一种透明柔性氧化物铁电存储器的制作方法

文档序号:11203037阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种透明柔性氧化物铁电存储器。该透明柔性铁电存储器由依次连接的云母基片、掺杂ZnO透明电极、氧化物铁电薄膜和ITO透明电极组成。本发明的铁电存储器,以层状钙钛矿氧化物铁电薄膜作为铁电功能层;其透光性好,波长超过400nm的可见光的透光率在80%以上;且柔性耐弯折,弯曲半径为1.4mm时,饱和极化强度和剩余极化强度接近于平整状态时的数值;耐高温性能优异,经450℃退火后,饱和极化强度和剩余极化强度无明显变化,在透明柔性铁电存储器中具有广泛的应用前景。

技术研发人员:高焕;苏留帅;袁国亮
受保护的技术使用者:南京理工大学
技术研发日:2017.05.12
技术公布日:2017.09.29
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