专利名称：正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法
技术领域：
本发明涉及一种正型感光性树脂组合物以及使用该组合物形成固化膜的方法。更具体地说，本发明涉及一种适用于形成电子元件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法，所述电子元件例如有液晶显示装置、集成电路装置、固态成像装置和有机电致发光装置。
背景技术：
以往，在诸如液晶显示装置、集成电路装置、固态成像装置和有机电致发光装置之类的电子元件中，当形成平坦膜(其用于赋予电子元件的表面以平坦性)、保护膜(其用于防止电子元件的劣化或损伤)或层间绝缘膜(其用于保持绝缘性)时，通常使用感光性树脂组合物。例如，在制造TFT型液晶显示装置时，通过在玻璃衬底上设置偏光板、在其上形成诸如ITO之类的透明导电电路层以及薄膜晶体管(TFT)、并涂覆层间绝缘膜，由此来形成背板；通过在玻璃衬底上设置偏光板，根据需要，可以形成黑底层的图案和滤色器层的图案，并且进一步依次形成透明导电电路层和层间绝缘膜，由此来形成顶板；在将背板和顶板隔着隔板而对向设置之后，将液晶封装在这两板之间。在该方法中，要求在形成层间绝缘膜时所使用的感光性树脂组合物具有优异的感光度、残膜率(residual film ratio)、耐热性、粘附性和透明性。此外，还要求感光性树脂组合物在贮藏时具有优异的经时稳定性。关于感光性树脂组合物，例如，专利文献1提出了这样的感光性树脂组合物其含有(A)可溶于碱性水溶液中的树脂(其为以下物质的聚合物(a)不饱和羧酸或不饱和酸酐、(b)具有环氧基的自由基聚合性化合物、以及(c)其他的自由基聚合性化合物)和 (B)生成辐射敏感性酸的化合物，另外，专利文献2提出了这样的感光性树脂组合物，其包含碱溶性的丙烯酸系聚合物粘结剂、含有重氮醌基团的化合物、交联剂、以及光生酸剂 (photo-acid generator) 0然而，这些感光性树脂组合物在感光度、未曝光区域的残膜率、 分辨率和经时稳定性方面均不够充分，因此不能满足高质量液晶显示装置的制造。专利文献3提出了这样的正型化学增幅抗蚀剂组合物，其含有交联剂、产酸剂、以及具有保护基团 (其在酸的作用下能够断裂)的树脂，其中所述树脂本身不溶或难溶于碱性水溶液中，但是当所述保护基团断裂之后，所述树脂可溶于碱性水溶液中。但是，它的粘附性或透光度不够充分，并且不能满足高质量液晶显示装置的制造。专利文献4提出了这样的辐射敏感性树脂组合物，其包含产酸剂和树脂(该树脂具有缩醛结构和/或缩酮结构、以及环氧基)，但是其感光度低从而不令人满意。专利文献1 JP-A-5-165214
专利文献2 JP-A-10-153854专利文献3 JP-A-2004-4669专利文献4 JP-A-2004-26462
发明内容
发明待解决的问题本发明的目的是提供一种具有优异的感光度、残膜率以及储存稳定性的正型感光性树脂组合物以及使用该组合物形成固化膜的方法，它们是这样的正型感光性树脂组合物以及使用该组合物形成固化膜的方法，当该组合物被固化时，确保能够获得具有优异的耐热性、粘附性和透光度等的固化膜。解决问题的手段本发明人为了达到上述目的进行了深入研究，从而完成了本发明。本发明如下。(1) 一种正型感光性树脂组合物，其至少包含(A)树脂、以及(B)在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，所述树脂含有下式(1)所示的、具有酸解离性基团的构成单元，以及具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元，所述树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱；
权利要求
1.一种正型感光性树脂组合物，其至少包含(A)树脂、以及(B)在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，其中所述树脂含有下式(1)所示的具有酸解离性基团的构成单元、以及具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元，所述树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱，
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物， 其中，所述组分(B)为下式C3)所表示的化合物
3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其还包含(C)粘附助剂。
4.一种形成固化膜的方法，包括下列步骤将权利要求1所述的正型感光性树脂组合物涂敷在衬底上并干燥，以形成涂层； 透过掩模使用光化射线或放射线对所述涂层进行曝光； 用碱性显影剂对曝光后的涂层进行显影，以形成图案；以及对所获得的图案进行热处理。
5.根据权利要求4所述的形成固化膜的方法，还包括下列步骤在所述的使用碱性显影剂对曝光后的涂层进行显影以形成图案的步骤之后、而在所述的对所获得的图案进行热处理的步骤之前，对所获得的图案的整个表面进行曝光。
全文摘要
本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其包含树脂，以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，其中所述树脂含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定的丙烯酸系构成单元、以及具有能够与该羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元，所述树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱。本发明还提供了使用该组合物形成固化膜的方法。所述正型感光性组合物具有优异的感光度、残膜率和储存稳定性，并且通过采用所述的使用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法，可提供具有优异的耐热性、粘附性和透光度等的固化膜。
文档编号G03F7/00GK102566276SQ201110396399
公开日2012年7月11日 申请日期2008年6月5日 优先权日2007年6月5日
发明者泷田敏 申请人:富士胶片株式会社