器人。X轴滑动件45以能够沿X轴方向移动的方式设于Υ轴滑动件43。在Υ轴滑动件43上设有省略图示的X轴伺服电动机。通过该X轴伺服电动机并经由滚珠丝杠机构而X轴滑动件45沿X轴方向移动。上述X轴滑动件45构成能够沿X轴方向及Υ轴方向移动的移动台。
[0050]在X轴滑动件45上设有元件装配头48。元件装配头48以可拆装的方式保持吸嘴(未图示)。吸嘴吸附供给到元件供给位置21a的元件，并装配在被基板输送装置10定位于元件安装位置的基板B上。
[0051 ]在X轴滑动件45上安装有作为拍摄装置的基板相机46，基板相机46从上方拍摄在定位于基板安装位置的基板B上设置的基准标记或者供给到元件供给位置21a的元件等，取得基板位置基准信息及元件位置信息等。
[0052]另外，在基台41上设有能够从下方拍摄由吸嘴吸附的元件的元件相机47。
[0053](供料器)
[0054]以下，使用图4?图6，对本实施方式的供料器21进行说明。另外，在以下的说明中，“输送方向”是指载带900的输送方向。另外，在图4?图6中，将纸面右侧设为前方(输送方向下游侧)，将纸面左侧设为后方(输送方向上游侧)。而且，在图4?图6中，将纸面上方设为上方，将纸面下方设为下方。
[0055]供料器21主要包括:主体21b、第一伺服电动机22、第二伺服电动机23、第一齿轮24、第二齿轮25、第三齿轮26、第四齿轮27、上浮防止部件28、扭簧29、止动部件31、上游侧按压部件32、下游侧按压部件33、第一链轮61、第二链轮62、第三链轮63、第四链轮64、轨道38、控制部39、带剥离单元70。
[0056]供料器21从其前方侧向槽部20a插入并装配。主体21b是扁平的箱形。另外，图4?图6是除去主体21b的侧壁而能够视觉辨认供料器21的内部构造的图。
[0057]轨道38设于主体21b的后部的插入部21d至前部的供给位置21a。轨道38的上表面构成载带900的输送路。轨道38的前部38a水平地形成。在本实施方式中，轨道38以从其后部到前部38a的跟前逐渐升高的方式倾斜。另外，虽未图示，但是在轨道38的两侧设有以比载带900的宽度尺寸稍大的尺寸分离的引导部件。
[0058]在轨道38的前部38a的下方的主体21b中，S卩，在与主体21b的供给位置21a相邻的位置从前方朝向后方(输送方向下游侧至上游侧)分别以能够旋转的方式设有第一链轮61及第二链轮62。在轨道38的后部的下方的主体2lb中，从前方朝向后方分别以能够旋转的方式设有第三链轮63及第四链轮64。在第一链轮61、第二链轮62及第三链轮63的各自的外周，隔开一定角度地形成有第一卡合突起61a、第二卡合突起62a、第三卡合突起63a。在第四链轮64的外周的一部分，隔开一定角度地设有第四卡合突起64a。各个卡合突起61a?64a与载带900的卡合孔901b卡合。
[0059]在比第一链轮61?第四链轮64的外周部靠内侧的位置分别形成有第一链轮齿轮6 lb、第二链轮齿轮62b、第三链轮齿轮63b、第四链轮齿轮64b。另外，在轨道38的各链轮61?64的上方设有窗孔38b(参照图5)。从该窗孔38b，各卡合突起61a?64a从轨道38上突出。[ΟΟ?Ο]第一伺服电动机22是使第一链轮61及第二链轮62旋转的伺服电动机。在第一伺服电动机22的旋转轴22a上设有第一传动齿轮22b。第一齿轮24以能够旋转的方式设于第一链轮61及第二链轮62的下方的主体21b上。在第一齿轮24的外周形成有与第一传动齿轮22b啮合的第一外侧齿轮24a。在比第一齿轮24的外周靠内侧的位置形成有第一内侧齿轮24b。
[0061]第二齿轮25以能够旋转的方式设于第一链轮61及第二链轮62与第一齿轮24之间的主体21b上。第二齿轮25与第一链轮齿轮61b、第二链轮齿轮62b及第一内侧齿轮24b啮合。通过这种结构，将第一伺服电动机22的旋转减速并传递至第一链轮61及第二链轮62，第一链轮61及第二链轮62同步地旋转。
[0062]第二伺服电动机23是使第三链轮63及第四链轮64旋转的伺服电动机。在第二伺服电动机23的旋转轴23a上设有第二传动齿轮23b。第三齿轮26以能够旋转的方式设于第三链轮63及第四链轮64的下方的主体21b上。在第三齿轮26的外周形成有与第二传动齿轮23b啮合的第三外侧齿轮26a。在比第三齿轮26的外周靠内侧的位置形成有第三内侧齿轮26b。
[0063]第四齿轮27以能够旋转的方式设于第三链轮63及第四链轮64与第三齿轮26之间的主体21b上。第四齿轮27与第三链轮齿轮63b、第四链轮齿轮64b及第三内侧齿轮26b啮合。通过这种结构，将第二伺服电动机23的旋转减速并传递至第三链轮63及第四链轮64，第三链轮63及第四链轮64同步地旋转。
[0064]下游侧按压部件33为块状，在轨道38后部的上方设于主体21b的插入部21d。下游侧按压部件33经由轴34-1而以能够进行上下方向移动的方式安装于第一支撑部件30-1及第二支撑部件30-2上，上述第一支撑部件30-1及第二支撑部件30-2安装于主体21b。在轴34-1上安装有对下游侧按压部件33向下方施力的螺旋弹簧35-1。在下游侧按压部件33的前方形成有在第三链轮63上与轨道38抵接的按压部33d。通过这种结构，按压部33d相对于轨道38分离或接触。如图5所示，在按压部33d的后端下部切口形成有进入部33b。
[0065]上游侧按压部件32为块状，沿着轨道38的后部上表面设置。上游侧按压部件32从下游侧按压部件33的后部向下方经由轴34-2而安装成能够进行上下方向移动。上游侧按压部件32与按压部33d的后方相邻。在轴34-2上安装有对上游侧按压部件32向下方施力的螺旋弹簧35-2。通过这种结构，上游侧按压部件32相对于轨道38分离或接触。在上游侧按压部件32的后端的下部切口形成有插入凹部32a。
[0066]如图5所示，止动部件31为块状，与上游侧按压部件32的下游侧相邻设置。止动部件31的形成于中间部分的轴支部31b被轴支撑于下游侧按压部件33，而能够摆动。止动部件31的轴支部31b的前方的下部形成为向下方突出形成的抵接部31a。止动部件31的下部的后端成为停止部31c。
[0067]在下游侧按压部件33上安装有对止动部件31向抵接部31a与轨道38接近的方向施力的弹簧36。如图5所示，在输送方向上，第四链轮64的顶部位于下游侧按压部件33的前端与止动部件31的后端之间。
[0068]如图4所示，上浮防止部件28为板状，沿着第三链轮63与第二链轮62之间的轨道38上设置。在上浮防止部件28的前端形成有轴支部28a，该轴支部28a轴支撑于设于主体21b的轴部21c，上浮防止部件28以能够摆动的方式安装于主体21b。在上浮防止部件28的后端形成有向上方弯曲的引导部28b。扭簧29安装于上浮防止部件28的上方的主体21b上，对上浮防止部件28向下方施力。通过该扭簧29而上浮防止部件28的下表面与轨道38的上表面紧贴。
[0069]另外，在第二链轮62与第三链轮63之间的轨道38的上方形成有空间38c。
[0070]控制部39对供料器21进行控制，对第一伺服电动机22及第二伺服电动机23的旋转进行控制。控制部39具有微处理器、向伺服电动机22、23供给驱动电流的驱动器。
[0071]在第三链轮63的下游侧的主体21b上设有第一传感器65，该第一传感器65检测载带900的有无并将其检测信号输出至控制部39。第一传感器65是对后述的输送带910与待机带920的边界部分进行检测的传感器。在第二链轮62的上游侧的主体21b上设有第二传感器66，该第二传感器66检测载带900的有无并将其检测信号输出至控制部39。关于该第二传感器66的作用，在后文叙述。
[0072]以下，对供料器21的动作进行说明。作业者将载带900插入到图4所示的插入凹部32a与轨道38的后端之间。然后，第四卡合突起64a与形成于所插入的载带900的前端部的卡合孔901b卡合，该载带900由第四链轮64向第三链轮63输送。第四卡合突起64a仅形成于第四链轮64的外周的一部分，因此当第四卡合突起64a与形成于所插入的载带900的前端部的卡合孔901b卡合时，该载带900间歇地向第三链轮63侧移动。因此，载带900不会急剧地被引入第三链轮63侧，因此安全。
[0073]由第四链轮64向下游侧送给的载带900的前端从进入部33b向按压部33d的下方进入。并且，当形成于载带900的前头部的卡合孔901b与第三卡合突起63a卡合时，通过第三链轮63将载带900向第二链轮62输送。在第三链轮63的外周，遍及整周地形成有第三卡合突起63a，因此可在短时间内将载带900输送至第二链轮62侧。另外，输送带910被按压部33d从上方按压，而避免了卡合孔901b与第三卡合突起36a的卡合松脱。
[0074]载带900的前端从引导部28b与轨道38之间向上浮防止部件28的下方进入。载带900的前端由上浮防止部件28抑制从轨道38的浮起，并向第二链轮62输送。
[0075]当