+Y方向进展。因此，能够可靠地防止因剥离进展速度的变动导致应力集中而引起的图案损伤。
[0098]接着，等待剥离辊340经过第2吸附位置。第2吸附位置是基板SB的上表面上的第2吸附单元52的正下方的位置，是收到该第2吸附单元52吸附的位置。然后，当剥离辊340经过第2吸附位置时，如图9所示，第2吸附单元52开始下降。即，吸附垫527向剥离部位PR移动(移动步骤)，该剥离部位PR指，通过在剥离进展的剥离进展方向+Y上位于第2吸附单元52的上游侧的第I吸附单元51上升，而从橡皮布BL剥离的部位(基板SB的位于第I吸附单元51和剥离辊340之间的部分)。
[0099]另外，第2吸附单元52下降，并且根据来自阀控制部703的指令，仅打开控制阀V522，从负压产生部704向3个吸附垫527a、527m、527y供给负压。另外，保持不向这些以外的22个吸附垫527b?5271、527n?527x供给负压的状态。即，一边通过第2吸附单元52的X方向上的-X侧、中央及+X侧进行吸引，第2吸附单元52 —边下降。在由具有伸缩性的弹性构件构成的吸附垫527的下表面与基板SB的剥离部位PR抵接的时刻，捕捉吸附基板SB，并且通过压力计5286测量的压力值发生大的变化。因此，监测从压力计5286输出的压力值，即执行监测步骤，从而能够准确地检测第2吸附单元52下降到吸附垫527能够吸附剥离部位PR的位置。
[0100]在这里，仅通过吸附垫527吸附基板SB的剥离部位PR，则可以在第2吸附单元52下降的过程中向全部的吸附垫527供给负压。但是，在与基板SB抵接之前，吸附垫527抽吸大气，会对负压产生部704产生大的负荷，并且从负压产生部704向第I吸附单元51供给的负压的值会变动，因此有可能发生吸附垫517不保持基板SB的情况。对此，因为检测吸附垫527与剥离部位PR抵接，所以大幅度地限制在第2吸附单元52下降过程中供给负压的吸附垫527的个数，因此，能够大幅度地降低上述问题的发生，并且能够准确地进行上述抵接检测。考虑到这一点，本实施例中，如上所述，3个吸附垫527a、527m、527y不仅具有单独吸附基板SB的功能，还兼具有确认基板SB与剥离部位PR抵接的功能，即发挥所谓的的抵接确认两用吸附部的功能。另一方面，其他的吸附垫527b?5271、527n?527x是发挥专门吸附保持剥离部位PR的保持专用吸附部的作用。另外，本实施例中，使用抵接确认用的3个吸附垫527a、527m、527y，但是作为抵接确认两用吸附部使用的吸附垫的个数或者配设位置不限于此，可以任意方式，但是从抑制负压值的变动的观点来看，优选设定为至少比保持专用吸附部少的个数。
[0101]当通过检测压力值，检测到吸附垫527与基板SB的剥离部位PR抵接时，如图10所示，按照来自阀控制部703的指令，打开控制阀521，从负压产生部704向剩下的22个吸附垫527b?5271、527n?527x供给负压。因此，通过全部的25个吸附垫527吸附保持基板SB的剥离部位PR。另外，可以采用如下的方式，即，在使全部的吸附垫527下降至规定位置后，相对被提拉的基板SB处于待机状态。在任意方式中，通过使吸附垫527具有柔性，能够防止吸附失败。关于这一点，之后的实施例也一样。
[0102]在开始吸附基板SB之后，第2吸附单元52开始上升。因此，剥离进展速度依然被剥离辊340控制，并且，用于剥离的将基板SB提拉的主体从第I吸附单元51变为第2吸附单元52。另外，剥离后的基板SB，从仅被第I吸附单元51保持的状态切换为被第I吸附单元和第2吸附单元保持的状态，从而增加保持位置。另外，各吸附单元51?54上升时，如图1lA所示，以使剥离后的基板SB的姿势呈大致平面的方式维持各吸附单元51?54之间的Z方向的相对位置。
[0103]接着，在剥离辊340经过第3吸附单元53的正下方的第3吸附位置的时刻，第3吸附单元53开始下降，用于剥离的将基板SB提拉的主体从第2吸附单元52变为第3吸附单元53。该第3吸附单元53的下降、吸附保持以及提拉基板的动作与第2吸附单元的动作相同。进一步，在剥离辊340经过第4吸附位置后，第4吸附单元54下降，将基板SB提拉。这时，执行与第2吸附单元52的下降、吸附保持以及提拉基板的动作同样的动作。
[0104]这样，通过第4吸附单元54提拉基板SB，从而如图1lB所示，整个基板SB与橡皮布BL分离。在这里，在使第4吸附单元54上升后，使剥离辊340移动至载置台30的+Y侧后停止移动。然后，如图1lC所示，使各吸附单元51?54都上升到相同高度后停止。此外，使初始剥离单元33的按压部331与橡皮布BL分离，移动至橡皮布BL的上表面的上方且橡皮布BL的-Y侧端部的-Y侧的退避位置。之后，解除吸附槽对橡皮布BL的吸附保持，将分离后的基板SB及橡皮布BL搬出至装置外，从而完成剥离处理。
[0105]将各吸附单元51?54的高度设为相同是因为，通过使剥离后的基板SB和橡皮布BL保持平行，从而使由外部机器人或者操作者插入的取出用手部的访问和与取出用手部交接橡皮布BL及基本SB的操作变得容易。
[0106]如上所述，根据本实施例，伴随着向剥离进展方向(本实施例中+Y方向)剥离基板SB，通过下游侧吸附垫保持基板SB的剥离部位PR，使剥离进一步进展。例如，在通过第I吸附单元51的吸附垫517 —边保持基板SB的-Y侧端部一边使剥离进展的期间，通过位于吸附垫517的下游侧的第2吸附单元52的吸附垫527在保持基板SB的剥离部位PR之后，使剥离进一步进展。在这样的剥离阶段，第I吸附单元51及吸附垫517分别发挥本发明的“上游侧剥离装置”及“上游侧吸附部”的功能，并且第2吸附单元52及吸附垫527分别发挥本发明的“下游侧剥离装置”及“下游侧吸附部”的功能。
[0107]另外，接着上述剥离，在通过第2吸附单元52的吸附垫527 —边保持基板SB的被吸附部位SR(参考图11A) —边使剥离进展的期间，通过位于吸附垫527的下游侧的第3吸附单元53的吸附垫537保持基本SB的剥离部位PR后，使剥离进一步进展。在这样的剥离阶段，第2吸附单元52及吸附垫527分别发挥着本发明的“上游侧剥离装置”及“上游侧吸附部”的功能，并且第3吸附单元53及吸附垫537分别发挥着本发明的“下游侧剥离装置”及“下游侧吸附部”的功能。
[0108]另外，接着上述剥离，在通过第3吸附单元53的吸附垫537 —边保持基板SB的被吸附部位SR(参考图11B) —边使剥离进展的期间，通过位于吸附垫537的下游侧的第4吸附单元54的吸附垫547保持基本SB的剥离部位PR后，使剥离进一步进展。在这样的剥离阶段，第3吸附单元53及吸附垫537分别发挥着本发明的“上游侧剥离装置”及“上游侧吸附部”的功能，并且第4吸附单元54及吸附垫547分别发挥着本发明的“下游侧剥离装置”及“下游侧吸附部”的功能。
[0109]通过这样伴随着剥离的进展，使基板SB的保持位置依次变化，从而可靠地保持基板SB，并且能够容易地维持剥离后的基板SB的姿势。另外，能够一边赋予这样的稳定的剥离力，一边使剥离进展，因此还能够防止图案的损伤。另外，通过按照基板SB的尺寸配置吸附单元，能够柔性对应基板SB的大型化。
[0110]另外，如上所述的剥离部位PR是已经从橡皮布BL剥离后的区域，在剥离进展中新吸附基板SB的第2至第4吸附单元52?54与剥离部位PR抵接，因此通过这时的吸附，转印至基板SB的图案不会产生损伤。
[0111]另外，使沿着与剥离进展方向Y正交的X方向延伸的剥离辊340抵接于基板SB，一边使剥离辊340以恒定速度向剥离进展方向移动，一边提拉基板SB。因此，能够将剥离进展速度保持恒定，使基板SB和橡皮布BL之间良好地剥离。
[0112]进一步，在第2至第4吸附单元52?54中，通过压力计监控发挥抵接确认两用吸附部的功能的吸附垫内的压力，将表示压力值的信号作为位置信息输出至控制单元70，该位置信息是表示吸附垫相对于基板SB的反紧贴面的相对位置的信息。另外，控制单元70在基于吸附单元下降过程中的压力值的变化检测到该吸附垫与基板SB抵接时，开始向作为保持专用吸附部发挥作用的吸附垫供给负压。因此，得到如下的作用效果。
[0113]如上所述，在通过作为上游侧吸附部发挥作用的吸附垫保持基板SB的一部分(被吸附部位SB)的状态下，在使该吸附垫从水平载置台31向+Z方向移动来使剥离进行时，不能避免基板SB的弯曲。并且，弯曲量根据基板SB和橡皮布BL之间的紧贴力和基板SB的刚性等不同而不同。因此，作为下游侧吸附部发挥作用的吸附垫在Z方向上的与基板SB的剥离部位PR抵接的位置不恒定，根据紧贴力等的条件进行位移。在这里，本实施例中如上所述，监控吸附单元在下降过程中的压力值，即执行监控步骤，基于压力值的变化，准确地检测吸附垫与剥离部位PR的抵接。另外，将该抵接检测作为触发开始向保持专用吸附垫供给负压(调整步骤)。其结果，总是能够在适当的时机，使相当于下游侧吸附部的吸附垫吸附基板SB的剥离部位，从而能够稳定地进行剥离处理。并且，将用于压力监控的吸附垫限定于少数(本实施例中为25个中的3个)，因此，能够防止已经吸附基板SB的吸附垫内的压力大幅下降，从而能够稳定地进行剥离处理。
[0114]B.第2实施例
[0115]图12A至图12D是表示本发明的剥离装置的第2实施例的图。该第2实施例与第I实施例的最大区别点是，作为抵接确认两用吸附部发挥作用的吸附垫设置在作为保持专用吸附部发挥作用的吸附垫的下游侧，其他结构基本上与第I实施例相同。因此，在以下内容中，主要针对该区别点进行说明，关于相同结构部分是标注相同附图标记，省略说明。
[0116]第2实施例的各个吸附单元52?54中，不仅与吸附单元51同样沿着X方向排列25个吸附垫作为保持专用吸附部，还将两个吸附垫作为抵接确认两用吸附部。另外，吸附单元52?54能够分别通过负压供给部528、538、548独立地在向吸附垫供给负压的状态及停止供给负压的状态之间切换。这些负压供给部528、538、548具有相同的结构。因此，在以下内容中，说明关于负压供给部528的结构，关于剩下的负压供给部538、548标注相应的附图标记，其结构说明省略。
[0117]吸附单元52具有:沿着X方向排列的25个保持专用的吸附垫527 ;在上述吸附垫列的下游侧，配置在-X侧及+X侧的两个抵接确认两用吸附垫527zl、527z2。这些吸附垫中的位于上游侧的25个保持专用吸附垫527与吸附单元51的吸附垫517相同，从-X方向侧向+X方向侧划分为8个、9个、8个这3个吸附垫组。另外，负压供给部528具有3个歧管5281?5283，歧管5281与构成+X侧的吸附垫组的8个吸附垫527连接，歧管5282与构成中央的吸附垫组的9个吸附垫527连接，进一步歧管5283与构成-X侧的吸附垫组的8个吸附垫527连接。
[0118]各歧管5281