膜制造方法以及膜制造装置与流程

本发明涉及用于制造在锂离子充电电池等电池中使用的隔膜等的膜制造方法以及膜制造装置。

背景技术：

在锂离子充电电池的内部，正极以及负极借助膜状且多孔的隔膜而分隔。在该隔膜的制造工序中，包括用于之后从暂时制成的膜去除不必要的物质的清洗工序。

作为清洗片或者膜的技术，若不限于隔膜，则知晓有例如专利文献1、2所公开的技术。专利文献1公开了对热熔接性多层化片材依次进行粗清洗、正式清洗的双槽的清洗槽。专利文献2公开了对光学用塑料膜依次进行浸渍清洗、喷雾清洗的多级清洗部。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“日本特开2001-170933号公报(2001年6月26日公开)”

专利文献2：日本公开专利公报“日本特开2007-105662号公报(2007年4月26日公开)”

多孔的隔膜及其中间产品的膜与单纯的无孔膜相比，机械强度较低。因此，在它们的制造工序、特别是清洗工序中经常产生弯折、褶皱、破损这样的不良情况。但是，在专利文献1、2中对于该问题没有进行充分研究。

技术实现要素：

发明要解决的课题

本发明的目的在于，一边消除清洗中膜所产生的不良情况，一边从膜去除不必要的物质。

用于解决课题的手段

为了解决所述的课题，本发明的膜制造方法包括如下工序：搬运工序，以使膜通过液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运；以及排出工序，将所述液体从所述液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的内壁朝所述液槽内导入，并朝上方或者下方排出。

本发明的另一膜制造方法包括如下工序：搬运工序，以使膜通过液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运；以及排出工序，从所述液槽的底面中的、更靠近所述液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的两个内壁中的任一方的位置，朝所述液槽内导入所述液体，并朝上方排出该液体。

本发明的膜制造装置具备：液槽；搬运装置，其以使膜通过所述液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运；以及排出部，其从所述液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的内壁朝所述液槽内导入所述液体，并朝上方或者下方排出该液体。

本发明的膜制造装置具备：液槽；搬运装置，其以使膜通过所述液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运；以及排出部，其从所述液槽的底面中的、更靠近所述液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的两个内壁中的任一方的位置，朝所述液槽内导入所述液体，并朝上方或者下方排出该液体。

发明效果

本发明发挥能够制造出抑制了膜所产生的不良情况并且抑制了去除对象物质的残留的膜的效果。

附图说明

图1是示出锂离子充电电池的剖面结构的示意图。

图2是示出图1所示的锂离子充电电池的详细结构的示意图。

图3是示出图1所示的锂离子充电电池的其他结构的示意图。

图4是示出第一实施方式的清洗方法中使用的清洗装置的结构的剖视图。

图5是示出第二实施方式的清洗方法中使用的引导辊的周边结构的剖视图。

图6是示出第三实施方式的清洗方法中使用的辊的周边结构的剖视图。

图7是示出在第四实施方式的清洗槽中使清洗水循环的结构的侧视剖视图、俯视图、主视剖视图。

图8是示出图7所示的迂回路的变形例的主视剖视图、俯视剖视图。

图9是示出在图4所示的清洗装置的清洗槽间设置的管道的结构的侧视剖视图。

图10是示出图7所示的清洗槽的排出部的其他结构的主视剖视图、俯视图。

图11是示出在第五实施方式的清洗槽中使清洗水循环的结构的侧视剖视图、俯视图、主视剖视图。

附图标记说明：

4 耐热层(功能层)

5 多孔膜(基材)

6 清洗装置

15～19 清洗槽(液槽)

21b、21c、211～213、211A～213A、211a～213a、211d～213d 排出部

22、22d 吸引口

23、23d 迂回路

23a 管道

BL 刮落杆

G 引导辊

H、Hc 排出口

R 驱动辊

S 耐热隔膜(电池用隔膜、层叠隔膜、膜)

W 清洗水(液体)

a～m 辊(搬运辊)

p、q 辅助辊

s 特氟隆杆

t 特氟隆管

具体实施方式

〔基本结构〕

依次说明锂离子充电电池、隔膜、耐热隔膜、耐热隔膜的制造方法。

(锂离子充电电池)

以锂离子充电电池为代表的非水电解液充电电池的能量密度高，因此，当前作为在个人计算机、移动电话、移动信息终端等设备、汽车、飞机等移动体中使用的电池、并且作为有助于电力的稳定供给的固定用电池而被广泛使用。

图1是示出锂离子充电电池1的剖面结构的示意图。

如图1所示，锂离子充电电池1具备阴极11、隔膜12、阳极13。在锂离子充电电池1的外部，在阴极11与阳极13之间连接外部设备2。并且，在锂离子充电电池1充电时，电子朝向方向A移动，在放电时电子朝向方向B移动。

(隔膜)

隔膜12配置为在作为锂离子充电电池1的正极的阴极11与作为其负极的阳极13之间被该阴极11与阳极13夹持。隔膜12是分隔阴极11与阳极13之间并且能够使它们之间的锂离子移动的多孔膜。作为隔膜12的材料，例如包括聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃。

图2是示出图1所示的锂离子充电电池1的详细结构的示意图，(a)示出通常的结构，(b)示出锂离子充电电池1升温后的状况，(c)示出锂离子充电电池1急剧升温后的状况。

如图2的(a)所示，在隔膜12上设有多个孔P。通常，锂离子充电电池1的锂离子3能够经由孔P进行往来。

在此，例如，有时因锂离子充电电池1的过充电、或者外部设备的短路所引起的大电流等而导致锂离子充电电池1升温。在这种情况下，如图2的(b)所示，隔膜12熔解或者软化，堵塞孔P。而且，隔膜12收缩。由此，因锂离子3的移动停止，故而上述的升温也停止。

但是，在锂离子充电电池1急剧升温的情况下，隔膜12急剧收缩。在这种情况下，如图2的(c)所示，隔膜12有可能被破坏。并且，由于锂离子3从被破坏的隔膜12漏出，因此锂离子3的移动不会停止。所以，升温继续。

(耐热隔膜)

图3是示出图1所示的锂离子充电电池1的其他结构的示意图，(a)示出通常的结构，(b)示出锂离子充电电池1急剧升温时的状况。

如图3的(a)所示，隔膜12也可以是具备多孔膜5与耐热层4的耐热隔膜。耐热层4层叠在多孔膜5的阴极11侧的单面。需要说明的是，耐热层4也可以层叠在多孔膜5的阳极13侧的单面，也可以层叠在多孔膜5的两面。然后，在耐热层4上也设有与孔P相同的孔。通常，锂离子3经由孔P与耐热层4的孔进行往来。作为耐热层4的材料，例如包括全芳族聚酰胺(芳香族聚酰胺树脂)。

如图3的(b)所示，即便锂离子充电电池1急剧升温，多孔膜5熔解或者软化，由于耐热层4辅助多孔膜5，因此多孔膜5的形状得以维持。所以，会止于多孔膜5熔解或者软化而堵塞孔P的情况。由此，由于锂离子3的移动停止，因此上述的过放电或者过充电也停止。这样，隔膜12的破坏得到抑制。

(隔膜·耐热隔膜的制造工序)

锂离子充电电池1的隔膜以及耐热隔膜的制造没有特别限定，能够利用公知的方法来进行。以下，假设作为多孔膜5的材料而主要包括聚乙烯的情况进行说明。但是，即使在多孔膜5包括其他材料的情况下，也能够通过同样的制造工序来制造隔膜12(耐热隔膜)。

例如，举出在向热塑性树脂添加无机填充剂或者增塑剂进行膜成形之后，利用适当的溶剂将该无机填充剂以及该增塑剂清洗去除的方法。例如，在多孔膜5为由含有超高分子量聚乙烯的聚乙烯树脂形成的聚烯烃隔膜的情况下，能够通过以下所示的方法来制造。

该方法包括：(1)对超高分子量聚乙烯、无机填充剂(例如碳酸钙、二氧化硅)、或者增塑剂(例如低分子量聚烯烃、液体石蜡)进行混炼而得到聚乙烯树脂组成物的混炼工序；(2)使用聚乙烯树脂组成物成形出膜的轧制工序；(3)从工序(2)中获得的膜去除无机填充剂或者增塑剂的去除工序；以及(4)使工序(3)中获得的膜延伸而获得多孔膜5的延伸工序。需要说明的是，也能够在所述工序(2)与(3)之间进行所述工序(4)。

通过去除工序，在膜中设有多个微小孔。通过延伸工序进行延伸后的膜的微小孔成为上述的孔P。由此，获得具有规定的厚度与透气性的聚乙烯微多孔膜、即多孔膜5(不具有耐热层的隔膜12)。

需要说明的是，在混炼工序中，也可以对超高分子量聚乙烯100重量份、重量平均分子量1万以下的低分子量聚烯烃5～200重量份以及无机填充剂100～400重量份进行混炼。

之后，在涂覆工序中，在多孔膜5的表面形成耐热层4。例如，在多孔膜5上涂敷芳香族聚烯烃/NMP(N-甲基-吡咯烷酮)溶液(涂覆液)(涂敷工序)，并使其凝固(凝固工序)，由此形成作为芳香族聚烯烃耐热层的耐热层4。耐热层4可以仅设于多孔膜5的单面，也可以设于两面。

另外，在涂覆工序中，也能够在多孔膜5的表面涂敷聚偏氟乙烯/二甲基乙酰胺溶液(涂覆液)(涂敷工序)，并使其凝固(凝固工序)，由此在多孔膜5的表面上形成粘合层。粘合层可以仅设于多孔膜5的单面，也可以设于两面。

在本说明书中，将具有与电极粘合的粘合性或者聚烯烃的熔点以上的耐热性等功能的层称为功能层。

作为将涂覆液向多孔膜5涂覆的方法，只要是能够均匀地湿涂的方法，则没有特别限制，能够采用以往公知的方法。例如，能够采用毛细管涂布法、旋涂法、挤压式涂布法、喷涂法、浸涂法、辊涂法、丝网印刷法、柔性印刷法、刮棒涂布法、凹版涂布法、模压涂布法等。耐热层4的厚度能够根据涂覆湿膜的厚度、涂覆液中的固态物浓度而控制。

需要说明的是，作为在涂覆时固定或者搬运多孔膜5的支承体，能够使用树脂制的膜、金属制的带、滚筒等。

以上，能够制造在多孔膜5上层叠有耐热层4的隔膜12(耐热隔膜)。制造出的隔膜卷绕于圆筒形状的芯部。需要说明的是，通过以上的制造方法制造的对象不限于耐热隔膜。该制造方法也可以不包含涂覆工序。在这种情况下，制造的对象是不具有耐热层的隔膜。

〔第一实施方式〕

基于图4对本发明的第一实施方式进行说明。

在以下的实施方式中，对作为长条且多孔的电池用隔膜的耐热隔膜的清洗方法进行说明。耐热隔膜的耐热层通过在多孔膜上涂敷芳香族聚烯烃/NMP(N-甲基-吡咯烷酮)溶液(涂覆液)而形成。此时，作为溶剂的NMP(去除对象物质)也浸入多孔膜的孔。

在孔中残留有NMP的耐热隔膜的透气性变得低于在孔中没有残留NMP的耐热隔膜的透气性。由于透气性越低，利用耐热隔膜的锂离子充电电池的锂离子的移动越受到阻碍，因此锂离子充电电池的输出降低。因此，优选能够清洗为在耐热隔膜的孔中没有残留NMP。

《利用多级清洗槽清洗耐热隔膜的结构》

(清洗槽)

图4是示出在本实施方式的清洗方法中使用的清洗装置6的结构的剖视图。

如图4所示，清洗装置6具备清洗槽15～19。清洗槽15～19分别被清洗水W(液体)充满。

另外，清洗装置6还具备搬运耐热隔膜S的能够旋转的多个辊。这些辊中的辊a～m是搬运要在清洗槽15中进行清洗的耐热隔膜S的辊。

从清洗工序的上游工序(例如为涂覆工序)搬运来的耐热隔膜S经由辊a～m而通过在清洗槽15中充满的清洗水W之中(以下为“水中”)。辊a～m(搬运辊)规定清洗槽15中的耐热隔膜S的搬运路线。在清洗槽16～19中，也与清洗槽15同样地清洗耐热隔膜S。

(驱动辊)

清洗装置6还具备在清洗槽之间向耐热隔膜S施加驱动力的驱动辊R以及辅助辊p、q。辅助辊p、q规定耐热隔膜S与驱动辊R接触的角度(日文：抱き角度)。虽也可以将该驱动辊R与辅助辊p、q配置在水中，但为了不需要实施防水处置，优选如图4所示那样将它们配置在清洗槽之间。

以上，在清洗槽15(第一清洗槽)的辊a的位置和与辊m相当的清洗槽19(第二清洗槽)的辊的位置之间向耐热隔膜S施加用于进行搬运的驱动力。在此，“清洗槽15的辊a的位置”是指将耐热隔膜S朝向清洗槽15搬入的位置。“与辊m相当的清洗槽19的辊的位置”是指将耐热隔膜S从清洗槽19搬出的位置。

并且，优选上述的驱动力在与辊1相当的清洗槽16(第一清洗槽)的辊的清洗槽17侧的位置和与辊b相当的清洗槽17(第二清洗槽)的辊的清洗槽16侧的位置之间向耐热隔膜S施加。在此，“与辊1相当的清洗槽16的辊的清洗槽17侧的位置”是指将耐热隔膜S从清洗槽16的水中搬出的位置。“与辊b相当的清洗槽17的辊的清洗槽16侧的位置”是指将耐热隔膜S朝向清洗槽17的水中搬入的位置。

《利用多级清洗槽来清洗耐热隔膜的动作》

本实施方式的清洗方法包括：将耐热隔膜S沿其长边方向搬运的工序；以及通过使搬运中的耐热隔膜S依次通过在清洗槽15～19内充满的清洗水W之中而进行清洗的工序。这样，耐热隔膜S被从上游的清洗槽(第一清洗槽)朝向下游的清洗槽(第二清洗槽)依次搬运。在此，只要没有特别说明，“上游”以及“下游”是指隔膜的搬运方向上的上游以及下游。

在清洗槽15～19中的清洗结束之后，耐热隔膜S被朝向清洗工序的下游工序(例如干燥工序)搬运。

《本实施方式的效果》

(基于扩散的清洗)

通过使耐热隔膜S通过清洗水W之中，NMP从耐热隔膜S的孔朝向水中扩散。在此，清洗水W的NMP浓度越低，NMP的扩散量越大。

耐热隔膜S在清洗槽15～19中依次被清洗，因此下游的清洗槽中的清洗水W的NMP浓度比上游的清洗槽低。换句话说，由于阶段性进行NMP的扩散，因此能够可靠地去除堵塞孔的NMP。

(使清洗水流动的方向)

如图4所示，也可以使清洗水W从隔膜搬运方向上的下游的清洗槽19向上游的清洗槽15朝方向D流动。因此，例如，也可以随着从隔膜搬运方向上的下游朝向上游而使清洗槽15～19之间的间隔越来越小。此时，本实施方式的清洗方法还包括如下工序：通过朝向下游的清洗槽供给清洗水W，并且朝向上游的清洗槽供给下游的清洗槽内的清洗水W，由此更新各清洗槽内的清洗水W。从上游的清洗槽15排出一部分清洗水W。根据该结构，能够有效利用清洗水W，并且使隔膜搬运方向的下游的清洗槽的清洗水W的NMP浓度比上游的清洗槽的清洗水W的NMP浓度更低。

(高效的清洗)

通过阶段性进行NMP的扩散，由此，与仅使用单槽的清洗槽的清洗相比能够高效地去除NMP。因此，能够缩短清洗中的耐热隔膜S的搬运距离。所以，能够一边抑制弯折、褶皱、破损、蜿蜒这样的不良情况，一边对与无孔膜相比机械强度低的耐热隔膜S进行清洗。

《其他结构》

(清洗水的循环)

耐热隔膜S的宽度越宽，生产率越高。所以，耐热隔膜S的宽度(图4中纸面垂直方向的宽度)大多扩大至接近清洗槽15～19的宽度。另外，清洗槽15～19的宽度设计为与耐热隔膜S的宽度相匹配。

当耐热隔膜S的宽度扩展而耐热隔膜S的端部与清洗槽15～19的间隙缩狭时，在清洗槽15～19中充满的清洗水W形成为被分割成耐热隔膜S的一面侧(清洗槽的中心侧)与另一面侧(清洗槽的两端(图4中为左右端)侧)的状态。

在基于清洗槽15～19的清洗中，大多通过清洗槽间的溢出而供给、排出清洗水W。此时，虽然被分割到耐热隔膜S的一面侧的清洗水W被供给、排出，但被分割到耐热隔膜S的另一面侧的清洗水W有时会滞留。

对此，本实施方式的清洗方法也可以包括如下工序：在清洗槽15～19中的至少一者，为了促进耐热隔膜S的一面侧与另一面侧之间的清洗水W的更换而使清洗水W循环。此时，清洗装置6也可以在清洗槽15～19中的至少一者还具备具有清洗水W的供给排出口的循环装置。

由此，能够使一个清洗槽内的清洗水W的NMP浓度更均匀，能够促进NMP的有效去除。

(清洗水)

清洗水W不限于水，只要是能够从耐热隔膜S去除NMP的清洗液即可。

另外，清洗水W也可以含有表面活性剂等清洗剂、酸(例如盐酸)或者碱。而且，清洗水W的温度优选为120℃以下。在该温度下，耐热隔膜S发生热收缩的可能性减小。另外，清洗水W的温度更优选为20℃以上且100℃以下。

(聚烯烃隔膜的制造方法)

以上的耐热隔膜S的清洗方法能够适用于不具有耐热层的隔膜(聚烯烃隔膜)的清洗方法。

所述隔膜通过将混炼超高分子量聚乙烯等高分子量聚烯烃与无机填充剂或者增塑剂而得到的聚烯烃树脂组成物成形为薄片状并延伸而形成。然后，通过冲洗无机填充剂或者增塑剂(去除对象物质)，形成隔膜的孔。

若不进行冲洗，在孔中残留有所述去除对象物质的隔膜的透气性变得低于在孔中没有残留所述去除对象物质的隔膜的透气性。透气性越低，越是阻碍利用隔膜的锂离子充电电池的锂离子的移动，因此锂离子充电电池的输出降低。因此，优选能够清洗为在隔膜的孔中没有残留所述去除对象物质。

用于清洗含有无机填充剂在内的隔膜的清洗液只要是能够从隔膜去除无机填充剂的清洗液即可。优选为含有酸或者碱的水溶液。

用于清洗含有增塑剂的隔膜的清洗液只要是能够从隔膜去除增塑剂的清洗液即可。优选为二氯甲烷等有机溶剂。

综上所述，成形为膜状的聚烯烃树脂组成物(膜)的清洗方法包括如下工序：将作为隔膜的中间产品的长条的膜沿其长边方向搬运；以及通过使搬运中的该膜依次通过在上述的清洗槽15～19内充满的清洗水W中来进行清洗。

这样，在图4中，也可以将耐热隔膜S设为隔膜的中间产品、即膜。另外，也可以将清洗水W设为含有酸或者碱的水溶液。

然后，聚烯烃隔膜的制造方法包括：成形出长条且多孔的隔膜的中间产品、即以聚烯烃为主成分的长条的膜的成形工序；以及在该成形工序之后执行的包括上述的膜清洗方法在内的各工序。

(层叠隔膜的制造方法)

本发明也包括利用了作为层叠隔膜的耐热隔膜S的清洗方法的耐热隔膜S的制造方法。在此，耐热隔膜S是包括图3所示的多孔膜5(基材)与层叠于多孔膜5的耐热层4(功能层)的层叠隔膜。并且，该制造方法包括：成形出长条且多孔的耐热隔膜S的成形工序；以及在所述成形工序之后执行的上述的隔膜清洗方法的各工序。

“成形工序”包括：为了层叠耐热层4而向多孔膜5涂敷含有构成耐热层4的芳香族聚烯烃树脂(物质)的NMP(液状物质)的涂敷工序；以及在该涂敷工序之后使芳香族聚烯烃树脂凝固的凝固工序。

“各工序”是指：将耐热隔膜S沿其长边方向搬运的工序；以及通过使搬运中的耐热隔膜S依次通过在清洗槽15～19内充满的水中来进行清洗的工序。

以上，能够制造NMP较少并且抑制了不良情况的层叠隔膜。需要说明的是，耐热层也可以是上述的粘合层。

〔第二实施方式〕

基于附图对本发明的第二实施方式进行说明。为了方便说明，对于具有与在上述的实施方式中说明的构件相同的功能的构件，标注相同的附图标记，并省略其说明。在后述的实施方式中也是同样的。

《从耐热隔膜去除清洗水的结构》

图5是示出在本实施方式的清洗方法中使用的引导辊G的周边结构的剖视图。

如图5所示，清洗装置6还具备引导辊G、特氟隆杆s、以及特氟隆管t。需要说明的是，“特氟隆”是注册商标。

引导辊G相对于耐热隔膜S的搬运路线固定，不会旋转，并配置在清洗槽15的辊l与辊m之间。

特氟隆杆s朝向引导辊G的长边方向延伸，设于引导辊G的表面。

特氟隆管t以包住引导辊G与特氟隆杆s的方式进行限制。

需要说明的是，引导辊G也可以配置于清洗槽16～19。另外，清洗装置6也可以具备多组引导辊G、特氟隆杆s以及特氟隆管t。

《从耐热隔膜去除清洗水的动作》

本实施方式的清洗方法在第一实施方式的清洗方法包括的各工序的基础上，还包括在上游的清洗槽与下游的清洗槽之间从耐热隔膜S去除清洗水W的工序。

在上游的清洗槽与下游的清洗槽之间，在将耐热隔膜S从水中拉起时，清洗水W的一部分在表面张力的作用下沿着耐热隔膜S的表面被带入下游的清洗槽。对此，从耐热隔膜S刮落被带入下游的清洗槽的清洗水W。

在固定的引导辊G的表面设置的特氟隆杆s在特氟隆管t的表面形成突起。该突起以轻微刮擦耐热隔膜S的方式朝耐热隔膜S按压，从耐热隔膜S刮落清洗水W。

在耐热隔膜S通过向聚乙烯的多孔膜的单面涂覆芳香族聚烯烃的耐热层而得到时，优选向多孔膜的没有涂覆耐热层的面按压形成于特氟隆管t的表面的突起。由此，能够抑制耐热层的剥离。

《本实施方式的效果》

从上游的清洗槽朝向下游的清洗槽带入的清洗水W减少。因此，能够可靠地使下游的清洗槽的清洗水W的NMP浓度低于上游的清洗槽的清洗水W的NMP浓度。所以，能够可靠地去除堵塞耐热隔膜S的孔的NMP。

〔第三实施方式〕

基于图6对本发明的第三实施方式进行说明。

《从搬运耐热隔膜的搬运辊去除清洗水的结构》

图6是示出在本实施方式的清洗方法中使用的辊m的周边结构的剖视图。

如图6所示，清洗装置6还具备刮落杆BL。

刮落杆BL是将通过表面张力沿着辊m搬运的清洗水W刮落的刮刀。

在辊m与刮落杆BL之间设有间隙。由此，能够防止刮伤辊m的表面、或者磨损刮落杆BL。

《从搬运耐热隔膜的搬运辊去除清洗水的动作》

本实施方式的清洗方法在第一实施方式的清洗方法包括的各工序的基础上，还包括在上游的清洗槽与下游的清洗槽之间从搬运耐热隔膜S的辊m去除清洗水W的工序。

在搬运耐热隔膜S时，清洗水W的一部分在表面张力的作用下沿着耐热隔膜S的表面朝向下游的清洗槽被带入。朝向下游的清洗槽被带入的该清洗水的一部分在表面张力的作用下沿着辊m被搬运。对此，从辊m刮落在表面张力的作用下沿着辊m被搬运的清洗水W。

《本实施方式的效果》

从上游的清洗槽朝向下游的清洗槽带入的清洗水W减少。因此，能够可靠地使下游的清洗槽的清洗水W的NMP浓度低于上游的清洗槽的清洗水W的NMP浓度。所以，能够可靠地去除堵塞耐热隔膜S的孔的NMP。

〔第一变形例〕

清洗装置6也可以全部具备引导辊G、特氟隆杆s以及特氟隆管t(图5)与刮落杆BL(图6)。

并且，本变形例的清洗方法在实施方式1的清洗方法包括的各工序的基础上，还包括在上游的清洗槽与下游的清洗槽之间从耐热隔膜S去除清洗水W的工序、以及在上游的清洗槽与下游的清洗槽之间从搬运耐热隔膜S的辊m去除清洗水W的工序。

由此，进一步减少从上游的清洗槽朝向下游的清洗槽带入的清洗水W。因此，能够更可靠地使下游的清洗槽的清洗水W的NMP浓度低于上游的清洗槽的清洗水W的NMP浓度。所以，能够更可靠地去除堵塞耐热隔膜S的孔的NMP。

〔第二变形例〕

清洗装置6具备的清洗槽也可以是一个。并且，本发明包括以下的方案。

本发明的第一方案的隔膜清洗方法是用于清洗长条且多孔的电池用隔膜的隔膜清洗方法，

所述隔膜清洗方法包括如下工序：

将所述电池用隔膜沿其长边方向搬运；

通过使搬运中的所述电池用隔膜通过在清洗槽内充满的清洗液中来进行清洗；以及

在将所述电池用隔膜朝向所述清洗槽搬入的位置与从所述清洗槽搬出的位置之间，从所述电池用隔膜去除清洗液。

在第一方案中，例如在图4所示的清洗槽15～19中的至少一者，如图5所示那样利用引导辊G、特氟隆杆s与特氟隆管t从耐热隔膜S(电池用隔膜)去除清洗水W。根据第一方案，能够减少从清洗工序朝向其他工序带入的清洗液。

本发明的第二方案的隔膜清洗方法是用于清洗长条且多孔的电池用隔膜的隔膜清洗方法，

所述隔膜清洗方法包括如下工序：

将所述电池用隔膜沿其长边方向搬运；

通过使搬运中的所述电池用隔膜通过在清洗槽内充满的清洗液中来进行清洗；以及

在将所述电池用隔膜朝向所述清洗槽搬入的位置与从所述清洗槽搬出的位置之间，从搬运所述电池用隔膜的搬运辊去除清洗液。

在第二方案中，例如在图4所示的清洗槽15～19中的至少一者中，如图6所示那样通过刮落杆BL从搬运耐热隔膜S(电池用隔膜)的辊m(搬运辊)去除清洗水W。根据第二方案，能够减少从清洗工序朝向其他工序带入的清洗液。

本发明的第三方案的隔膜清洗方法是用于清洗长条且多孔的电池用隔膜的隔膜清洗方法，

所述隔膜清洗方法包括如下工序：

将所述电池用隔膜沿其长边方向搬运；

通过使搬运中的所述电池用隔膜通过在清洗槽内充满的清洗液中来进行清洗；以及

在所述清洗槽中使清洗液循环，以便促进所述电池用隔膜的一面侧与另一面侧之间的清洗液的更换。

在第三方案中，例如在图4所示的清洗槽15～19中的至少一者中使清洗水W循环，以便促进耐热隔膜S(电池用隔膜)的一面侧与另一面侧之间的清洗水W(清洗液)的更换。根据第三方案，能够使清洗槽内的清洗液的去除对象物质的浓度更加均匀，能够促进去除对象物质的有效去除。

本发明的第四方案的隔膜清洗方法是用于清洗长条且多孔的电池用隔膜的隔膜清洗方法，

所述隔膜清洗方法包括如下工序：

将所述电池用隔膜沿其长边方向搬运；以及

通过使搬运中的所述电池用隔膜通过在清洗槽内充满的清洗液中来进行清洗，

在将所述电池用隔膜沿其长边方向搬运的工序中，在将所述电池用隔膜朝向所述清洗槽搬入的位置与从所述清洗槽搬出的位置之间，向所述电池用隔膜施加用于进行搬运的驱动力。

在第四方案中，例如在图4所示的清洗槽15～19中的至少一者中，在将耐热隔膜S(电池用隔膜)朝向清洗槽搬入的位置与从清洗槽搬出的位置之间，通过驱动辊R向耐热隔膜S施加用于进行搬运的驱动力。根据第四方案，与仅从清洗工序的后续工序开始拉动电池用隔膜进行搬运的情况相比较，向电池用隔膜施加的力被分散。其结果是，能够抑制电池用隔膜的切断等不良情况的产生。

需要说明的是，在将用于向电池用隔膜给予驱动力的机构配置在清洗液中时，将电池用隔膜朝向清洗槽搬入的位置也可以是将电池用隔膜朝向清洗槽的清洗水中搬入的位置，并且将电池用隔膜从清洗槽搬出的位置也可以是将电池用隔膜从清洗槽的清洗水中搬出的位置。

本发明的第五方案的隔膜制造方法包括：

成形长条且多孔的电池用隔膜的成形工序；以及

在所述成形工序之后执行的上述的第一方案至第四方案中的任一方案的隔膜清洗方法的各工序。

在第五方案中，例如在成形出图3所示的包括多孔膜5与在多孔膜5上层叠的耐热层4的耐热隔膜S(电池用隔膜)之后，在图4所示的清洗槽15～19中的至少一者中清洗耐热隔膜S。根据第五方案，能够制造抑制了不良情况的、与以往相比透气性高的电池用隔膜。

本发明的第六方案的隔膜制造方法在上述的第五方案的基础上，

所述电池用隔膜是包括基材与在该基材上层叠的功能层的层叠隔膜，

所述成形工序也可以包括：

为了层叠所述功能层而将含有构成该功能层的物质的液状物质向所述基材涂敷的涂敷工序；以及

在所述涂敷工序之后使所述物质凝固的凝固工序。

在第六方案中，例如为了在图3所示的多孔膜5(基材)上层叠耐热层4(功能层)而将含有构成耐热层4的芳香族聚烯烃树脂(物质)的NMP(液状物质)向多孔膜5涂敷，使芳香族聚烯烃树脂凝固，在图4所示的清洗槽15～19中的至少一者中清洗耐热隔膜S。根据第六方案，能够制造抑制了不良情况的、与以往相比透气性高的层叠隔膜。

本发明的第七方案的隔膜清洗方法是用于获得长条且多孔的电池用隔膜的膜清洗方法，

所述膜清洗方案包括如下工序：

将所述电池用隔膜的中间产品、即长条的膜沿其长边方向搬运；以及

通过使搬运中的所述膜通过在清洗槽内充满的清洗液中来进行清洗，

所述膜以聚烯烃为主成分。

在第七方案中，例如将通过混炼聚烯烃与无机填充剂或者增塑剂而获得的聚烯烃树脂组成物成形为薄片状并延伸而形成的耐热隔膜S(电池用隔膜)的中间产品在图4所示的清洗槽15～19中的至少一者中清洗，冲洗无机填充剂或者增塑剂。根据第七方案，能够获得抑制了不良情况的、与以往相比透气性高的聚烯烃隔膜。

本发明的第八方案的隔膜清洗方法包括：

成形出长条且多孔的电池用隔膜的中间产品、即长条的膜的成形工序；

在所述成形工序之后执行的、将作为所述电池用隔膜的中间产品的长条的膜沿其长边方向搬运的工序；以及

通过使搬运中的所述膜通过在清洗槽内充满的清洗液中来进行清洗的工序。

在第八方案中，例如在将通过混炼聚烯烃与无机填充剂或者增塑剂而获得的聚烯烃树脂组成物成形为薄片状并延伸而获得耐热隔膜S(电池用隔膜)的中间产品之后，在图4所示的清洗槽15～19中的至少一者中清洗该中间产品。根据第八方案，能够制造抑制了不良情况的、与以往相比透气性高的电池用隔膜。

〔第四实施方式〕

基于图7对本发明的第四实施方式进行说明。

《在清洗槽中使清洗水循环的结构》

图7是示出在本实施方式的清洗槽15、16中使清洗水W循环的结构的图，(a)是侧视剖视图，(b)是俯视图，(c)是主视剖视图，(d)是示出与(c)不同的结构的主视剖视图。需要说明的是，图7的XYZ坐标轴与图7以外的图的XYZ坐标轴对应。另外，图7的(a)与图4对应。并且，为了简化附图，在图7的(a)中，仅示出图4的辊a～m中的辊a、m。另外，在图7的(b)中，没有示出图4的辊a～m以及耐热隔膜S。在图7的(c)、(d)中，没有示出图4的辊a～m，用虚线表示耐热隔膜S。

如图7的(a)、(b)所示，清洗槽15具备排出部211～213与吸引口22。排出部211～213设置为从清洗槽15的Y轴负方向侧的内壁中的Z轴负方向侧突出。在排出部211～213中的Z轴正方向侧(上侧)设有排出口H。吸引口22设置在清洗槽15的底面的Y轴正方向侧且是X轴负方向侧。需要说明的是，清洗槽16也与清洗槽15同样地具备排出部211～213与吸引口22。

《在清洗槽中使清洗水循环的动作》

排出部211～213将清洗水W从清洗槽15的外部朝向内部导入。排出口H将导入的清洗水W朝向Z轴正方向侧排出。并且，如图7的(c)所示，清洗水W在清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的Y轴负方向侧的内壁附近朝向方向F流动。在此，“宽度方向”是指，与耐热隔膜S的长边方向和厚度方向垂直的方向。

吸引口22将清洗水W从清洗槽15的内部向外部吸引。并且，吸引口22吸引出的清洗水W从清洗槽15的排出部211～213排出。由此，清洗水W在清洗槽15内如下述(1)～(4)那样循环。

(1)清洗水W被排出，由此在清洗槽15的Y轴负方向侧的内壁附近从Z轴负方向侧朝向Z轴正方向侧流动。

(2)清洗水W在清洗槽15的水面侧(Z轴正方向侧)从Y轴负方向侧朝向Y轴正方向侧流动。换句话说，在清洗槽15的上部从Y轴负方向侧的内壁朝向Y轴正方向侧的内壁流动。

(3)清洗水W被吸引，由此在清洗槽15的Y轴正方向侧的内壁附近从Z轴正方向侧朝向Z轴负方向侧流动。

(4)清洗水W在清洗槽15的底面附近从Y轴正方向侧朝向Y轴负方向侧流动。换句话说，在清洗槽15的底面附近从Y轴正方向侧的内壁朝向Y轴负方向侧的内壁流动。需要说明的是，清洗水W在清洗槽16中也与清洗槽15同样地循环。

《本实施方式的效果》

本实施方式的膜制造方法包括如下工序：以使耐热隔膜S通过清洗槽15的水中的方式将耐热隔膜S朝向长边方向搬运(图7的(a))；以及将清洗水W从清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁朝向清洗槽15内导入，并朝向上方排出(图7的(c))。

以上，清洗水W在耐热隔膜S以及清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁之间流动，在清洗槽15内循环。所以，抑制流动的清洗水W按压耐热隔膜S的表面而向耐热隔膜S施加的力。另外，更新了耐热隔膜S的表面的清洗水W，促进耐热隔膜S的去除对象物质的去除。因此，能够制造抑制了在耐热隔膜S上产生的不良情况、并且抑制了去除对象物质的残留的耐热隔膜S。

需要说明的是，清洗槽15所具备的排出部的个数不限于三个。另外，清洗槽15所具备的吸引口的个数不限于一个。上述个数能够基于清洗槽15的尺寸、在清洗槽15中谋求的清洗能力、清洗水W的流量或者耐热隔膜S的搬运路线等进行变更。例如，通过增加排出部的个数，清洗水W能够在与排出部的个数对应的多个位置在清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁附近流动。由此，更多地更新耐热隔膜S的表面的清洗水W，进一步促进耐热隔膜S的去除对象物质的去除。

另外，也可以在图4所示的清洗槽17～19中具备排出部211～213以及吸引口22。然后，若清洗槽15～19中的至少一个清洗槽具备排出部211～213，则能够制造抑制了在耐热隔膜S上产生的不良情况并且抑制了去除对象物质的残留的耐热隔膜S。

(清洗水W的排出方向)

如图7的(c)所示，从排出口H排出清洗水W的方向F被设定为，以排出口H为起点朝向方向F延伸的假想的直线在水中通过耐热隔膜S和清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁之间。由此，能够将清洗水W从耐热隔膜S的一面侧朝向另一面侧调换。

另外，方向F被设定为，耐热隔膜S在水中不存在于以排出口H为起点朝方向F延伸的假想的直线上。由此，能够可靠地抑制流动的清洗水W挤压耐热隔膜S的面而向耐热隔膜S施加的力，清洗水W能够从膜的一面侧朝向另一面侧调换。

另外，排出口H设置在排出部211～213的与辊a～m的旋转轴垂直的方向(在本实施方式中为Z轴方向)侧。需要说明的是，与辊a～m的旋转轴垂直的方向只要是将清洗水W沿着清洗槽15的内壁从排出口H排出的方向即可。例如，排出口H也可以设置在排出部211～213中的相对于辊a～m的旋转轴形成包含在60°以上且90°以下的角度范围内的角度的方向侧。

并且，至少排出部212在图7的(a)中设置在向下方搬运的耐热隔膜S与向上方搬运的耐热隔膜S之间。由此，由于清洗水W通过向下方搬运的耐热隔膜S与向上方搬运的耐热隔膜S之间，因此能够促进上述耐热隔膜S之间的清洗水W的更新。

另外，图7的(d)所示的排出部211A、212A、213A也实现与图7的(c)所示的排出部211～213相同的效果。换句话说，也可以将清洗水W从清洗槽15的底面的、与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的清洗槽15的内壁中的靠近Y轴负方向侧的内壁的位置导入清洗槽15内，朝向上方排出。

(迂回路23)

如图7的(b)、(c)所示，在清洗槽15(第一清洗槽)与清洗槽16(第二清洗槽)之间设有使清洗水W从清洗槽16朝向清洗槽15移动的迂回路23。迂回路23的供清洗水W流入的流入口设置在清洗槽16的Y轴正方向侧的内壁的X轴负方向侧且是Z轴正方向侧。迂回路23的供清洗水W流出的流出口设置在清洗槽15的Y轴正方向侧的内壁的X轴负方向侧且是Z轴正方向侧。以上，能够使清洗水W的一部分在不阻碍清洗槽15、16的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁附近的清洗水W的流动的情况下从清洗槽16朝向清洗槽15移动。另外，如图7的(b)所示，迂回路23具备过滤器231。由此，能够抑制清洗槽16的浮游物流入清洗槽15。

需要说明的是，也可以在清洗槽16～19的邻接的两个清洗槽之间存在迂回路23。另外，也可以在清洗槽16～19的邻接的两个清洗槽之间全部设置迂回路。此时，如图4所示，清洗水W朝向方向D从清洗槽19流动至清洗槽15。然后，朝向清洗槽19重新供给清洗水W。另外，从清洗槽15朝向外部排出清洗水W的一部分。

(迂回路23的变形例)

图8是示出图7所示的迂回路23的变形例的图，(a)是主视剖视图，(b)是包括(a)的迂回路23的俯视剖视图，(c)是示出与(a)不同的变形例的主视剖视图。

如图8的(a)所示，迂回路23也可以设置在清洗槽15、16的底面附近或者底面。如图8的(b)所示，在包括迂回路23的俯视剖面中，迂回路23连接清洗槽15与清洗槽16之间。

如图8的(c)所示，迂回路23也可以设置在清洗槽15、16的底面与水面的中间。

以上，迂回路23也可以设置在连接清洗槽15与清洗槽16之间的任意的位置。另外，迂回路23也可以在Y轴负方向侧连接清洗槽15与清洗槽16。

(连接清洗槽之间的管道)

图9是示出在图4所示的清洗装置6的清洗槽16与清洗槽17之间设置的管道23a的结构的侧视剖视图，(a)示出包括管道23a的剖面，(b)示出(a)的变形例。

如图9的(a)所示，管道23a以连结清洗槽16与清洗槽17之间的方式朝X轴方向延伸，设置在清洗槽16、17的底面附近。管道23a是具有与图7所示的迂回路23同等功能的迂回路23的变形例。

管道23a的流入口设置在清洗槽17的X轴负方向侧的壁面。清洗水W经由该流入口从清洗槽17向管道23a流入。另外，管道23a的流出口设置在清洗槽16的X轴正方向侧的壁面。清洗水W经由该流出口从管道23a朝向清洗槽16流出。

如图9的(b)所示，管道23a也可以设置在清洗槽16、17的底面与水面的中间。另外，管道23a也可以设置在清洗槽16、17的水面附近。

以上，管道23a也可以设置在连接清洗槽16与清洗槽17之间的任意的位置。

(清洗槽的底面的倾斜)

如图7的(a)所示，清洗槽15的底面以方向D侧比其相反侧更深的方式倾斜。由此，在维护时，在清洗槽15中不会残留清洗水W，能够从清洗槽15排出清洗水W。

另外，吸引口22设置在清洗槽15的底面的方向D侧。而且，以清洗槽15的底面的方向D侧比其相反侧更深的方式倾斜。因此，在清洗槽15内产生的沉淀物朝向清洗槽15的底面降低的方向D侧集中。所以，沉淀物朝向吸引口22集中。

如上所述，吸引口22吸引的清洗水W从清洗槽15的排出部211～213被排出。此时，通过在将清洗水W从排出部211～213排出之前对其进行过滤等，能够去除沉淀物。

另外，如上所述，清洗水W朝方向D侧流动。因此，清洗槽15的底面优选形成为X轴负方向侧(将耐热隔膜S朝向清洗槽15搬入的位置侧)比X轴正方向侧(将耐热隔膜S从清洗槽15搬出的位置侧)低。

(排出部的其他的第一结构例)

图10是示出图7所示的清洗槽15、16的排出部211～213的其他结构的图，图10的(a)是示出在图7的(c)中变更排出部211～213的形状而成的排出部211a～213a的结构的主视剖视图。如图10的(a)所示，排出部211a～213a的清洗槽15内部侧的部位沿着清洗槽15的Y轴负方向侧的内壁朝向Z轴正方向侧延伸。

以上，清洗水W在从排出部211a～213a排出之前，在排出部211a～213a的内部被调整为在清洗槽15的Y轴负方向侧的内壁附近朝向Z轴正方向侧流动。因此，清洗水W能够在从排出部211a～213a排出之后，可靠地在清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁附近朝方向F流动。

(排出部的其他的第二结构例)

图10的(b)是示出将图10的(a)所示的排出部211a～213a的清洗水W的供给源一体化而成的排出部21b的结构的俯视图。需要说明的是，图10的(b)与图7的(b)对应。如图10的(b)所示，排出部21b的清洗槽15的内侧的端部(排出侧)分支为三个。排出部21b的清洗槽15的外侧的端部(供给源)一体化。需要说明的是，清洗槽15的主视剖面中的排出部21b的形状与图10的(a)所示的排出部211a～213a的形状相同。

以上，清洗水W从三个排出口H以大致均匀的流速排出。因此，清洗水W能够在从三个排出口H排出之后，以均匀的流速在清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁附近朝方向F流动。

(排出部的其他的第三结构例)

图10的(c)是示出设有与图10的(b)所示的排出部21b的排出口H不同形状的排出口Hc的排出部21c的结构的俯视图。如图10的(c)所示，在排出部21c设有将图10的(b)所示的三个排出口H一体化而成的排出口Hc。排出口Hc在清洗槽15的内壁延伸的方向、即X轴方向上扩展。需要说明的是，清洗槽15的主视剖面中的排出部21c的形状与图10的(a)所示的排出部211a～213a的形状相同。

以上，清洗水W从朝向X轴方向扩展的排出口Hc以大致均匀的流速排出。因此，清洗水W能够在从排出口Hc排出之后在X轴方向上以均匀的流速在清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁附近朝向方向F流动。需要说明的是，排出口Hc并不限定于朝向X轴方向扩展的结构，只要是朝向所述内壁延伸的方向扩展即可。

(膜制造装置)

具备清洗槽15、辊a～m(搬运装置)以及排出部211～213或者排出部211A～213A的膜制造装置也包含于本发明。该膜制造装置也能够与上述的膜制造方法同样地制造抑制了在耐热隔膜S上产生的不良情况、并且抑制了去除对象物质的残留的耐热隔膜S。

〔第五实施方式〕

基于图11对本发明的第五实施方式进行说明。

《在清洗槽中使清洗水循环的其他结构》

图11是示出在本实施方式的清洗槽15、16中使清洗水W循环的结构的图，(a)是侧视剖视图，(b)是俯视图，(c)是主视剖视图。图11的(a)～(c)对应图7的(a)～(c)。

如图11的(a)、(b)所示，清洗槽15具备排出部211d、212d、213d与吸引口22d。排出部211d、212d、213d设置为从清洗槽15的Y轴负方向侧的内壁中的Z轴正方向侧突出。在排出部211d、212d、213d中的Z轴负方向侧(下侧)设有排出口H。吸引口22d设置在清洗槽15的Y轴正方向侧的内壁中的Z轴正方向侧且是X轴负方向侧。需要说明的是，清洗槽16也与清洗槽15同样地具备排出部211d、212d、213d与吸引口22d。但是，清洗槽16的吸引口22d设置在清洗槽16的Y轴正方向侧的内壁中的Z轴正方向侧且是X轴正方向侧。

《在清洗槽中使清洗水循环的其他动作》

排出部211d、212d、213d将清洗水W从清洗槽15的外部朝内部导入。排出口H将导入的清洗水W朝向Z轴负方向侧排出。然后，如图11的(c)所示，清洗水W在清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的Y轴负方向侧的内壁附近朝方向F流动。

吸引口22d将清洗水W从清洗槽15的内部朝外部吸引。然后，吸引口22d所吸引的清洗水W从排出部211d、212d、213d排出。由此，清洗水W在清洗槽15内如下述(1d)～(4d)那样循环。

(1d)清洗水W被排出，由此在清洗槽15的Y轴负方向侧的内壁附近从Z轴正方向侧朝Z轴负方向侧流动。

(2d)清洗水W在清洗槽15的底面附近从Y轴负方向侧朝Y轴正方向侧流动。换句话说，在清洗槽15的底面附近从Y轴负方向侧的内壁朝Y轴正方向侧的内壁流动。

(3d)清洗水W被吸引，由此在清洗槽15的Y轴正方向侧的内壁附近从Z轴负方向侧朝Z轴正方向侧流动。

(4d)清洗水W在清洗槽15的水面侧(Z轴正方向侧)从Y轴正方向侧朝Y轴负方向侧流动。换句话说，在清洗槽15的上部从Y轴正方向侧的内壁朝Y轴负方向侧的内壁流动。

需要说明的是，此时的清洗水W的循环方向是使图7的(c)所示的清洗水W的循环方向上下(Z轴方向)反转的方向。清洗水W在清洗槽16中也与清洗槽15同样地循环。

《本实施方式的效果》

本实施方式的膜制造方法包括如下工序：以使耐热隔膜S通过清洗槽15的水中的方式将耐热隔膜S沿长边方向搬运(图11的(a))；以及将清洗水W从清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁朝清洗槽15内导入，并向下方排出(图11的(c))。

以上，清洗水W在耐热隔膜S以及清洗槽15的与耐热隔膜S的宽度方向的端部对置的内壁之间流动，在清洗槽15内循环。所以，抑制流动的清洗水W按压耐热隔膜S的表面而对耐热隔膜S施加的力。另外，耐热隔膜S的表面的清洗水W被更新，促进耐热隔膜S的去除对象物质的去除。因此，能够制造抑制了耐热隔膜S所产生的不良情况、并且抑制了去除对象物质的残留的耐热隔膜S。

需要说明的是，清洗槽15所具备的排出部的个数不限于三个。另外，清洗槽15所具备的吸引口的个数不限于一个。它们的个数能够基于清洗槽15的尺寸、清洗槽15所谋求的清洗能力、清洗水W的流量、耐热隔膜S的搬运路线等进行变更。

另外，也可以在图4所示的清洗槽17～19中具备排出部211d、212d、213d以及吸引口22d。并且，若清洗槽15～19中的至少一个清洗槽具备排出部211d、212d、213d，则能够制造抑制了耐热隔膜S所产生的不良情况、并且抑制了去除对象物质的残留的耐热隔膜S。

(迂回路23d)

在本实施方式中，在清洗槽15与清洗槽16连接有迂回路23d。并且，迂回路23d与迂回路23同样地具备过滤器231。但是，迂回路23d与迂回路23不同，在Y轴负方向侧连接清洗槽15与清洗槽16。

迂回路23d也可以与图8所示的迂回路23同样地设置在连接清洗槽15与清洗槽16之间的任意的位置。另外，迂回路23d也可以在Y轴正方向侧连接清洗槽15与清洗槽16。

(膜制造装置)

具备清洗槽15、辊a～m(搬运装置)与排出部211d～213d的膜制造装置也包含于本发明。该膜制造装置也与上述的膜制造方法同样地能够制造抑制了耐热隔膜S所产生的不良情况、并且抑制了去除对象物质的残留的耐热隔膜S。

〔总结〕

本发明的膜制造方法包括如下工序：搬运工徐，以使膜通过液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运；以及排出工序，将所述液体从所述液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的内壁朝所述液槽内导入，并朝上方或者下方排出。

当从与膜的搬运方向不同的方向对液体中的膜施加新的力时，有可能产生弯折、褶皱、破损这样的不良情况。

根据所述制造方法，液体在液槽的与膜的宽度方向的端部对置的内壁附近朝上方或者下方流动。因此，液体在膜与该内壁之间流动。所以，抑制流动的液体按压膜面而对膜施加的力。另外，更新膜表面的液体，促进膜的去除对象物质的去除。因此，能够制造抑制了膜所产生的不良情况、并且抑制了去除对象物质的残留的膜。需要说明的是，“膜的宽度方向”是指，与膜的长边方向和厚度方向垂直的方向。

另外，在本发明的膜制造方法中，在所述排出工序中，优选通过从所述内壁突出的排出部将所述液体朝所述液槽内导入，并从设于所述排出部的上侧或者下侧的排出口排出所述液体。

根据所述制造方法，排出部能够以使液体在液槽的与膜的宽度方向的端部对置的内壁附近朝向上方或者下方流动的方式，经由排出口可靠地排出液体。

另外，在本发明的膜制造方法中，在所述排出工序中，优选将从所述排出口排出所述液体的排出方向设定为，朝向该排出的方向延伸的直线在所述液体中通过所述膜与所述内壁之间。

根据所述制造方法，由于液体通过膜以及液槽的与膜的宽度方向的端部对置的内壁之间，因此能够从膜的一面侧朝向另一面侧调换液体。

另外，在本发明的膜制造方法中，在所述排出工序中，优选将所述排出方向设定为，在所述直线上，所述膜不存在于所述液体中。

根据所述制造方法，能够可靠地抑制流动的液体按压膜面而对膜施加的力，并且将液体从膜的一面侧朝向另一面侧调换。

另外，在本发明的膜制造方法中，在所述搬运工序中，利用辊搬运所述膜，在所述排出工序中，优选将所述排出口设置在所述排出部的与所述辊的旋转轴垂直的方向侧。

另外，在本发明的膜制造方法中，在所述排出工序中，优选使所述排出部沿着所述内壁延伸。

根据所述制造方法，在液体即将从排出部排出之前，在排出部的内部调整为在液槽的内壁附近流动。因此，液体能够在从排出部排出之后可靠地在液槽的与膜的宽度方向的端部对置的内壁附近流动。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，在所述排出工序中，所述排出口朝向所述内壁延伸的方向扩展。

根据所述制造方法，液体从朝向内壁延伸的方向扩展的排出口以大致均匀的流速排出。因此，液体能够在从排出口排出之后在内壁延伸的方向上以均匀的流速在液槽的与膜的宽度方向的端部对置的内壁附近流动。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，在所述排出工序中，所述液体由多个所述排出部朝向所述液槽内供给。

根据所述制造方法，能够使液体在与多个排出部对应的多个位置在液槽的与膜的宽度方向的端部对置的内壁附近流动。因此，更多地更新膜表面的液体，进一步促进膜的去除对象物质的除去。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，在所述排出工序中，多个所述排出部的所述液体的供给源一体化。

根据所述制造方法，将液体从多个排出部以大致均匀的流速排出。因此，能够使液体在从多个排出部排出之后以均匀的流速在液槽的与膜的宽度方向的端部对置的内壁附近流动。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，还包括从所述液槽的底面的、与靠近导入所述液体的内壁相比更靠近所述液槽的与导入该液体的内壁对置的内壁的位置吸引所述液体的工序，在所述排出工序中，朝上方排出所述液体。

根据所述制造方法，使液体如以下那样在液槽内循环。

(1)液体被排出，由此在液槽的导入液体的内壁(以下为“导入内壁”)附近朝一方向流动。

(2)液体从导入内壁朝向液槽的与导入内壁对置的内壁(以下为“对置内壁”)流动。

(3)液体被吸引，由此在对置内壁附近朝向与上述的一方向相反的方向流动。

(4)液体从对置内壁朝向导入内壁流动。

由此，液体能够在液槽整体中循环。因此，促进膜的表面整体的液体的更新。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，还包括从所述液槽的与导入所述液体的内壁对置的内壁的、比所述液槽的底面靠近所述液体的液面的位置吸引所述液体的工序，在所述排出工序中，将所述液体朝向下方排出。利用所述制造方法，也能够使液体在液槽整体中循环。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，所述液槽的底面倾斜。

根据所述制造方法，液体朝倾斜方向流动。因此，在维护时，不会在液槽中残留液体，能够将液体从液槽排出。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，所述液槽的底面倾斜，还包括从所述底面的低侧吸引所述液体的工序。

根据所述制造方法，在液槽内产生的沉淀物朝向液槽的底面降低的方向集中。所以，沉淀物朝向吸引液体的位置侧集中。此时，通过过滤被吸引的液体等，能够去除沉淀物。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，所述底面的在所述搬运的工序中朝所述液槽搬入所述膜的位置侧低于在所述搬运的工序中从所述液槽搬出所述膜的位置侧。

另外，在本发明的膜制造方法中，优选的是，还包括如下工序：在所述搬运的工序中，以使所述膜通过第一液槽以及第二液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运，在所述排出的工序中，将所述液体从所述第一液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的内壁朝所述第一液槽内导入，并朝上方或者下方排出，将所述液体从所述第二液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的内壁朝所述第二液槽内导入，并朝上方或者下方排出，使所述液体从所述第二液槽朝所述第一液槽移动。

根据所述制造方法，液体的一部分能够在不阻碍第一液槽以及第二液槽的与膜的宽度方向的端部对置的内壁附近的液体的流动的情况下，在第一液槽与第二液槽之间移动。另外，在第一液槽、第二液槽与液槽之间的液体的移动路线中，能够去除例如浮游物。由此，能够抑制第二液槽的浮游物流入第一液槽。

本发明的另一膜制造方法包括如下工序：以使膜通过液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运；以及将所述液体从所述液槽的底面的、更靠近所述液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的两个内壁中的任一方的位置朝所述液槽内导入，并朝上方排出。

本发明的膜制造装置具备：液槽；搬运装置，其以使膜通过所述液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运；以及排出部，其从所述液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的内壁朝所述液槽内导入所述液体，并朝上方或者下方排出该液体。

本发明的另一膜制造装置具备：液槽；搬运装置，其以使膜通过所述液槽的液体中的方式将所述膜沿长边方向搬运；以及排出部，其从所述液槽的底面的、更靠近所述液槽的与所述膜的宽度方向的端部对置的两个内壁中的任一方的位置朝所述液槽内导入所述液体，并朝上方或者下方排出该液体。

〔附加事项〕

本发明并不限定于上述的各实施方式，能够在权利要求书所示的范围内进行各种变更，适当组合在不同的实施方式中分别公开的技术手段而获得的实施方式也包含于本发明的技术范围。

工业实用性

本发明也能够应用于隔膜以外的膜的制造。