气体，分离气口 42向外送出气流，可使堆叠的基板间形成气流层后分开，防止吸取机构5发生一次吸取多张基板的情形。分离机构4的气量、距离可以根据实际情况调节，以降低基板的破损率。
[0021]如图3所示，吸取机构5包括:纵向设于载篮机构2上方的第三运动组件51、设于第三运动组件51上的第四运动组件52、与第四运动组件52传动连接的吸盘53、与吸盘53连接的供气装置。第四运动组件52可采用气动执行件，可带动吸盘53进行升降运动。第三运动组件51可采用包含动力源的导轨滑块结构，直线导轨利用支架架起纵向固定在机台I上，滑块固定在第四运动组件52底部，动力源推动整个第四运动组件52沿直线导轨进行纵向移动。当分离机构4分离堆叠基板7后，第四运动组件52带动吸盘53下行至堆叠基板7上方，吸盘53吸取单个基板后上行，第三运动组件51带动吸盘53运动至输送机构6上方，并将基板放置在输送机构6上。
[0022]输送机构6可采用传送带结构61。上述的第一运动组件22、第二运动组件32、第三运动组件51、第四运动组件52及输送机构6的结构不作限制，实际使用中可使用其他与其功能相似的结构代替。在本实施例中，载篮机构2、顶升机构3、分离机构4、吸取机构5及输送机构6的工作状态由中央控制器集中控制，以达到整个装置全自动运行的效果。
[0023]较优的，为了提高工艺效率，第一运动组件22上设有两组载篮21，两组载篮21可在第一运动组件22上往复运动，当满载的一组载篮21位于顶升机构3上方进行分离抓取时，空载的一组载篮21位于顶升机构3—侧装载堆叠基板7，当满载的该组载篮21内基板取完后，第一运动组件22运动，自动更换载篮21，以减少换篮对生产效率的影响。
[0024]进一步的，每组载篮中设有至少一个载篮21ο在本实施例中，每组载篮中设有两个载篮21，顶升机构3内设有两个升降杆31，两个升降杆31的上方设有两个分离机构4，吸取机构5内设有两个吸盘53，两个升降杆31之间的间距与每组载篮中两载篮21的间距相配合，两个吸盘53之间的间距也与每组载篮中两载篮21的间距相配合。装置运行时，一次可对两个载篮21内的堆叠基板7进行分离抓取。
[0025]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种堆叠基板的抓取分离装置，包括:机台、设于机台上用于放置堆叠基板的载篮机构、设于载篮机构下方可向上顶起堆叠基板的顶升机构、设于载篮机构顶部两侧可分离堆叠基板的分离机构、设于载篮机构上方可吸取单个基板的吸取机构、设于吸取机构一侧可运送单个基板的输送机构； 所述吸取机构可移动单个基板，并将其放置在输送机构上。2.如权利要求1所述的抓取分离装置，其特征在于，所述载篮机构包括:横向设于顶升机构上方的第一运动组件、设于第一运动组件上的载篮，所述第一运动组件可带动载篮在顶升机构的上方横向往复运动，所述载篮内放置有堆叠基板。3.如权利要求2所述的抓取分离装置，其特征在于，所述顶升机构包括:竖直设于载篮机构下方的升降杆、与升降杆传动连接的第二运动组件，所述载篮移动到升降杆上方时，所述第二运动组件带动升降杆向上运动穿过所述第一运动组件顶起基板。4.如权利要求3所述的抓取分离装置，其特征在于，所述分离机构包括:对称设于顶升机构上方的两支撑板、开口相对设于两支撑板顶端的两分离气口、与所述分离气口连接的供气装置;所述载篮运动至顶升机构上方时，两支撑板恰好位于所述载篮纵向方向的两侧。5.如权利要求4所述的抓取分离装置，其特征在于，所述吸取机构包括:纵向设于载篮机构上方的第三运动组件、设于第三运动组件上的第四运动组件、与第四运动组件传动连接的吸盘、与所述吸盘连接的供气装置，所述第三运动组件可带动吸盘纵向移动，所述第四运动组件可带动吸盘升降运动。6.如权利要求5所述的抓取分离装置，其特征在于，所述第一运动组件上横向并排设置有两组载篮。7.如权利要求6所述的抓取分离装置，其特征在于，每组载篮中设有至少一个载篮，所述顶升机构内设有与每组载篮中载篮数量相对应的升降杆，升降杆之间的间距与每组载篮中载篮的间距相配合，每个升降杆上方均设有分离机构，所述吸取机构内设有与每组载篮中载篮数量相对应的吸盘，吸盘之间的间距也与每组载篮中载篮之间的间距相配合。8.如权利要求5所述的抓取分离装置，其特征在于，所述第一运动组件、第三运动组件可采用包含动力源的导轨滑块结构，第二运动组件可采用电动执行件、第四运动组件可采用气动执行件，输送机构可采用传送带结构。
【专利摘要】本实用新型公开了一种堆叠基板的抓取分离装置，包括：机台、设于机台上用于放置基板的载篮机构、设于载篮机构下方可向上顶起基板的顶升机构、设于载篮机构顶部两侧可分离堆叠基板的分离机构、设于载篮机构上方可吸取单个基板的吸取机构、设于吸取机构一侧可运送单个基板的输送机构，吸取机构可移动单个基板，并将其放置在输送机构上，载篮结构可横向移动实现载篮自动更换。本实用新型可实现堆叠基板的自动分离抓取，降低基板的破损率，提高基板的生产质量。
【IPC分类】H01L21/673, H01L21/683, H01L21/67, H01L21/677
【公开号】CN205248240
【申请号】CN201520957352
【发明人】刘大鹏, 廖庆林, 蒋开发, 张勇
【申请人】深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2015年11月26日