膜制造方法以及膜清洗装置与流程

本发明涉及一种构成在锂离子二次电池等电池中使用的隔离物的膜的制造方法以及清洗装置。

背景技术：

在锂离子二次电池的内部，正极以及负极被膜状且多孔质的隔离物分离。在该隔离物的制造工序中，包括用于之后从制造出的膜去除不需要的物质的清洗工序。

专利文献1公开了用于进行上述清洗工序的清洗装置。专利文献1的清洗装置使膜通过两个清洗槽而对膜进行清洗。

在先技术文献

专利文献1：日本公开专利公报“特开2001-228594号公报(公开日：2001年8月24日)”

在专利文献1的清洗装置中，在从膜的搬运路径的上游侧的清洗槽(在此，称为清洗槽a)搬出后且进入搬运路径的下游侧的清洗槽(在此，称为清洗槽b)之前，尤其是在膜的上表面附着的液体基本未被去除。因此，在专利文献1的清洗装置中，存在清洗槽a中充满的液体进入清洗槽b的可能性。

清洗槽a以及清洗槽b中充满膜清洗用的液体，但通常搬运路径的上游侧的清洗槽a中充满的液体比清洗槽b中充满的液体脏。因此，若清洗槽a中充满的液体进入清洗槽b，则会产生清洗槽b中充满的液体被污染的问题。

技术实现要素：

发明要解决的课题

本发明是鉴于上述的课题而完成的，其目的在于提供一种能够抑制膜的搬运路径的下游侧的清洗槽的清洗液的污染的膜制造方法以及膜清洗装置。

用于解决课题的方案

本发明的一个方式的膜制造方法包括：清洗工序，在第一清洗槽中对膜进行清洗；以及搬运工序，使第一辊、第二辊、以及第三辊与从所述第一清洗槽搬出的所述膜接触，并将所述膜向第二清洗槽搬运，在所述搬运工序中，所述第一辊以及所述第三辊与所述膜的一各面接触，且在所述第一辊与所述第三辊之间，所述第二辊与所述膜的另一个面接触，由此从所述膜去除清洗液，使通过所述第二辊而从所述膜去除的所述清洗液返回所述第一清洗槽。

根据上述的结构，在清洗槽之间，通过第一辊以及第二辊去除膜的两面上附着的清洗液。被第二辊去除的清洗液返回上游的第一清洗槽。因此，能够减少被带入下游的第二清洗槽的第一清洗槽的清洗液的量。故而，能够抑制第二清洗槽的清洗液的污染。

本发明的一个方式的膜清洗装置具备：第一清洗槽以及第二清洗槽，其对膜进行清洗；以及第一辊、第二辊、以及第三辊，其与从所述第一清洗槽搬出的所述膜接触，且将所述膜向所述第二清洗槽搬运，所述第一辊以及所述第三辊与所述膜的一个面接触，且在所述第一辊与所述第三辊之间，所述第二辊与所述膜的另一个面接触，由此所述第二辊从所述膜去除清洗液，通过所述第二辊而从所述膜去除的所述清洗液返回所述第一清洗槽。

发明效果

根据本发明，能够抑制膜的搬运路径的下游侧的清洗槽的清洗液的污染。

附图说明

图1是示出锂离子二次电池的剖面结构的示意图。

图2是示出图1所示的锂离子二次电池的详细结构的示意图。

图3是示出图1所示的锂离子二次电池的另一结构的示意图。

图4是示出本发明的一个实施方式的清洗装置的结构的剖视图。

图5是图4所示的清洗装置中的第一辊以及第二辊的剖视图。

图6是示出在清洗装置中设置有导流件的情况下的导流件的配置例的剖视图。

附图标记说明

6清洗装置(膜清洗装置)

12隔离物(膜)

15、16清洗槽(第一清洗槽、第二清洗槽)

s耐热隔离物(膜)

w清洗水(清洗液)

m辊(第一辊)

n辊(第二辊)

a辊(第三辊)

具体实施方式

以下，参照图1～图5对用于实施本发明的方式进行说明。

(锂离子二次电池)

以锂离子二次电池为代表的非水电解液二次电池的能量密度高，因此目前作为在个人计算机、便携式电话、便携式信息终端等设备、机动车、航空器等移动体中使用的电池而被广泛使用，或者作为有助于电力的稳定供给的固定用电池而被广泛使用。

图1是示出锂离子二次电池1的剖面结构的示意图。如图1所示，锂离子二次电池1具备阴极11、隔离物(膜)12以及阳极13。在锂离子二次电池1的外部，在阴极11与阳极13之间连接外部设备2。而且，在锂离子二次电池1充电时电子向方向a移动，在放电时电子向方向b移动。

(隔离物)

隔离物12配置在锂离子二次电池1的正极即阴极11与其负极即阳极13之间，并被阴极11与阳极13夹持。隔离物12是将阴极11与阳极13之间分离且能够使它们之间的锂离子移动的多孔质膜。作为隔离物12的材料，例如包括聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃。

图2是示出图1所示的锂离子二次电池1的详细结构的示意图，(a)示出通常的结构，(b)示出锂离子二次电池1升温后的情形，(c)示出锂离子二次电池1急剧地升温后的情形。

如图2的(a)所示，在隔离物12上设有多个孔p。通常，锂离子二次电池1的锂离子3能够经由孔p而往返。

在此，例如，有时由于锂离子二次电池1的过充电或外部设备的短路所引起的大电流等而导致锂离子二次电池1升温。在该情况下，如图2的(b)所示，隔离物12熔化或变得柔软而堵塞孔p。而且隔离物12收缩。由此，锂离子3的往返停止，因此上述的升温也停止。

但是，在锂离子二次电池1急剧地升温的情况下，隔离物12急剧地收缩。在该情况下，如图2的(c)所示，隔离物12有时被破坏。然后，锂离子3从破坏的隔离物12漏出，因此锂离子3的移动不停止。因此，温度继续上升。

图3是示出图1所示的锂离子二次电池1的另一结构的示意图，(a)示出通常的结构，(b)示出锂离子二次电池1急剧地升温后的情形。

如图3的(a)所示，隔离物12也可以是具备多孔质膜5和耐热层4的耐热隔离物(膜)。耐热层4层叠在多孔质膜5的阴极11侧的单面上。另外，耐热层4也可以层叠在多孔质膜5的阳极13侧的单面上，还可以层叠在多孔质薄膜5的双面上。而且，在耐热层4上也设有与孔p同样的孔。通常，锂离子3经由孔p和耐热层4的孔而往返。作为耐热层4的材料，例如包括全芳香族聚酰胺(芳族聚酰胺树脂)。

如图3的(b)所示，即便锂离子二次电池1急剧地升温而多孔质膜5熔化或变得柔软，由于耐热层4辅助多孔质膜5，因此多孔质膜5的形状得以维持。因此，多孔质膜5熔化或变得柔软而止于孔p堵塞的状态。由此，由于锂离子3的往返停止，从而上述的过放电或过充电也停止。这样，抑制了隔离物12的破坏。

锂离子二次电池1的隔离物以及耐热隔离物的制造能够利用以下的方法来进行。以下，假设多孔质膜5的材料主要包括聚乙烯的情况来进行说明。但是，在多孔质膜5包括其他材料的情况下，也能够通过同样的制造工序来制造隔离物12(耐热隔离物)。

能够举出在向热塑性树脂添加无机填充剂或增塑剂而进行膜成形之后，利用适当的溶剂将该无机填充剂以及该增塑剂清洗去除的方法。例如，在多孔质膜5是由包含超高分子量聚乙烯的聚乙烯树脂形成的聚烯烃隔离物的情况下，能够通过以下所示的方法进行制造。

该方法包括：(1)将超高分子量聚乙烯与无机填充剂(例如碳酸钙、二氧化硅)或增塑剂(例如低分子量聚烯烃、液体石蜡)混炼而获得聚乙烯树脂组合物的混炼工序；(2)使用聚乙烯树脂组合物来成形膜的轧制工序；(3)从通过工序(2)获得的膜中去除无机填充剂或增塑剂的去除工序；以及(4)使通过工序(3)获得的膜延伸而获得多孔质膜5的延伸工序。需要说明的是，也可以在所述工序(2)与(3)之间进行所述工序(4)。

通过去除工序，在膜中设置多个微孔。通过延伸工序延伸后的膜的微孔成为上述的孔p。由此，得到具有规定的厚度和透气度的聚乙烯微多孔膜、即多孔质膜5(不具有耐热层的隔离物12)。

需要说明的是，在混炼工序中，也可以对100重量份的超高分子量聚乙烯、5～200重量份的重量平均分子量在1万以下的低分子量聚烯烃以及100～400重量份的无机填充剂进行混炼。

之后，在涂敷工序中，在多孔质膜5的表面形成耐热层4。例如，在多孔质膜5上涂覆(涂布工序)芳族聚酰胺/nmp(n-甲基吡咯烷酮)溶液(涂敷液)，通过使其凝固(凝固工序)而形成作为芳族聚酰胺耐热层的耐热层4。耐热层4可以仅设置在多孔质膜5的单面上，也可以设置在双面上。

另外，在涂敷工序中，也可以在多孔质膜5的表面涂布(涂布工序)聚偏氟乙烯二甲基乙酰胺溶液(涂敷液)，并使其凝固(凝固工序)，由此在多孔质膜5的表面形成粘接层。粘接层可以仅设置在多孔质膜5的单面上，也可以设置在双面上。

在本说明书中，将具有与电极的粘接性或聚烯烃的熔点以上的耐热性等功能的层称为功能层。

对于将涂覆液涂覆于多孔质膜5上的方法而言，只要是能够均匀地湿涂的方法即可，没有特别的限制，可以采用以往公知的方法。例如，可以采用毛细管涂覆法、狭缝模涂法、喷涂法、浸涂法、辊涂法、丝网印刷法、柔性印刷法、棒涂法、凹版印刷式涂法、模涂法等。耐热层4的厚度能够通过涂敷湿膜的厚度、涂敷液中的固体成分浓度来控制。

需要说明的是，作为在涂敷时固定或搬运多孔质膜5的支承体，能够使用树脂制的膜、金属制的传送带、卷筒等。

如上述那样，能够制造在多孔质膜5上层叠有耐热层4的隔离物12(耐热隔离物)。制造出的隔离物卷绕于圆筒形状的芯体。需要说明的是，通过以上的制造方法制造的对象并不限于耐热隔离物。该制造方法也可以不包括涂敷工序。在该情况下，制造的对象是不具有耐热层的隔离物。

(清洗工序)

以下，参照图4以及图5对本实施方式的膜制造方法以及清洗装置6进行说明。

在以下的实施方式中，对长条且多孔质的电池用隔离物即耐热隔离物的清洗方法(膜制造方法)进行说明。耐热隔离物的耐热层通过在多孔质膜上涂覆芳族聚酰胺/nmp(n-甲基吡咯烷酮)溶液(涂敷液)而形成。此时，作为溶剂的nmp(去除对象物质)也浸渗于多孔质膜的孔。

孔中残留有nmp的耐热隔离物的透气度比孔中未残留有nmp的耐热隔离物的透气度低。透气度越低，越阻碍利用耐热隔离物的锂离子二次电池的锂离子的移动，因此锂离子二次电池的输出降低。因此，优选能够清洗为在耐热隔离物的孔中不残留有nmp。

图4是示出本实施方式的清洗装置6的结构的剖视图。如图4所示，清洗装置6(膜清洗装置)具备清洗槽15～19。清洗槽15～19分别由清洗水w(清洗液)充满。另外，清洗装置6还具备搬运耐热隔离物s且能够旋转的多个辊。在上述的辊中，辊a～n是对由清洗槽15清洗的耐热隔离物s进行搬运的辊。

从清洗工序的上游工序(例如，涂敷工序)搬运来的耐热隔离物s经由辊a～n而在清洗槽15中充满的清洗水w中(以下称为“水中”)通过。辊a～n(搬运辊)规定清洗槽15中的耐热隔离物s的搬运路径。在清洗槽17以及18中，也通过与清洗槽15中的辊相同的辊a～n对耐热隔离物s进行搬运。在清洗槽16以及19中，除了省略了辊n这一点，通过与清洗槽15中的辊相同的辊a～m对耐热隔离物s进行搬运。

清洗装置6还具备驱动辊r和辅助辊p、q。驱动辊r是被电动机等的动力驱动而旋转的辊。驱动辊r以驱动辊r的表面的速度与耐热隔离物s的搬运速度相同的方式而被驱动。驱动辊r在清洗槽之间对耐热隔离物s施加搬运方向(md：machinedirection)的力。辅助辊p、q规定驱动辊r与耐热隔离物s接触的表面的范围(所谓的“抱角”)。抱角是指在辊的外周供膜接触的圆弧相对于辊的轴的角度。可以将该驱动辊r与辅助辊p、q配置在清洗水w中，但优选如图4所示那样配置在清洗槽之间从而不需要实施防水处理。

如以上那样，驱动辊r在清洗槽15的辊a的位置与清洗槽19的辊m的位置之间对耐热隔离物s施加用于搬运的力。在此，清洗槽15的辊a是即将将耐热隔离物s向清洗槽15搬入之前的辊。清洗槽19的辊m是刚刚将耐热隔离物s从清洗槽19搬出之后的辊。

而且，上述的驱动辊r的力优选在清洗槽16的辊1与清洗槽17的辊b之间施加于耐热隔离物s。例如，优选将驱动辊r以及辅助辊p、q配置在搬运路径中的、从上游侧的清洗槽16(从水中)搬出耐热隔离物s之后且向下游侧的清洗槽17(向水中)搬入耐热隔离物s之前的位置。

本实施方式的清洗方法包括将耐热隔离物s沿其长度方向搬运的工序、和使搬运中的耐热隔离物s依次通过清洗槽15～19内充满的清洗水w中从而进行清洗的工序。这样，耐热隔离物s从上游的清洗槽向下游的清洗槽被依次搬运。在此，若无特别说明，“上游”以及“下游”是指隔离物的搬运方向上的上游以及下游。

在清洗槽15～19中的清洗完成之后，耐热隔离物s向清洗工序的下游工序(例如干燥工序)被搬运。

通过使耐热隔离物s在清洗水w中通过，从而nmp从耐热隔离物s的孔向水中扩散。在此，清洗水w的nmp浓度越低，nmp的扩散量越大。

耐热隔离物s依次在清洗槽15～19中被清洗，因此在下游的清洗槽中，清洗水w的nmp浓度比上游的清洗槽低。即，nmp的扩散阶段性地进行，因此能够可靠地去除堵塞于孔中的nmp。

如图4所示，也可以使清洗水w从隔离物搬运方向上的下游的清洗槽19直至上游的清洗槽15沿方向d流动。为此，例如，可以使清洗槽15～19之间的障壁随着从隔离物搬运方向上的下游朝向上游而变低。此时，本实施方式的清洗方法还具备如下工序：向下游的清洗槽供给清洗水w，并且将下游的清洗槽内的清洗水w向上游的清洗槽供给，由此更新各清洗槽内的清洗液。部分清洗水w从上游的清洗槽15排出。由此，能够有效利用清洗水w，并且使隔离物搬运方向上的下游的清洗槽的清洗水w的nmp浓度比上游的清洗槽的清洗水w的nmp浓度低。

通过使nmp的扩散阶段性地进行，与仅由一个清洗槽进行清洗的情况相比能够更有效地去除nmp。因此，能够缩短清洗中的耐热隔离物s的搬运距离。故而，能够在抑制折叠、破坏的同时对机械强度比无孔膜低的耐热隔离物s进行清洗。

耐热隔离物s的宽度越宽生产性越高。故而，耐热隔离物s的宽度(与md垂直的方向的长度)多大至接近清洗槽15～19的宽度。另外，清洗槽15～19的宽度按照耐热隔离物s的宽度而设计。

若耐热隔离物s的宽度变宽而使得耐热隔离物s的端部与清洗槽15～19之间的间隙变窄，则清洗槽15～19中充满的清洗水w成为分割为耐热隔离物s的一面侧(清洗槽的中心侧)与另一面侧(清洗槽的两端(图4中左右端)侧)的状态。

在清洗槽15～19进行的清洗中，大多通过清洗槽间的溢流而供给、排出清洗水w。此时，存在虽然分割至耐热隔离物s的一面侧的清洗水w被供给、排出，但分割至耐热隔离物s的另一面侧的清洗水w滞留的情况。

于是，本实施方式的清洗方法也可以包括如下的工序：在清洗槽15～19中的至少一个清洗槽中，使清洗水w循环从而促进耐热隔离物s的一面侧与另一面侧之间的清洗水w的更替。此时，清洗装置6可以在清洗槽15～19中的至少一个清洗槽中还具备具有清洗水w的供给、排出口的循环装置。由此，能够使一个清洗槽内的清洗水w的nmp浓度进一步均匀化，能够促进nmp的高效的去除。

清洗水w不限于水，只要是能够从耐热隔离物s去除nmp的清洗液即可。另外，清洗水w也可以包含表面活性剂等清洗剂、酸(例如盐酸)或碱。而且，清洗水w的温度优选为120℃以下。在该温度下，耐热隔离物s热收缩的可能性减小。另外，清洗水w的温度更优选为20℃以上且100℃以下。

以上的耐热隔离物s的清洗方法也能够应用于不具有耐热层的隔离物(例如聚烯烃隔离物)的清洗方法。

上述隔离物例如通过将对超高分子量聚乙烯等高分子量聚烯烃与无机填充剂或增塑剂进行混炼而获得的聚烯烃树脂组合物成形为膜状并进行延伸而形成。而且，通过将无机填充剂或增塑剂(去除对象物质)冲洗掉，从而形成隔离物的孔。

上述去除对象物质未被冲洗掉而残留在孔中的隔离物的透气度比在孔中未残留有上述去除对象物质的隔离物的透气度低。透气度越低，利用隔离物的锂离子二次电池的锂离子的移动越受到阻碍，因此锂离子二次电池的输出降低。因此，优选能够清洗为隔离物的孔中不残留有上述去除对象物质。

用于对含有无机填充剂的隔离物进行清洗的清洗液只要是能够从隔离物去除无机填充剂的清洗液即可。优选为含有酸或碱的水溶液。

用于对含有增塑剂的隔离物进行清洗的清洗液只要是能够从隔离物去除增塑剂的清洗液即可。优选为二氯甲烷等有机溶剂。

综上，成形为膜状的聚烯烃树脂组合物(膜)的清洗方法包括将隔离物的中间产品即长条的膜沿其长度方向搬运的工序、和使搬运中的该膜在上述的清洗槽15～19内充满的清洗液中依次通过从而进行清洗的工序。

这样，在图4中，可以将耐热隔离物s设为作为隔离物的中间产品的膜。另外，也可以将清洗水w设为含有酸或碱的水溶液。

而且可以解释为，聚烯烃隔离物的制造方法包括：成形长条且多孔质的隔离物的中间产品即以聚烯烃为主要成分的长条的膜的成形工序、和在该成形工序之后执行的上述的膜清洗方法所包括的各工序。

利用了作为层叠隔离物的耐热隔离物s的清洗方法的耐热隔离物s的制造方法也包含于本发明。在此，耐热隔离物s为包含图3所示的多孔质膜5(基材)、和层叠于多孔质膜5的耐热层4(功能层)的层叠隔离物。而且可以解释为，该制造方法包括：成形长条且多孔质的耐热隔离物s的成形工序、和在所述成形工序之后执行的上述的隔离物清洗方法的各工序。

“成形工序”包括：为了层叠耐热层4而将包含构成耐热层4的芳族聚酰胺树脂(物质)的nmp(液状物质)涂覆于多孔质膜5的涂覆工序、和在该涂覆工序之后使芳族聚酰胺树脂凝固的凝固工序。

“各工序”是指将耐热隔离物s沿其长度方向搬运的工序、和使搬运中的耐热隔离物s在清洗槽15～19内充满的清洗水w中依次通过从而进行清洗的工序。

根据以上内容，能够制造nmp少且抑制了折叠、破坏的层叠隔离物。需要说明的是，耐热层也可以是上述的粘接层。

(m字状路径)

以下，对清洗装置6所具备的辊m、辊n、以及辊a进行更详细的说明。在此，对在清洗槽15与清洗槽16之间配置的辊m、辊n、以及辊a进行说明。其中，对于在清洗槽17与清洗槽19之间配置的辊m、辊n、以及辊a也是同样的。

图5是图4所示的清洗装置6中的一组辊m、辊n、以及辊a的剖视图。辊m(第一辊)、辊n(第二辊)以及辊a(第三辊)的组设置在搬运路径上的上游侧的清洗槽15(第一清洗槽)与下游侧的清洗槽16(第二清洗槽)之间。辊n配置在辊m与辊a之间。在俯视观察时，辊m以及辊n位于清洗槽15的范围内，辊a位于清洗槽16的范围内。辊m、n、a可以是由动力驱动而旋转的驱动辊，也可以是通过与耐热隔离物s之间的摩擦力而旋转的从动辊。在此，各辊m、n、a的表面的速度与耐热隔离物s的搬运速度相同。

从清洗槽15(从水中)搬出的耐热隔离物s依次与辊m、辊n、以及辊a接触，并向清洗槽16(向水中)搬入。辊m、辊n、以及辊a在清洗槽之间搬运耐热隔离物s(搬运工序)。

辊m、a与耐热隔离物s的一个面sm接触。在辊m以及辊a之间，辊n与耐热隔离物s的另一个面sn接触。辊m、a支承耐热隔离物s的一侧(下侧)，且辊n从耐热隔离物s的另一侧(上侧)按压耐热隔离物s。以辊n为边界，耐热隔离物s的搬运方向从下降变为上升。在从辊m的轴向观察时，耐热隔离物s通过m字状的搬运路径。通过与辊m接触，附着在耐热隔离物s的面sm侧的清洗水w从耐热隔离物s被去除。另外，通过与辊n接触，附着在耐热隔离物s的面sn侧的清洗水w从耐热隔离物s被去除。从清洗槽15搬出的耐热隔离物s上附着的清洗水w的污染程度(同等的去除对象物的浓度)与清洗槽15中充满的清洗水w同等。

通过辊m从面sm去除的清洗水w返回上游的清洗槽15。同样，通过辊n从面sn去除的清洗水w返回上游的清洗槽15。例如，清洗水w在耐热隔离物s的上侧的面sn上沿着辊n而在耐热隔离物s的宽度方向上移动，并从耐热隔离物s的端部散落。

在俯视观察时，若辊m、n处于清洗槽15的范围内，则从辊m、n掉落的清洗水w会返回清洗槽15。或者，若至少辊m、n的下端处于清洗槽15的范围内，则从辊m、n掉落的清洗水w会返回清洗槽15。或者，也可以在m、n的下侧设置导流件，使去除的清洗水w通过导流件而返回清洗槽15。

由此，从清洗槽15搬出的耐热隔离物s的两面上附着的水分从耐热隔离物s被去除，并掉落至清洗槽15。由此，能够减少该清洗槽15中充满的清洗水w(比清洗槽16～19中充满的清洗水w脏)被带入比清洗槽15靠下游侧的清洗槽16～19的量。从而，能够防止清洗槽16～19中充满的清洗水w的污染(去除对象物浓度的上升)。另外，通过将耐热隔离物s的表面上附着的去除对象物浓度高的液体在清洗槽间从耐热隔离物s的表面去除，从而在下游的清洗槽中，能够更有效地使去除对象物从耐热隔离物s扩散。

图6是示出在清洗装置中设置导流件的情况下的导流件的配置例的剖视图。如图6所示，也可以在清洗槽15与清洗槽16之间设置导流件20。在此，在俯视观察时，辊n、a的最下点包含于导流件20的范围。在辊m、辊n、或辊a的下侧设置导流件的情况下，该辊不需要位于清洗槽15的范围内。在此，辊n位于清洗槽15与清洗槽16的中间。从辊m掉落的清洗水w直接返回清洗槽15。从辊n、a掉落的清洗水被导流件20承接，并通过导流件20而返回清洗槽15。

需要说明的是，在从横剖方向(td：transversedirection)观察时，三个辊m、n、a的旋转轴的位置优选呈直线状排列。换言之，三个辊m、n、a的旋转轴优选位于一个平面上。另外，辊n的抱角优选小于180度。抱角是指在辊上供耐热隔离物s接触的圆弧相对于辊的轴的角度。即，辊的前后的耐热隔离物s的搬运方向与该辊的抱角的量相应地改变。

(辊的旋转)

辊n的表面np的速度也可以与耐热隔离物s的搬运速度不同。即，辊n的表面np(曲面)与耐热隔离物s发生滑动。在该情况下，辊n可以是被驱动而以规定的速度旋转的驱动辊，也可以是从动辊。在辊n的表面np与耐热隔离物s发生滑动的情况下，辊n的表面np(与耐热隔离物s接触的部分)优选由树脂形成。若辊n的表面np为树脂，则能够减小与耐热隔离物s之间的摩擦力，抑制耐热隔离物s的磨损以及断裂。

在辊n为从动辊的情况下，通过一定程度地增大辊n与其轴之间的摩擦力，能够构成为辊n的表面np被耐热隔离物s拖动。

在辊n为驱动辊的情况下，辊n的表面np旋转移动的方向与耐热隔离物s的搬运方向可以相同也可以不同。在辊n的表面np所旋转移动的方向与耐热隔离物s的搬运方向不同的情况下，能够通过辊n与耐热隔离物s之间的滑动而更有效地从耐热隔离物s的表面sn去除清洗水w。

另外，辊n也可以固定而不旋转。另外，辊n的表面可以由金属形成。

辊m、a也可以采用与辊n同样的结构。

(辊的表面形状)

另外，辊n的表面np也可以设有凹凸形状。例如，作为凹凸形状，可以在辊n的表面np形成有螺旋状的槽、曲线状的槽、或者直线状的槽。辊n的表面np的槽优选在耐热隔离物s的宽度方向上超出耐热隔离物s的端部而延伸。由此，在辊n与耐热隔离物s之间被去除的清洗水通过槽中而向比耐热隔离物s靠宽度方向的外侧排出。螺旋状的槽优选与耐热隔离物s对置的部位形成在随时间经过而向耐热隔离物s的宽度方向上的外侧偏移的朝向。另外，直线状的槽也可以形成为与辊n的轴平行。

同样地，也可以在辊m、a的表面形成凹凸形状(槽)。也可以在辊a的下侧设置导流件，以使辊a所去除的清洗水w返回清洗槽15。

需要说明的是，在清洗装置6中，也可以代替耐热隔离物s而进行不具有功能层的隔离物、或者不具有孔的塑料膜等各种膜的清洗。

〔备注事项〕

另外，上述第二辊的表面的速度也可以与上述膜的搬运速度不同。

根据上述的结构，第二辊与膜发生滑动。故而，能够更有效地去除膜上附着的清洗液。

另外，也可以驱动上述第二辊旋转。

根据上述的结构，通过使第二辊的表面的速度为膜的搬运速度以上，从而能够沿搬运方向拉伸膜。在液体中通过的膜由于液体的粘性而受到阻力。通过在清洗槽间驱动第二辊，能够使第二辊的上游侧的膜的张力减少，从而防止膜的断裂。另外，通过使第二辊的表面的速度小于膜的搬运速度，能够更有效地去除膜上附着的清洗液。

另外，也可以在上述第二辊的表面设有凹凸形状。

根据上述的结构，能够通过凹凸形状将从膜去除的清洗液高效地向膜的外侧排出。

另外，也可以在上述第二辊的上述表面设有螺旋状、曲线状、或者直线状的槽。

根据上述的结构，能够将从膜去除的清洗液通过槽而排出。

另外，上述第二辊的上述槽可以在上述膜的宽度方向上超出上述膜的端部而延伸。

根据上述的结构，能够将从膜去除的清洗液通过槽而向膜的宽度方向上的外侧排出。

另外，相对于上述膜进行滑动的上述第二辊的上述表面也可以由树脂形成。

根据上述的结构，能够防止膜的磨损或断裂。

另外，也可以采用上述第二辊的表面的速度与上述膜的搬运速度不同的结构。

另外，上述第二辊也可以采用被驱动而旋转的结构。

另外，也可以采用在上述第二辊的表面设有凹凸形状的结构。

另外，也可以采用在上述第二辊的上述表面设有螺旋状或者直线状的槽的结构。

另外，上述第二辊的上述槽也可以采用在上述膜的宽度方向上超出上述膜的端部而延伸的结构。

另外，相对于上述膜进行滑动的上述第二辊的上述表面也可以采用由树脂形成的结构。

本发明并不限定于上述的各实施方式，能够在技术方案所示的范围内进行各种变更，关于对不同实施方式中分别公开的技术手段进行适当组合而得到的实施方式也包含于本发明的技术范围内。