上的马达类的马达控制部702 ;控制设置在各部上的阀类的阀控制部703 ;产生向各部供给的负压的负压产生部704 ;接收来自用户的操作输入，或者将装置的状态告知用户的用户界面(UI)部705。另外，当能够利用工厂用负压源等从外部供给的负压时，控制单元70可以不具有负压产生部。
[0074]马达控制部702驱动控制载置台模块3上所设置的马达353、升降机构335、344、上部吸附模块5的各吸附单元51?54上分别设置的升降机构525等的马达组。阀控制部703控制阀组V3和阀组V51、V521、V522等。所述阀组V3设置在从负压产生部704连接到水平载置台部31上所设置的吸附槽311、312的配管路径上，向吸附槽311、312单独地供给规定的负压。所述阀组V51、V521、V522设置在从负压产生部704连接到各吸附垫517?547的负压供给部，向各吸附垫517?547供给规定的负压。
[0075]图5A?图5C是示意性地示出吸附单元的结构的图。本实施例中，吸附单元51?54都具有25个吸附垫。另外，吸附单元51?54上分别设置有负压供给部518、528、538、548，能够在向吸附垫供给负压及供给停止负压之间进行切换。本实施例中，吸附单元51是在如后述的剥离进展的方向，即剥离进展方向+Y上位于最上游侧，对版或者基板的上游侧端部进行吸附使版或者基板的上游侧端部最开始从橡皮布BL剥离的机构，其他的吸附单元52?54分别是对通过该吸附单元的上游侧吸附单元剥离的剥离部位进行吸附进而进行剥离的机构。这样，吸附单元的功能不同，从而，在本实施例中，通过吸附单元51和吸附单元52?54就能够使得负压供给部的结构不同。
[0076]吸附单元51中，25个吸附垫517沿X方向排列，如图5B所示，从-X方向侧向+X方向侧划分为8个、9个、8个这3个吸附垫组，经由负压供给部518连接到负压产生部704。该负压供给部518具有3个歧管5181?5183。歧管5181与构成-X侧的吸附垫组的8个吸附垫517连接，歧管5182与构成中央的吸附垫组的9个吸附垫517连接，进一步，歧管5183与构成+X侧的吸附垫组的8个吸附垫517连接。另外，吸附垫517的个数、组的划分方式等是任意的。
[0077]各歧管5181?5183经由控制阀V51与负压产生部704连接。因此，当控制阀V51按照来自控制单元70的阀控制部703的打开指令而打开时，经由歧管5181?5183向吸附垫517供给负压。相反，当控制阀V51按照来自阀控制部703的关闭指令而关闭时，停止向吸附垫517供给负压。由此，本实施例中，控制阀V51作为在向吸附垫517供给负压及停止供给负压之间进行切换的切换部而发挥作用，相当于本发明的“上游侧切换部”的一个例子。另外，能够通过控制阀V51，同时向全部的吸附垫517供给负压，另外，同时停止供给负压。另外，图5B中的附图标记5184是测量各吸附垫517内的压力的压力计。
[0078]吸附单元52?54也与吸附单元51同样，具有沿X方向排列的25个吸附垫，分别通过负压供给部528、538、548，独立地在向吸附垫供给负压及个性质供给负压之间进行切换。这些负压供给部528、538、548具有相同的结构。因此，下面说明负压供给部528的结构，关于剩下的负压供给部538、548附上相应的附图标记，其结构说明就省略。
[0079]吸附单元52中，25个吸附垫527沿X方向排列。另外，将25个吸附垫527相互区别进行说明，在本说明书中从最-X侧到+X侧排列的吸附垫527分别称之为吸附垫527a?527y，其他情况下称为“吸附垫527”。
[0080]这些吸附垫527从-X方向侧向+X侧划分为I个、7个、4个、I个、4个、7个、I个这7个吸附垫组，-X侧的第N个(N= 1，2，3，4，5，6，7)吸附垫组分别如下构成。S卩，以如下的方式进行划分。
[0081]第I个吸附垫组:吸附垫527a
[0082]第2个吸附垫组:吸附垫527b?527h
[0083]第3个吸附垫组:吸附垫527i?5271
[0084]第4个吸附垫组:吸附垫527m
[0085]第5个吸附垫组:吸附垫527η?527q
[0086]第6个吸附垫组:吸附垫527r?527x
[0087]第7个吸附垫组:吸附垫527y
[0088]其中，第2个、第3个、第5个及第6个吸附垫组如上所述由多个吸附垫527构成。因此，与此相对应地，负压供给部528具有4个歧管5281?5284。其中，歧管5281与构成第2个吸附垫组的吸附垫527b?527h连接，歧管5282与构成第3个吸附垫组的吸附垫527??5271连接，歧管5283与构成第5个吸附垫组的吸附垫527η?527q连接，歧管5284与构成第6个吸附垫组的吸附垫527r?527x连接。
[0089]各歧管5181?5184经由控制阀V521与负压产生部704连接。因此，当控制阀V521按照来自控制单元70的阀控制部703的打开指令而打开时，经由歧管5281?5284向吸附垫527b?527h、527i?5271,527η?527q、527r?527x供给负压。相反，当控制阀V521按照来自阀控制部703的关闭指令关闭时，停止向吸附垫527b?527h、527i?5271,527η?527q、527r?527x供给负压。因此，本实施例中，控制阀V521作为在向吸附垫527b?527h、527i?5271、527n?527q、527r?527x供给负压的状态及停止供给负压的状态之间切换的切换部发挥作用，能够同时向吸附垫527b?527h、527i?5271、527n?527q、527r?527x供给负压，另外，同时停止供给负压。另外，在图5B中的附图标记5285是测量吸附垫527b?527h、527i?5271,527η?527q、527r?527x的压力的压力计。
[0090]另外，剩下的吸附垫组中都是由单一的吸附垫527a、527m、527y构成，从而不设置歧管，吸附垫527a、527m、527y经由控制阀V522与负压产生部704连接。因此，控制阀V522按照来自控制单元70的阀控制部703的打开指令而打开时，向吸附垫527a、527m、527y供给负压。相反，当控制阀V522按照来自阀控制部703的关闭指令而关闭时，停止向吸附垫527a、527m、527y供给负压。因此，本实施例中，控制阀V521作为在向吸附垫527a、527m、527y供给负压的状态及停止供给负压的状态之间切换的切换部发挥作用，能够同时向吸附垫527a、527m、527y供给负压，另外同时停止供给负压。另外，图5B的中附图标记5286是测量吸附垫527a、527m、527y的压力的压力计，相当于本发明的“监控装置”及“压力测量部”的一例。
[0091]另外，参照图6至图11A、图1lB及图1lC对如上构成的剥离装置的动作进行说明。图6至图10是示意性地示出在处理中的各阶段各部分的位置关系和负压供给部的负压供给状态的图。另外，图1lA?图1lC是仅示意性地示出在处理中的各阶段各部分的位置关系的图。通过CPU701执行预先存储的处理程序控制各部分，来进行该剥离处理。另外，在这里，对上述的基板SB和橡皮布BL的紧贴体作为工件WK时的剥离装置I的剥离动作进行说明。
[0092]首先，通过操作者或者外部的搬运机器人等将工件WK加载到载置台30的上述位置，即，当执行保持步骤时，装置被初始化，从而装置的各部分设定为规定的初始状态。在初始状态下，工件WK被吸附槽311、312中的一种槽或者两种槽吸附保持，初始剥离单元33的按压部331、辊单元34的剥离辊340、第I至第4吸附单元51?54的吸附垫517?547都与工件WK分离，不向任意的吸附垫517?547供给负压。另外，剥离辊340在其可动范围内位于最靠-Y侧的位置。
[0093]如图6所示，从该状态，使第I吸附单元51及剥离辊340下降。在该移动中，控制阀V51维持停止供给负压的状态。然后，当第I吸附单元51及剥离辊340下降移动根据工件WK的厚度预先设定的距离时，如图7所示，第I吸附单元51的吸附垫517分别与工件WK的上表面抵接。从而，通过来自阀控制部703的指令打开控制阀V51，从负压产生部704经由歧管5181?5183向第I吸附单元51的吸附垫517供给负压。由此，基板SB的上面，即与橡皮布BL紧贴的面的相反侧的反紧贴面的-Y侧端部被吸附垫517吸附保持。这样被吸附垫517吸附的部位相当于本发明的“被吸附部位”的一例。此外，剥离辊340在被吸附部位的+Y侧相邻位置与基板SB的上表面抵接。另外，图7中的栏(a)中的阴影线表示吸附垫接受负压供给，图7中的栏(b)中，按压部331附近的向下箭头表示在下一步骤中按压部331从图示的状态向该箭头方向移动。关于这一点，以之后的图中也相同。
[0094]在这里，剥离辊340抵接的抵接区域是，有效地转印形成图案以作为器件发挥作用的有效区域的外侧，即，从有效区域的靠-Y侧的位置。因此，有效区域的内部未受到第I吸附单元51的吸附，且未收到剥离辊340的按压。
[0095]接着，使初始剥离单元33进行动作，使按压部331下降来按压橡皮布BL的端部。橡皮布BL的端部突出到倾斜载置台部32的上方，橡皮布BL的端部的下表面和倾斜载置台部32的上表面320之间有间隙。因此，通过按压部331向下方按压橡皮布BL的端部，使橡皮布BL的端部沿着倾斜载置台部32的倾斜面向下方弯曲。其结果，被第I吸附单元51吸附保持的基板SB的端部与橡皮布BL之间分开，开始剥离。按压部331形成为沿X方向延伸的棒状，且其X方向上的长度设定为比橡皮布BL长。因此，按压部331与橡皮布BL抵接的抵接区域呈直线状地从橡皮布BL的-X侧端部延伸到+X侧端部。由此，能够将橡皮布BL弯曲成柱面状，将基板SB和橡皮布BL已经剥离的剥离区域和还未剥离的未剥离区域之间的边界线(以下称之为“剥离边界线”)成为直线状。
[0096]从该状态，使第I吸附单元51开始上升，并且与此动作同步地使剥离辊340向+Y方向移动。具体地，在通过第I吸附单元51上升而向+Y方向移动的剥离边界线到达剥离辊340的正下方的时刻，开始使剥离辊340移动。因此，抵接区域向+Y方向移动。之后，第I吸附单元51向上方即向+Z方向以恒定速度移动，另外剥离棍340向+Y方向以恒定速速移动。
[0097]另外，如图8所示，通过保持基板SB的端部的第I吸附单元51上升，通过吸附垫517吸附的基板SB的被吸附部位SR被提拉，向+Y方向剥离基板SB与橡皮布BL，但是由于剥离辊340进行抵接，因此不能超过剥离辊340的抵接区域来进行剥离。使剥离辊340 —边与基板SB抵接，一边以恒定速度向+Y方向移动，从而能够将剥离的进展速度维持恒定。SP，剥离边界线为沿辊延伸方向即X方向的一条直线，且使剥离以恒定速度向