硅片腐前清洗机用清洗框的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种硅片腐前清洗机用清洗框，包括框体底板、侧板、挡板、横杆和提手，所述框体底板上设有若干方孔，底板四边的边缘和中间梁上都均匀设有若干通孔，两个所述侧板设置在所述框体底板相对的两侧，其底部与所述框体底板固定连接，所述侧板上设有若干圆孔，两个所述挡板相对设置在所述框体底板的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板和两个侧板固定连接，所述挡板上设有若干通孔，两个所述横杆分别平行设于两个所述挡板的上边，其两端分别固定连接在两个所述侧板的上部，所述提手横跨在所述框体底板的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆上。本实用新型结构简单、质量轻便、容量大。
【专利说明】硅片腐前清洗机用清洗框
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及机械类【技术领域】，尤其涉及半导体硅片腐前清洗用的清洗框。
【背景技术】
[0002]随着半导体硅片行业竞争的日益加大，产能的提升成为必然的趋势，而目前的硅片腐前清洗机所配套的清洗框采用不锈钢材料制造而成，质量较重，且结构单一清洗硅片时对硅片的尺寸有较多的限制，单批次清洗的硅片较少，远远不能满足实际生产的需要。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种结构简单、质量轻便、且单批次能够清洗较多硅片数量的硅片的腐前清洗用清洗框。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:包括框体底板、侧板、挡板、横杆和提手，所述框体底板上设有若干方孔，底板四边的边缘和中间梁上都均匀设有若干通孔，两个所述侧板设置在所述框体底板相对的两侦牝其底部与所述框体底板固定连接，所述侧板上设有若干圆孔，两个所述挡板相对设置在所述框体底板的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板和两个侧板固定连接，所述挡板上设有若干通孔，两个所述横杆分别平行设于两个所述挡板的上边，其两端分别固定连接在两个所述侧板的上部，所述提手横跨在所述框体底板的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆上。
[0005]两排所述方孔对称分布在所述底板上。
[0006]每排设有三个所述方孔，且三个所述方孔大小不等。
[0007]所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手设置在所述横杆的一端，所述第二提手设置在所述横杆的另一端，且距离横杆端部有一定距离。
[0008]所述第二提手距离所述横杆端部的距离为10cm-20cm。
[0009]所述第一提手和第二提手为一板状，其两侧通过支座固定挂在所述横杆上，其上端设有一杆，所述杆的两端突出所述提手两侧，所述第一提手和第二提手上均设有圆形通孔。
[0010]所述侧板上设有五个所述圆孔，其中上边有两个所述圆孔，下边有三个所述圆孔。
[0011]所述框体底板、侧板、挡板、横杆和提手均采用PP塑料材质。
[0012]本实用新型具有的优点和积极效果是:本实用新型的硅片腐前清洗机用清洗框多处开设有孔，在保证了清洗框被抓起、放下和挪动时的平稳性的同时，大大减轻了清洗框的质量，且该清洗框每批次清洗的硅片数量较多，增加了产能。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型的结构示意图。
[0014]图中:[0015]1、框体底板2、侧板3、挡板4、横杆
[0016]5、第一提手6、第二提手7、方孔8、边缘
[0017]9、中间梁10、通孔11、圆孔12、圆形通孔
[0018]13、支座14、杆
【具体实施方式】
[0019]以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
[0020]如图1所示，本实用新型的硅片腐前清洗机用清洗框，包括框体底板1、侧板2、挡板3、横杆4和提手，提手包括第一提手5和第二提手6，所述框体底I上设有若干方孔7，框体底板I四边的边缘8和中间梁9上都均匀设有若干通孔10，两个所述侧板2设置在所述框体底板I相对的两侧，其底部与所述框体底板I固定连接，所述侧板2上设有若干圆孔11，两个所述挡板3相对设置在所述框体底板I的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板I和两个侧板2固定连接，所述挡板3上设有若干通孔10，两个所述横杆4分别平行设于两个所述挡板3的上边，其两端分别与两个所述侧板2固定连接，所述第一提手5和第二提手6均横跨在所述框体底板I的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆4上。
[0021 ] 两排所述方孔7对称分布在所述框体底板I上。
[0022]每排设有三个所述方孔7，且三个所述方孔7大小不等，其中中间的方孔7最大，两个的方孔较小。
[0023]第一提手5设置在所述横杆4的一端，所述第二提手6设置在所述横杆4的另一端，且距离横杆4端部有一定距离，第二提手6距离所述横杆4端部的距离为5cm-15cm。
[0024]第一提手5和第二提手6为一板状，其两侧通过支座13固定挂在所述横杆4上，其上端设有一杆14，所述杆14的两端突出所述提手两侧，所述第一提手5和第二提手6上均设有圆形通孔12。
[0025]所述侧板2上设有五个所述圆孔11，上边设有两个所述圆孔11，下边设有三个所述圆孔11。
[0026]所述框体底板1、侧板2、挡板3、横杆4和提手(包括第一提手5和第二提手6)均采用PP塑料材质。
[0027]聚丙烯(PP塑料)是继尼龙之后发展的又一优良树脂品种，它是一种高密度、无侧链、高结晶必的线性聚合物，具有优良的综合性能。未着色时呈白色半透明，蜡状；比聚乙烯轻。透明度也较聚乙烯好，比聚乙烯刚硬。
[0028]硅片一般存放在特定的篮中，清洗时，将存放硅片的篮放到清洗框中再送到清洗机进行清洗。本实用新型的硅片腐前清洗机用清洗框一次可以盛放6篮4英寸的硅片或4篮6英寸的硅片，而之前的清洗框一次可以盛放4篮4英寸的硅片或2篮6英寸的硅片，本实用新型的清洗框一次清洗的硅片数量增多，产能增加；侧板2和挡板3将盛放硅片的篮固定使不滑落出来，而且两个侧板2上开有5个圆孔11，并由两个挡板3代替了另外两侧的侧板，挡板3上分布有多个通孔，这样可以大大减轻清洗框整体的重量，在机械手提起或放下清洗框时更加容易和安全，底板I上设有多个方孔和通孔也减轻了清洗框的重量，同时更便于残留液体的流出；提手通过横杆4连接在侧板2上，当机械手提起清洗框时，重量通过横杆4分布到两个侧板2上，有效地保证了清洗框的稳定，提手上设有杆14，且杆14两端突出提手两侧，便于机械手抓起或放下清洗框。本实用新型的硅片腐前清洗机用清洗框结构简单、质量轻便且容量较大。
[0029]以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本实用新型范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。
【权利要求】
1.硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:包括框体底板、侧板、挡板、横杆和提手，所述框体底板上设有若干方孔，底板四边的边缘和中间梁上都均匀设有若干通孔，两个所述侧板设置在所述框体底板相对的两侧，其底部与所述框体底板固定连接，所述侧板上设有若干圆孔，两个所述挡板相对设置在所述框体底板的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板和两个侧板固定连接，所述挡板上设有若干通孔，两个所述横杆分别平行设于两个所述挡板的上边，其两端分别固定连接在两个所述侧板的上部，所述提手横跨在所述框体底板的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆上。
2.根据权利要求1所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:两排所述方孔对称分布在所述底板上。
3.根据权利要求1或2所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:每排设有三个所述方孔，且三个所述方孔大小不等。
4.根据权利要求1所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手设置在所述横杆的一端，所述第二提手设置在所述横杆的另一端，且距离横杆端部有一定距离。
5.根据权利要求4所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:所述第二提手距离所述横杆端部的距离为5cm-15cm。
6.根据权利要求4所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:所述第一提手和第二提手为一板状，其两侧通过支座固定挂在所述横杆上，其上端设有一杆，所述杆的两端突出所述提手两侧，所述第一提手和第二提手上均设有圆形通孔。
7.根据权利要求1所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:所述侧板上设有五个所述圆孔，其中上边有两个所述圆孔，下边有三个所述圆孔。
8.根据权利要求1所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于:所述框体底板、侧板、挡板、横杆和提手均采用PP塑料材质。
【文档编号】B08B3/04GK203610362SQ201320803510
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年12月5日 优先权日:2013年12月5日
【发明者】刘振福, 翟洪升, 严政先, 甄红昌, 孙晨光 申请人:天津中环领先材料技术有限公司