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半导体设备及其操作方法与流程
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来源:国知局
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半导体设备及其操作方法与流程
技术总结
一种半导体设备及其操作方法。所述方法包括:对选中层面执行多层面擦除操作;当擦除循环的数目达到了最大数目而没有成功完成多层面擦除操作时,确定多层面擦除操作为失败;确定在选中层面中是否有通过层面;并且对通过层面执行软编程操作。
技术研发人员:
姜泰圭
受保护的技术使用者:
爱思开海力士有限公司
文档号码:
201510280316
技术研发日:
2015.05.27
技术公布日:
2016.12.07
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