专利名称：一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域，具体涉及一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置。
背景技术：
有机发光二极管或有机电致发光显示器件(Organic Light-EmittingDiode, 0LED)是近二十年来受到广泛关注的一门显示技术，它具有重量轻、低功耗，主动发光，视角范围宽，制作工艺简单，生产成本低，可柔性显示等特点，不仅在显示领域，而且在照明方面也有很大的发展空间，因此被认为是最有发展潜力的平板显示技术之一。器件的全彩色化是检验其市场竞争力的重要标志。而目前实现彩色化的方式主要有三基色垂直堆叠式，三基色平行排列式，多模式微腔结构以及蓝光和黄光混合模式等。无论哪种方式的彩色器件，基本都采用真空蒸镀的方式来制作，掩模板是必不可少的部分。在制备过程中，掩模板的精度及其对位精度是决定最终器件像素分辨率及显示质量的重要因素。在使用掩模板的过程中，目前存在的主要问题有( I)操作次数多导致精度难以控制，在制备平行排列式三基色器件时，一般情况下需要使用红、绿、蓝三张掩模板分别来制作三个色层像素，中间需要更换更换三次掩模板，每次更换势必造成精度的不一致，导致器件的显示质量下降。(2)操作难度大，现有的真空蒸镀制备彩色平行排列式OLED显示器件，至少需要更换四次掩模板，而整个制备过程中掩模板更换基本都是采用机械手代替人手操作，更换时由于距离及导轨互相对准等问题造成更换非常困难，需要耗费很长时间。万一掩模板滑落更是让实验功亏于溃。因此寻找一种能够固定且容易操作的掩模板系统显得尤为重要
发明内容
`为了克服上述技术问题，本发明提供了一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节
>J-U ρ α装直。为达到上述目的，本发明采用的技术方案是包括带有调节装置的框架，所述框架两侧的内壁上设置有导轨，所述导轨中安装有掩模板板体，调节装置和掩模板板体相连接。所述调节装置采用精度为O. Olmm的精密螺旋调节装置。所述导轨中还设置有滑轮，滑轮置于掩模板板体的下方。所述调节装置的端部设置有用于固定掩模板板体的夹具。所述掩膜板板体高度与框架平齐。与现有技术相比，本发明具有以下有益的技术效果本发明通过在框架的相互平行的两侧内壁上开设导轨，使安装在导轨内的掩模板板体能够在导轨内滑动，同时在框架的另外一端设置有调节装置，调节装置与掩模板板体相连接，蒸镀时，可以通过控制调节装置从而带动掩模板板体在导轨内前后滑动，完成对不同颜色像素部分的蒸镀操作。本发明是一种全新的结构，调节装置的设置，使得蒸镀制备器件过程中不必频繁更换掩模板，使得蒸镀过程更容易操作，提高了工作效率。
图1为掩模板系统框架示意图；图2为掩模板系统俯视图；其中，I为框架；2为调节装置；3为遮蔽部分；4为子像素部分；5为导轨；6为滑轮；7为掩模板板体；8为夹具。
具体实施例方式下面结合附图及具体的实施例对本发明做进一步的详细说明，所述是对本发明的解释而不是限定。
参见图1，2，本发明包括带有精密螺旋调节装置2的框架1，框架I两侧的内壁上设置有导轨5，导轨5中安装有掩模板板体7，掩模板板体7可以在导轨内前后滑动，精密螺旋调节装置2和掩模板板体7相连接。本发明在导轨5中还设置有滑轮6，掩模板板体7置于滑轮6的上方，同样通过调节精密螺旋调节装置2使得掩模板板体7在滑轮6上前后滑动，滑轮6的设置减小了掩模板板体运动时的摩擦力。优选的，精密螺旋调节装置2的端部还设置有用于固定掩模板板体7的夹具8。在蒸镀操作时，将本发明紧贴阳极基板置于其下方，首先保证子像素的长度方向应和所需制备器件的子像素方向一致，当已经光刻好阳极电极条和阴极隔离柱后，开始蒸镀有机色层材料，即像素部分。当蒸镀红色像素层时，将掩模板板体固定于精密螺旋调节装置的夹具中，掩模板的子像素部分4和红色子像素部分完全重叠，而遮蔽部分3就可将绿和蓝色子像素遮蔽住，待蒸镀完毕后，根据设计好的子像素之间的间隔，利用精密螺旋调节装置2移动掩模板，使之子像素部分再与绿色子像素的一行对准，进行蒸镀，依次再蒸镀蓝色子像素。最后蒸镀阴极电极条，当行列加电时，便可实现彩色显示。
权利要求
1.一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置，其特征在于，包括带有调节装置(2)的框架(1)，所述框架(I)两侧的内壁上设置有导轨(5)，所述导轨(5)中安装有掩模板板体(7 )，调节装置(2 )和掩模板板体(7 )相连接。
2.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置，其特征在于，所述调节装置(2)采用精度为O. Olmm的精密螺旋调节装置。
3.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置，其特征在于，所述导轨(5)中还设置有滑轮(6)，滑轮(6)置于掩模板板体(7)的下方。
4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置，其特征在于，所述调节装置(2)的端部设置有用于固定掩模板板体(7)的夹具(8)。
5.根据权利要求1所述的有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置，其特征在于所述掩膜板板体(7 )高度与框架(I)平齐。
全文摘要
本发明属于平板显示技术领域，涉及一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置。本发明的掩模板调节装置包括一端带有调节装置的框架，所述框架两侧的内壁上设置有导轨，所述导轨中安装有掩模板板体，调节装置和掩模板板体相连接。本发明的掩模板系统是一种全新的结构，调节装置的设置，使得蒸镀制备器件过程中不必频繁更换掩模板，使得蒸镀过程更容易操作，提高了工作效率。
文档编号H01L51/56GK103045996SQ20121052782
公开日2013年4月17日 申请日期2012年12月10日 优先权日2012年12月10日
发明者袁桃利, 牟强 申请人:陕西科技大学