具有共面的压力进入部的液压测量装置以及具有这种测量装置的压差传感器的制造方法_2

文档序号:8547915阅读:来源:国知局
量单元尤其是微机 械的压差测量单元,其具有娃作为原材料,并且包括电容式转换器。压差测量单元40通过 延伸穿过加固体42、44的通道与两个压力管20、22连通,其中,加固体42、44分别压力密封 地且承载压力地粘接或焊到压力管20、22的背侧的端面上。
[0027] 此外,第一和第二充填通道32、34从测量装置体的10背侧18延伸穿过该测量装 置体,第一和第二充填通道分别通入过程联接面中的其中一个凹部29、31中。压差传感器 的液压系统的与充填通道连通的部分体积通过该些充填通道被填充W传递液。然后,充填 通道32、34被压力密封地封闭。
[002引压差传感器W其过程联接面朝前借助栓销固定在过程联接块50上。
[0029] 根据图2的压差传感器的第二实施例与上面描述的实施例的区别在于如下细节: 测量装置体110不具有分开的充填通道。取而代之地,也是从测量装置体110的过程联接 面侧压力密封地与测量装置体相连的第一和第二压力管120、122具有在背侧的能封闭的 充填口 132、134。为了对保持在陶瓷加固体142、144之间的压差测量单元140进行压力加 载,压力管具有侧向的分支孔,该些分支孔与穿过加固体142、144的通道连通,陶瓷加固体 也是布置在压力管120、122之间并且与其焊在一起。
[0030] 在图3中示出了压差传感器的一个实施例,其中,测量装置体210具有倾斜伸展的 压力进入口,第一和第二压力管220、220刚好插入该压力进入口中,在第一和第二压力管 的背侧的端面上也是借助两个加固体242、244来保持微机械的压差测量单元240。压力管 的倾斜能够实现的是,使在其上可W装配加固体242、244的背侧的端面的间隔不依赖于对 过程联接面上的压力进入口之间的间隔的需求地成形。
[0031] 最后,图4示出具有液压测量装置的压差传感器的一个实施例,其中,实现了一定 的过载保护。测量装置体310具有压力进入口,在该些压力进入口中,从过程联接面316侧 压力管320、322与环绕的接合部位324、326压力密封地固定。
[0032] 但是,接合部位被垫圈形的分隔膜片体332、333遮盖,其中,分隔膜片体沿着环绕 的焊缝压力密封地与测量装置体相连。分隔膜片328、330分别W环绕的焊缝压力密封地紧 固在分隔膜片托座上,其中,膜片托座329、331上的分隔膜片328、330压印在分隔膜片体的 分隔膜片侧的表面上。如果在压差传感器运行期间单侧过载,那么分隔膜片可W贴靠在其 各自的膜片托座329、331上,由此阻止了在分隔膜片后方的进一步的压力提高。W该种方 法,使借助加固体342、344装配在压力管320、322上的压差测量单元340受到保护,W防不 受限制地提高的压力。
【主权项】
1. 一种用于记录压差的液压测量装置,所述液压测量装置包括: 测量装置体,所述测量装置体具有基本上在一个方向上取向的过程联接面, 其中,所述测量装置体具有第一压力进入口,所述第一压力进入口从所述过程联接面 开始延伸穿过所述测量装置体到达所述测量装置体的背侧的表面, 其中,所述测量装置体具有第二压力进入口,所述第二压力进入口从所述过程联接面 开始延伸穿过所述测量装置体到达所述测量装置体的背侧的表面; 第一分隔膜片,所述第一分隔膜片在过程联接面侧封闭所述第一压力进入口; 第二分隔膜片,所述第二分隔膜片在过程联接面侧封闭所述第二压力进入口; 第一压力管,所述第一压力管以一个部段布置在所述第一压力进入口中,其中,所述第 一压力管从所述测量装置体的背侧的表面伸出;以及 第二压力管,所述第二压力管以一个部段布置在所述第二压力进入口中,其中,所述第 一压力管从所述测量装置体的背侧的表面伸出; 其中,所述第一压力管和所述第二压力管压力密封地与所述测量装置体相连,其特征 在于,至少所述第一压力管从过程联接面侧压力密封地与所述测量装置体相连。
2. 根据权利要求1所述的液压测量装置, 其中,所述第一压力管和所述第二压力管从过程联接面侧压力密封地与所述测量装置 体相连。
3. 根据权利要求1或2所述的液压测量装置, 其中,所述第一压力管和所述第二压力管通过接合、特别是焊接压力密封地与所述测 量装置体相连。
4. 根据上述权利要求中任一项所述的液压测量装置, 其中,至少一个压力管相对于所述过程联接面的表面法线倾斜地在所述测量装置体中 延伸。
5. 根据上述权利要求中任一项所述的液压测量装置,所述液压测量装置还包括: 至少一个第一膜片托座体,所述第一膜片托座体在背离所述测量装置体的表面具有波 纹形的膜片托座,其中,所述膜片托座体在所述至少一个第一压力管与所述测量装置体压 力密封相连之后,从过程联接面侧压力密封地与所述测量装置体相连。
6. 根据权利要求5所述的液压测量装置, 其中,至少一个分隔膜片压印在分隔膜片体的所述膜片托座上。
7. 根据上述权利要求中任一项所述的液压测量装置,其中,在至少一个分隔膜片与被 其封闭的压力进入口之间不存在波纹形的膜片托座。
8. -种压差传感器,所述压差传感器包括: 根据上述权利要求中任一项所述的液压测量装置;以及压差测量单元, 其中,所述压差测量单元具有在其内部带两个测量室的测量单元体,所述测量室通过 测量膜片彼此分隔开, 其中,所述测量室各自具有测量室开口, 其中,所述测量室中的第一测量室压力密封地联接到第一压力管上,并且能通过所述 第一压力管被加载以第一压力, 其中,所述测量室中的第二测量室压力密封地联接到第二压力管上,并且能通过所述 第二压力管被加载以第二压力, 其中,所述测量膜片能依赖于所述第一压力与所述第二压力之间的差弹性变形, 其中,所述压差测量单元具有转换器,用于提供依赖于所述测量膜片的变形的信号。
9. 根据权利要求8所述的压差传感器, 其中,所述压差测量单元由所述压力管保持。
10. 根据权利要求8或9所述的压差传感器, 其中,两个压力管分别具有分支,其中,压力管的一个支路分别联接到所述测量室中的 一个测量室上,并且其中,压力管的另一支路分别具有能封闭的充填口,用于分别以传递液 充填所述压差传感器的与该支路连通的体积。
11. 根据权利要求8或9所述的压差传感器, 其中,所述测量装置体具有两个能封闭的充填口,其中各一个充填口与一个压力进入 口连通,其中,所述充填口设置用于以传递液充填所述压差传感器的分别与所述充填口连 通的体积。
【专利摘要】用于记录压差的液压测量装置包括:具有过程联接面(16)的测量装置体(10);以及两个压力进入口,在这些压力进入口中分别布置有压力管(20、22),该压力管在背侧从测量装置体(10)伸出并且承载压差测量单元(40),其中,压力管(20、22)从过程联接面(16)侧压力密封地与测量装置体(10)相连。
【IPC分类】G01L19-00, G01L13-02
【公开号】CN104870961
【申请号】CN201380067465
【发明人】本杰明·莱姆克, 米夏埃尔·诺亚克, 拉斐尔·泰伊朋, 英·图安·塔姆
【申请人】恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2013年12月6日
【公告号】DE102012113042A1, WO2014095413A1
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