1.一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,包括主框(1),主框(1)由用于放置硅片的多个单元(3)构成,所述多个单元(3)按照5×6阵列排布,每排所述单元(3)上均水平设置有附件,所述附件与主框(1)固定连接构成组装式5×6框结构;所述附件为长方形结构的碳纤维载板(2),所述碳纤维载板(2)上阵列分布有若干孔(4)。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,碳纤维载板(2)的尺寸为(100~180mm)×1050mm。
3.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,孔(4)的孔径为0.5~1.0mm。
4.根据权利要求3所述的一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,孔(4)按4×4结构组成6组单元点阵,每个孔的间距为34mm。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,单元(3)的边缘处设置成台阶状。
6.根据权利要求5所述的一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,台阶形的宽度为3mm,深度为0.8~1.5mm。
7.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,每个单元(3)的边长为152mm。
8.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,主框(1)的尺寸为854mm×1110mm。
9.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用组装式结构,其特征在于,主框(1)上开有用于连接附件的固定孔,固定孔的孔径为2mm~5mm。