?5283经由控制阀V521与负压产生部704连接。因此，当根据来自控制单元70的阀控制部703的打开指令，控制阀V521打开时，经由歧管5281?5283向保持专用吸附垫527供给负压。相反地，当根据来自阀控制部703的关闭指令，控制阀V521关闭时，停止向保持专用吸附垫527供给负压。如上所述，本实施例中控制阀V521作为能够在向吸附垫527供给负压的状态和停止供给负压的状态之间切换的第I切换部发挥作用，能够同时向保持专用吸附垫527供给负压，另外同时停止供给负压。
[0119]另外，抵接确认用吸附垫527zl、527z2通过连接部529分别与+X侧保持专用吸附垫527以及-X侧保持专用吸附垫527连接，能够与吸附垫527 —体地沿着Z方向自由移动。另外，在第2实施例中，在下游侧设置有两个抵接确认用吸附垫527zl、527z2，但是抵接确认用吸附垫的个数不限于“2”，可以为任意数，但是从抑制负压变动的观点来看，优选设定为比保持专用吸附垫的个数少的个数。
[0120]另外，负压供给部528除了上述控制阀V521以外，还具有控制阀V522，抵接确认用吸附垫527zl、527z2经由控制阀V522与负压产生部704连接。因此，当控制阀V522根据来自控制单元70的阀控制部703的打开指令打开时，向抵接确认用吸附垫527zl、527z2供给负压。相反地，当控制阀V522根据来自阀控制部703的关闭指令关闭时，停止向抵接确认用吸附垫527zl、527z2供给负压。如上所述，本实施例中控制阀V522作为能够在向吸附垫527zl、527z2供给负压的状态和停止供给负压的状态之间切换的第2切换部发挥作用，能够同时向保持专用吸附垫527zl、527z2供给负压，另外同时停止供给负压。
[0121]如上述那样构成的第2实施例中，与第I实施例相同地，通过吸附垫517吸附保持基板SB的上表面，并且使剥离辊340在吸附垫517的+Y侧相邻位置与基板SB的上表面抵接，进一步使按压部331下降来按压橡皮布BL的端后，使第I吸附单元51开始上升，并且与此动作同步地使剥离辊340向+Y方向移动。由此，通过对基板SB的-Y侧端部(被吸附部SR)进行保持的第I吸附单元51上升，基板SB的-Y侧端部被提拉，向+Y方向剥离基板SB与橡皮布BL。
[0122]然后，当剥离辊340经过第2吸附位置时，第2吸附单元52下降，并且根据来自阀控制部703的指令仅打开控制阀V522，从负压产生部704向抵接确认用吸附垫527zl、527z2供给负压。另外，保持停止向保持专用吸附垫527供给负压的状态。
[0123]然后，通过在第2吸附单元52下降过程中监控由压力计5286所测量的抵接确认用吸附垫527zl、527z2内的压力值(监控步骤)，检测到吸附垫527zl、527z2与基板SB的剥离部位相抵接时，根据来自阀控制部703的指令打开控制阀V521，从负压产生部704向保持专用吸附垫527供给负压(调整步骤)。由此，通过全部的吸附垫527、527zl、527z2吸附保持基板SB的剥离部位。
[0124]开始通过保持专用吸附垫527吸附基板SB后，第2吸附单元52开始上升。由此，剥离进展速度依然由剥离辊340控制，并且用于剥离的将基板SB提拉的主体从第I吸附单元51变为第2吸附单元52。另外，剥离后的基板SB从仅被第I吸附单元51保持的状态切换为被第I吸附单元51和第2媳妇单元52保持的状态，保持位置增加。另外，在各吸附单元51?54上升时，维持各吸附单元51?54之间的Z方向上的相对位置，以使剥离后的基板SB的姿势呈大致平面。
[0125]接着，在剥离辊340经过第3吸附单元53正下方的第3吸附位置时，第3吸附单元53开始下降，用于剥离的将基板SB提拉的主体从第2吸附单元52变为第3吸附单元53。该第3吸附单元53的下降、吸附保持及提拉基板的动作与第2吸附单元的动作相同。进一步，在剥离辊340经过第4吸附位置后，第4吸附单元54下降，将基板SB提拉。这时，也执行与第2吸附单元52的下降、吸附保持及提拉基板的动作相同的动作。
[0126]这样，通过第4吸附单元54提拉基板SB，从而基板SB的整体与橡皮布BL分离。之后，与第I实施例相同地，将分离的基板SB及橡皮布BL搬出至装置外，结束剥离处理。
[0127]如上，第2实施例中，例如，在一边通过吸附垫517保持基板SB —边使剥离进展期间，利用设置在第2吸附单元52上的包括抵接确认用吸附垫527zl、527z2在内的吸附垫527来保持基板SB的剥离部位后，使剥离进一步进展。在该剥离阶段，吸附垫517、527分别发挥本发明的“上游侧吸附部”及“下游侧吸附部”的作用。另外，接着上述剥离，在一边通过吸附垫527保持基板SB —边使剥离进展的期间，在通过位于吸附垫527的下游侧的吸附垫537(包含吸附垫537zl、537z2)保持基板SB的剥离部位后，使剥离进一步进展。在该剥离阶段，吸附垫527发挥本发明的“上游侧吸附部”的作用，吸附垫537发挥本发明的“下游侧吸附部”的作用。而且，接着上述剥离，在一边通过吸附垫537保持基板SB —边使剥离进展的期间，在通过位于吸附垫537的下游侧的吸附垫547(包含吸附垫547zl、547z2)保持基板SB的剥离部位后，使剥离进一步进展。在该剥离阶段，吸附垫537发挥本发明的“上游侧吸附部”的作用，吸附垫547发挥本发明的“下游侧吸附部”的作用。因此，第2实施例发挥了与实施例1相同的作用效果。
[0128]C.第3实施例
[0129]图13A至图13D是表示本发明的剥离装置的第3实施例的图。该第3实施例与第I实施例、第2实施例之间的最大区别点是，位置信息的获取方式，该位置信息是表示吸附垫与基板SB的反紧贴面的剥离部位PR (图14、图15)的相对位置的信息。S卩，上述第I实施例及第2实施例中，监控作为抵接确认两用吸附部发挥作用的吸附垫内的压力，将表示压力值的信号作为表示吸附垫与基板SB的反紧贴面的相对位置的位置信息向控制单元70输出。针对于此，在第3实施例的剥离装置中，通过激光位移计监测吸附垫与基板SB的剥离部位PR之间的距离，将表示所测量的距离的信号作为上述位置信息向控制单元70输出。以下，参照图13A?13C，对实施例3的剥离装置的特征结构进行说明，有关与第I实施例相同的结构将用相同的附图标记表示，其说明省略。
[0130]在第3实施例中，吸附单元51与第I实施例及第2实施例相同。另外，在各个吸附单元52?54中，不仅与吸附单元51相同地沿着X方向排列有25个吸附垫，而且设有一台激光位移计530。另外，吸附单元52?54能够分别通过负压供给部528、538、548独立地在向吸附垫供给负压的状态及停止供给负压的状态之间切换。这些负压供给部528、538、548具有相同的结构。因此，在如下说明中，针对负压供给部528进行说明，对剩下的负压供给部538、548用相应的附图标记标记，说明省略。
[0131]吸附单元52具有沿着X方向排列的25个保持专用吸附垫527 ;配置在上述吸附垫列的下游侧的激光位移计530。25个吸附垫527发挥上述吸附专用吸附部的作用，与吸附单元51的吸附垫517相同，从-X方向侧向+X方向侧划分为8个、9个、8个这3个吸附垫组。另外，负压供给部528具有3个歧管5281?5283，歧管5281与构成-X侧的吸附垫组的8个吸附垫527连接，歧管5182与构成中央的吸附垫组的9个吸附垫527连接，进一步，歧管5283与构成+X侧的吸附垫组的8个吸附垫527连接。
[0132]各歧管5281?5283经由控制阀V52与负压产生部704连接。因此，当控制阀V52根据来自控制单元70的阀控制部703的打开指令打开时，经由歧管5281?5283向全部的吸附垫527供给负压。相反地，当根据来自阀控制部703的关闭指令关闭控制阀V52时，停止向全部的吸附垫527供给负压。由此，在本实施例中，控制阀V52能够作为在向吸附垫527供给负压的状态和停止供给负压的状态之间切换的切换部发挥作用，同时向吸附垫527供给负压，另外能够同时停止供给负压。
[0133]激光位移计530通过连接部529与25个吸附垫中的在X方向上位于中央部的吸附垫527连接，能够与吸附垫527 —体地沿着Z方向移动。因此，激光位移计530测量吸附垫527与基板SB的剥离部位PR之间的距离，将与该距离关联起来的信号作为位置信息向控制单元70输出。这样，激光位移计530相当于本发明的“监控装置”及“距离测量部”的一个例子，但是激光位移计530的个数及设置位置不限于此，可以是任意的。只要是能够测量上述距离的装置即可，可以使用激光位移计以外的距离测量部，例如可以从载置台30的+X侧或者-X侧一并拍摄吸附垫527和基板SB并根据图像求得上述距离。
[0134]其次，参照图14以及图15，说明如上那样构成的第3实施例的剥离装置的动作。图14级图15是示意性地示出在第3实施例的处理中的各阶段各部分的位置关系和负压供给部的负压供给状态的图。在这样构成的第3实施例中，与第I实施例相同，将基板SB的-Y侧端部作为被吸附部位SR被吸附垫517吸附保持，并且使剥离辊340在吸附垫517的+Y侧相邻位置与基板SB的上表面相抵接，进而使按压部331下降来按压橡皮布BL的端部之后，时第I吸附单元51开始上升，并且与此动作同步地使剥离辊340向+Y方向移动。由此，通过对基板SB的-Y侧端部(被吸附部位SR)进行保持的第I吸附单元51上升，基板SB被提拉，朝向+Y方向对基板SB与橡皮布BL进行剥离。
[0135]另外，如图14所示，在剥离辊340经过第2吸附位置时，第2吸附单元52下降，并且开始监控由激光位移计530所测量的距离(吸附垫527与基板SB的剥离部位PR之间的距离)。另外，在该阶段，保持停止向全部的吸附垫527供给负压的状态。
[0136]然后，当在第2吸附单元52下降过程中检测到上述距离达到阈值以下吸附垫527与基板SB的剥离部位PR抵接时，如图15所示，控制阀V52根据来自阀控制部703的指令打开，从负压产生部704向保持专用吸附垫527供给负压。因此，通过全部的吸附垫527吸附保持基板SB的剥离部位PR。
[0137]在开始通过吸附垫527吸附基板SB后，第2吸附单元52开始上升。接着，与第I实施例相同，在剥离辊340经过第3吸附单元53的正下方的第3吸附位置的时刻，第3吸附单元53开始下降。用于剥离的将基板SB提拉的主体从第2吸附单元52变为第3吸附单元53。该第3吸附单元53的下降、吸附保持及提拉基板的动作与第2吸附单元的动作相同。进一步，在剥离辊340经过第4吸附位置后，第4吸附单元54下降，提拉基板SB。这时，也执行与第2吸附单元52的下降、吸附保持及提拉基板的动作相同的动作。
[0138]通过第4吸附单元54提拉基板SB，基板SB的整体与橡皮布BL分离。之后，与第I实施例相同