内的助焊剂；
[0034]S3、进行第一次清洗基板，以便去除基板表面上锡膏析出的助焊剂；
[0035]S4、将第一次清洗后的基板送入压平机中，对基板上的焊接点进行第一次压平处理，并在每一个焊接点顶端部形成一平坦区，且该平坦区域比一般产品的平坦区大，这样的一个平坦区有利于后续第二次上锡膏并形成良好的凸点锡球，还可降低连锡风险；
[0036]S5、选用第二钢网，其大小规格与基板基本相同；将第二钢网置于经步骤S4平整后得到的基板上，进行第二次钢网印刷，将锡膏再次印置于基板上的焊接点上；第二钢网的网孔可以为圆形，根据焊盘设计决定，也可以其他形状，如方形、椭圆形等，孔径规格也视具体情况而定；
[0037]S6、将步骤S5的基板再次送入回流焊机中，进行第二次回流焊接，经第二次回流焊接后将在基板上形成新的焊接点，同时在基板表面再次析出锡膏内的助焊剂；
[0038]S7、再次清洗基板，以便第二次去除基板表面上锡膏析出的助焊剂；
[0039]S8、将第二次清洗后的基板再次送入压平机中，对基板上的新焊接点再次进行第二次压平处理，并再次在每一个焊接点顶端部形成一新的平坦区，且第二次压平以后的锡球直径要根据客户的规格来设定，最好对准规格中心值；
[0040]待上述步骤结束后，得到在高凸点锡球，并对凸点锡球进行检查。
[0041]上述步骤中，对凸点锡球的检查，使用的是锡膏检查机检查。过程就是将上述焊接有凸点锡球的基板投入锡膏检查机，对凸点锡球逐一检查，检查项目包括锡球高度是否超标、锡球直径是否超标、锡球形状是否异常等。
[0042]下面再结合图2所示来解释一下，在上述制备方法的步骤S4中，所述的焊接点的第一、二次压平处理，其所采用的压平压力(单位为隆起锡球压平压力35-40g;注:同样的压平压力，一次压平1000个锡球跟一次压平10000个锡球，得到的锡球高度不一样；一次压平的锡球数越多，需要的压力也越大，因此一般用一个隆起锡球的压力来表示，即单位为隆起锡球压平压力)较一般凸点制备时的压平压力(单位为隆起锡球压平压力25-30g)要大；鉴于压平压力与锡膏的类型及厂家有关，因此，此处给出的只是一个相对范围，并不能包含所有的锡膏类型。这样就可以得到一个更大直径的平坦区；如，第一次压平后的平坦区直径D2比一般产品压平后凸点平坦区直径D i更大，但高度H2K H i更小；其结果就是，第一次压平后锡球直径更大(即高度小)的话，第二次印刷时，更多的锡膏可以落在锡球上而不是向锡球边上扩散；以避免因锡球边上扩散后增加锡膏连锡(短路)的风险，即这样设计的目的是降低第二次印刷时锡膏连锡的风险。
[0043]在上述制备方法的步骤S4中，第二钢网的涨缩系数比第一钢网的涨缩系数小100.01% -100.02% ;这样，经过第一回流后，基板的涨缩会变小约100.01% -100.02%，减小第二张钢网的涨缩，以便印刷时第二钢网的涨缩能与产品的涨缩匹配，这样可以使印刷的锡膏对准第一次制作的隆起，从而降低连锡的风险。
[0044]在上述制备方法的步骤S4中，第二钢网的厚度是第一钢网厚度的2/3 ;其技术效果就是，通过降低第二钢网的厚度以降低第二次印刷锡膏的下锡量。因为经过第一次隆起的制作，锡球间的间隙减小，如果下锡量太大的话很容易发生连锡。
[0045]在上述制备方法的步骤S4中，第二钢网的网孔比第一钢网网孔的小10?20 μπι。第一次印刷的钢网网孔一般比隆起焊盘大20-30 μπι左右，所以第二次印刷的钢网网孔缩小10-20 μπι后仍然比隆起焊盘大。另外，锡膏印刷的时候钢网与基板是有间隙的，网孔并不需要套在焊点上。缩小网孔是因为，由于第一次bump已经形成，为了降低印刷时锡膏短路的风险，将网孔缩小。这样设计的目的有两点，一是网孔缩小可以缩小下锡量从而降低第二次印刷时连锡的风险；二是减小网孔以后，第二次印刷时的锡膏向两个锡球间的空隙扩散的量会减少，目的也是降低锡膏连锡的风险。
【主权项】
1.一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，其特征在于，包括如下步骤: 51、将第一钢网置于倒装芯片的基板上，进行第一次钢网印刷，将锡膏印置于倒装芯片的基板上； 52、将步骤SI的基板进行第一回流焊接，在基板上形成焊接点，并在基板表面析出锡膏内的助焊剂； 53、第一次清洗基板，去除助焊剂； 54、将第一清洗后的基板送入压平机中，对基板上的焊接点进行第一次压平处理，并在每一个焊接点顶端部形成一平坦区； 55、将第二钢网置于经步骤S4平整后得到的基板上，进行第二次钢网印刷，将锡膏印置于基板上的焊接点上； 56、将步骤S5的基板进行第二次回流焊接，在基板上形成新焊接点，并在基板表面再次析出锡膏内的助焊剂； 57、第二次清洗基板，去除助焊剂； 58、将第二次清洗后的基板再次送入压平机中，对基板上的新焊接点再次进行第二次压平处理，并在每一个焊接点顶端部再次形成一新的平坦区； 待上述步骤结束后，得到所述高凸点锡球。
2.根据权利要求1所述的在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，其特征在于，所述第二钢网的涨缩系数比第一钢网的涨缩系数小100.01%?100.02%。
3.根据权利要求1所述的在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，其特征在于，所述第二钢网的厚度是第一钢网厚度的2/3。
4.根据权利要求1所述的在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，其特征在于，所述第二钢网的网孔比第一钢网网孔的小10?20 μπι。
【专利摘要】本发明属于芯片锡球制备工艺，其公开了一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，步骤为：第一次锡膏印刷→第一次回流焊→助焊剂清洗→第一次锡球压平→第二次锡膏印刷→第二次回流焊→助焊剂清洗→第二次锡球压平→锡球检查。本发明在现有锡膏印刷工法设备的基础上，通过二次印刷工艺流程，可以在焊盘的小间距之间制作出较高的凸点锡球，且芯片与基板之间的连接可靠性好，而又不需要增加新的设备投资，从而更加全面地对应客户多样化的凸点锡球高度规格要求；利用该工艺，可制作凸点锡球间距约为100～150μm、锡球高度为25-40μm的产品。
【IPC分类】H01L21-48
【公开号】CN104599978
【申请号】CN201410856780
【发明人】庭玉文, 李志东, 邱醒亚
【申请人】广州兴森快捷电路科技有限公司, 宜兴硅谷电子科技有限公司, 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年12月31日