栅极电镀方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及栅极制造技术领域,特别涉及一种栅极电镀方法。
【背景技术】:
[0002] 在栅极的制造过程中,需要对栅极进行电镀。电镀层能控制栅极发射、降低栅极本 身工作温度、延长工作年限、抑制栅极放射、提高管内真空度。
[0003] 栅帽(钼材料)和栅丝(钨材料)的连接处,通常用0· 03*4*150mm的钽铌带进行 过渡焊接,而钽铌带由于表面过于光滑,在电镀时,镀层结合力不好,易产生起皮现象,从而 极大影响栅极的质量和寿命。
[0004] 传统工艺中,为避免起皮现象的发生,在电镀之前需将钽铌带进行粗化。目前采用 有两种方式:(1)酸洗;(2)打毛。
[0005] 酸洗:栅极在电镀前在氢氟酸中,仅对栅帽钽铌带部位进行酸洗,将钽铌带部位腐 蚀。酸洗的缺点:由于钽铌材料的特性不与电解抛光液反应,仅能跟氢氟酸反应,因此在电 解抛光完成后,还需进行一次仅对钽铌带部位的氢氟酸清洗,工艺繁琐,操作不便,而栅极 在清洗钽铌带时,产生大量的酸雾,腐蚀体贴附到栅丝上,易造成栅极丝花,电镀时,引起栅 极丝花或起皮,影响产品质量;
[0006] 打毛:在栅极电解抛光完成后,仅对栅帽钽铌带部位进行喷砂打毛,将钽铌带部位 粗化。打毛的缺点:由于打毛是局部打毛,仅打钽铌带部位,但飞散的砂子难免会打到栅丝, 而清洗后的栅极丝宽仅〇. 205-0. 210mm,极易造成栅极断丝脱焊。

【发明内容】

[0007] 在大量的实验以及产品的实际装管参数监测过程中,偶然发现在栅极帽以下5_ 的部分为栅极的非工作区域。有没有镀层对栅极的参数并没有影响,而钽铌带(宽度为 4_)刚好包含在这个区域内,只要保证本区域表面洁净,不污染电子管即可不影响栅极的 性能。因此重新设计电镀的工艺步骤,对其栅帽和钽铌带部位进行遮蔽,不进行电镀,进而 减少了将钽铌带进行粗化的步骤,同时避免了钽铌带部位因镀层结合力不好而起皮的问 题。
[0008] 本发明旨在提供一种栅极电镀方法,克服了传统工艺的技术偏见,在不降低产品 性能的前提下,既解决了钽铌带表面镀层起皮的问题,又能够减少制造工艺步骤,还能避免 多余工艺步骤带来的不良影响。
[0009] 为达到上述目的,本发明提供一种栅极电镀方法,主要包括以下步骤:
[0010] 第一步,将栅极进行电解抛光处理;
[0011] 第二步,将经第一步处理的栅极上的钽铌带安装隔离物;
[0012] 第三步,将经第二步处理的栅极在电镀液中进行电镀;
[0013] 第四步,将经第三步处理的栅极上的隔离物拆除。
[0014] 优选的,所述电镀液的主要成分为:氯铂酸70-90g/L、浓盐酸40-50ml/L、醋酸 120-140ml/L、醋酸铅 0· 4-0. 5g/L。
[0015] 优选的,所述隔离物为与栅极适配的有机玻璃材质模具,所述模具包括螺钉、螺 母、盖板,所述盖板为圆形,盖板边缘设置有向下的凸圈,所述凸圈内径与栅极外径适配,所 述凸圈的高度为5_,所述螺钉与栅极的栅帽中心通孔适配,所述螺钉头部外径与栅极内径 适配,所述盖板中心设置有与螺钉适配的通孔,所述螺母与螺钉适配。
[0016] 进一步的,所述模具还配有支座,所述支座为圆柱形,支座直径小于栅极的内径, 支座高度大于栅极的高度,支座底部设置有直径大于支座直径的底盘。
[0017] 进一步的,所述第二步中,首先将所述支座放置在水平面上,然后将所述螺钉倒放 在支座上,再将栅极套在支座上,使螺钉的尾部从栅帽的中心通孔中穿出,再将盖板套在栅 极上,使螺钉的尾部从盖板的中心孔中穿出,最后用所述螺母将模具连接在栅极上,持取模 具,将栅极与模具一起从支座上取下。
[0018] 优选的,所述第四步中,首先将栅极与模具一起放置在支座上,拆去螺母,再拆去 所述盖板,最后取下栅极。
[0019] 与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
[0020] 1.可以省去酸洗或者打毛的工序,能够降低栅极的制造成本,提高生产效率;
[0021] 2.省去酸洗的工序,可以避免腐因蚀体贴附到栅丝上而造成的栅极丝花或起皮现 象;
[0022] 3.省去打毛的工序,可以避免飞散的砂子造成栅极断丝或者脱焊;
[0023] 4.配套的支座设计,方便模具的安装和拆卸。
【附图说明】
[0024] 图1为本发明的执行电镀操作的流程示意图;
[0025] 图2为本模具的安装剖面结构示意图;
[0026] 图中:1-螺钉、2-螺母、3-盖板、4-钽铌带、5-栅帽、6-栅丝、7-支座。
【具体实施方式】
[0027] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图,对本发明进 行进一步详细说明。
[0028] 如图1所示,本栅极的电镀方法,包括四个步骤。
[0029] 第一步:将栅极进行电解抛光处理。
[0030] 第二步:将经电解抛光处理的栅极上的钽铌带进行覆盖隔离,覆盖隔离采取与栅 极适配的如图2所示的模具实现,栅极电镀模具包括有机玻璃材质的螺钉1、螺母2、盖板3, 盖板3为圆形,盖板3边缘设置有向下的高度为5_的凸圈,凸圈内径与栅极外径适配,螺 钉1头部外径与栅极内径适配,螺钉1与栅极的栅帽5中心通孔适配,盖板3中心设置有与 螺钉1适配的通孔,螺母2与螺钉1适配,另外还包括一个支座7,支座7为圆柱形,支座7 直径小于栅极的内径,支座7高度大于栅极的高度,支座7底部设置有直径大于支座7直径 的底盘。图中,钽铌带4、栅帽5、栅丝6构成栅极,钽铌带4的宽度为4mm,焊接在栅帽5侧 壁上,栅丝6焊接在钽铌带4的外表面上,构成栅极的侧壁;模具安装方法如下:首先将支 座7放置在水平面上,然后将螺钉1倒放在支座7上,再将栅极套在支座7上,使螺钉1的 尾部从栅帽5的中心通孔中穿出,再将盖板3套在栅极上,螺钉1的尾部从盖板3的中心孔 中穿出,最后用螺母2将模具连接在栅极上。持取模具,将栅极与模具一同从支座上取下即 可实施电镀,盖板3与螺钉1的头部分别将钽铌带4部位的外表面和内表面与电镀液隔离。
[0031] 第三步:将钽铌带被覆盖隔离的栅极在电镀液中进行电镀,电镀液的主要成分为: 氯铂酸 70-90g/L、浓盐酸 40-50ml/L、醋酸 120-140ml/L、醋酸铅 0· 4-0. 5g/L。
[0032] 第四步:首先将栅极与模具一起放置在支座7上,拆去螺母2,再拆去盖板3,最后 取下栅极。
[0033] 在同一仪器相同条件下,分别测试采用传统工艺和本发明制造产品的性能,结果 如表1所示,栅极热放射值要求范围为:300-400UA。
[0034] 表1 :不同工艺产品放射值对比
[0035]
[0036] 从栅极放射值可以看出,钽铌带所在位置有无镀层对产品参数无影响。
[0037] 当然,本发明还可有其它多种实施例,在不背离本发明精神及其实质的情况下,熟 悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形 都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
【主权项】
1. 一种栅极电镀方法,其特征在于,主要包括以下步骤: 第一步,将栅极进行电解抛光处理; 第二步,将经第一步处理的栅极上的钽铌带安装隔离物; 第三步,将经第二步处理的栅极在电镀液中进行电镀; 第四步,将经第三步处理的栅极上的隔离物拆除。2. 根据权利要求1所述的一种栅极电镀方法,其特征在于:所述电镀液的主要成分为: 氯铂酸 70-90g/L、浓盐酸 40-50ml/L、醋酸 120-140ml/L、醋酸铅 0? 4-0. 5g/L。3. 根据权利要求1或2所述的一种栅极电镀方法,其特征在于:所述隔离物为与栅极 适配的模具,所述模具为有机玻璃材质,所述模具包括螺钉、螺母、盖板,所述盖板为圆形, 盖板边缘设置有向下的凸圈,所述凸圈内径与栅极外径适配,所述凸圈的高度为5_,所述 螺钉与栅极的栅帽中心通孔适配,所述螺钉头部外径与栅极内径适配,所述盖板中心设置 有与螺钉适配的通孔,所述螺母与螺钉适配。4. 根据权利要求3所述的一种栅极电镀方法,其特征在于:所述模具还配有支座,所述 支座为圆柱形,支座直径小于栅极的内径,支座高度大于栅极的高度,支座底部设置有直径 大于支座直径的底盘。5. 根据权利要求4所述的一种栅极电镀方法,其特征在于:所述第二步中,首先将所述 支座放置在水平面上,然后将所述螺钉倒放在支座上,再将栅极套在支座上,使螺钉的尾部 从栅帽的中心通孔中穿出,再将盖板套在栅极上,使螺钉的尾部从盖板的中心孔中穿出,最 后用所述螺母将模具连接在栅极上,持取模具,将栅极与模具一起从支座上取下。6. 根据权利要求4所述的一种栅极电镀方法,其特征在于:所述第四步中,首先将栅极 与模具一起放置在支座上,拆去螺母,再拆去所述盖板,最后取下栅极。
【专利摘要】本发明公开一种栅极电镀方法,属于栅极制造技术领域,包括:将栅极进行电解抛光处理;将栅极上的钽铌带安装隔离物;将栅极在电镀液中进行电镀;将栅极上的隔离物拆除。本发明克服了传统工艺的技术偏见,在不降低产品性能的前提下,既解决了钽铌带表面镀层起皮的问题,又能够减少制造工艺步骤,还能避免多余工艺步骤带来的不良影响。
【IPC分类】C25D7/00, C25D5/00
【公开号】CN105239124
【申请号】CN201510718858
【发明人】陈旭青, 周联荣, 伍鸿鹄, 方超
【申请人】成都旭光电子股份有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年10月29日
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