一种镀膜设备用组装式结构的制作方法

本实用新型属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种镀膜设备用组装式结构。

背景技术：

PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)，钝化发射极和背面电池技术，最早在1983年由澳大利亚科学家提出。自2015年PERC电池逐步市场化以来，截止2016年底，全球PERC产能约为13.4GW，产量达到8GW左右；预计到2017年产能将增至20GW，实际产量将达到14GW。

PERC电池与常规电池最大的区别在于背表面介质膜钝化，采用局域金属接触，有效降低背表面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射。背面镀膜设备主要有梅耶博格公司的MAIA及理想能源的ALD等。

PERC电池要想继续保持竞争力、获得更大的发展与应用，必须进一步提高转换效率，同时降低生产成本。目前，PERC电池的瓶颈工序主要是背钝化，MAIA设备产能受制于腔体及载板尺寸，主流的MAIA载板是4×6载板，单小时产能＜3600片。

为了有效提升MAIA产能，大尺寸载板在日常生产中逐渐受到重视。设计新型的框结构，既要考虑到框结构的稳定性，又要考虑到机台的适配性，同时，还要确保电池成品的外观、效率及EL良率等不受影响。因而，框结果的尺寸大小必须进行严密的设计及测试，确保正常运行。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种镀膜设备用组装式结构，增加MAIA设备25％的产能，不影响设备运行的稳定性，不影响产品的外观以及效率，生产成本显著降低。

本实用新型采用以下技术方案：

一种镀膜设备用组装式结构，包括主框，主框由多个单元构成，多个单元按照5×6阵列排布，每排单元上均水平设置有附件，附件与主框固定连接构成组装式5×6框结构。

具体的，附件为长方形结构的碳纤维载板，碳纤维载板上阵列分布有若干孔。

进一步的，碳纤维载板的尺寸为(100～180mm)×1050mm。

进一步的，孔的孔径为0.5～1.0mm。

进一步的，孔按4×4结构组成6组单元点阵，每个孔的间距为34mm。

具体的，单元的边缘处设置成台阶状。

7、根据权利要求6所述的一种镀膜设备用组装式结构，其特征在于，台阶形的宽度为3mm，深度为0.8～1.5mm。

具体的，每个单元的边长为152mm。

具体的，主框的尺寸为854mm×1110mm。

具体的，主框上开有用于连接附件的固定孔，固定孔的孔径为2mm～5mm。

与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

本实用新型适用于MAIA镀膜设备的组装式5×6框结构，主框由30个单元按照5×6阵列排布，并在每排单元上设置附件，然后将附件与主框固定连接构成组装式5×6框结构，通过框结构的优化设计，单框产能从24片增加至30片，提升产能25％。

进一步的，采用碳纤维载板作为附件，可改善MAIA机台的绕镀现象，降低不良比例。

进一步的，通过辅助载板的尺寸(100mm～180mm)×1050mm及打孔孔径0.5mm～1.0mm，可改善因压力异常导致的碎片，降低碎片率。

进一步的，单元边缘为台阶状，可确保自动化放片的精确度，台阶宽度3mm，可有效支撑硅片，并减少边缘的颜色差异，深度为0.8mm～1.5mm，可减少硅片的边缘绕镀发白。

进一步的，单元边长为152mm，可确保自动化的放片精确度，减少硅片边缘的颜色差异。

进一步的，主框尺寸854mm×1110mm，可确保框在腔体内部位置的准确性，避免腔体内位置感应器误报警。

综上所述，本实用新型降低了不良率和碎片率，有效提高了产能。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本实用新型5×6主框示意图；

图2为本实用新型辅助载板示意图；

图3为本实用新型5×6框结构整体示意图。

其中：1.主框；2.碳纤维载板；3.单元；4.孔。

具体实施方式

请参阅图3，本实用新型公开了一种镀膜设备用组装式结构，包括主框1和附件，主框1以5×6阵列图形排布，主框1内设置有若干单元3(单元3的作用是放置硅片)，附件水平依次平行设置在主框1上，用于替代传统的4×6框。

请参阅图1，主框1的尺寸为(长×宽)：854mm×1110mm。

单元3包括30个，每个单元3边长为152mm，单元3的边缘处为台阶设计，台阶的宽度为3mm，深度为0.8mm～1.5mm。

请参阅如2，附件为碳纤维载板2，尺寸为(长×宽)：(100mm～180mm)×1050mm，碳纤维载板2以4×4为单元的阵列分布96个孔4，单点直径为0.5mm，点点之间间距为34mm,共计6个结构，孔径为0.5mm～1.0mm。

主框1与碳纤维载板2使用沉头螺丝在固定位置连接，固定孔的孔径为2mm～5mm。

本实用新型载板可以替代传统的4×6框。

本实用新型MAIA镀膜设备的组装式5×6框结构的制备方法，包括下述步骤：

S1、碳纤维板按照给定图纸，经过机加工处理，制备完成组装式5×6框结构的主框；

S2、碳纤维板按照给定图纸，经过机加工处理，制备完成组装式5×6框结构的辅助载板；

S3、使用专用设备，经过机加工处理，完成主框及辅助载板的固定孔加工；

S4、使用沉头螺丝固定主框及辅助载板，完成组装。

实施例

(1)将MAIA镀膜设备机台原有的4×6框换成新型的组装式5×6框结构；

(2)开启自动上下料设备，运行工艺，硅片经自动化自动上料，上料完成后，MAIA机台开启侧门，进入腔体；

(3)框结构在MAIA机台内稳定运行工艺，工艺完成后，经下料口侧门出框；

(4)出框完成后，经过回料系统，框结构传输至下料处，自动化进行下料；

(5)下料进行时，上料同步进行，重复以上(2)～(4)步骤。

以上内容仅为说明本实用新型的技术思想，不能以此限定本实用新型的保护范围，凡是按照本实用新型提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本实用新型权利要求书的保护范围之内。