简称为a2-2)、80重量份的叔丁氧基苯 乙烯（以下简称为a3-2)及240重量份的二乙二醇二甲醚（以下简称为Diglyme)以一次 添加方式加入该四口烧瓶中。
[0171] 使该烧瓶内部充满氮气后，使烧瓶内的反应物混合均匀并使油浴升温至85°C，将 3重量份的2,2'_偶氮双（2, 4-二甲基戊腈）（以下简称为ADVN)溶于20重量份的Diglyme 中，分为五等份的量，并于一小时内间隔添加至该四口烧瓶中。于70°C进行聚合反应，经过 5小时后，取出聚合产物，并去除溶剂，即可制得碱可溶性树脂（A-I)。
[0172] 制备例 A-2 至 A-Il
[0173] 制备例A-2至A-Il是使用与制备例A-I的碱可溶性树脂的制作方法相同的制备 方法，不同之处在于制备例A-2至A-Il是改变碱可溶性树脂中原料的种类与使用量及聚合 条件，且其配方及聚合条件如表1所示，在此不另赘述。
[0174] 制备感光性树脂组合物
[0175] 以下是根据表2制备实施例1至10及比较例1至3的感光性树脂组合物。
[0176] 实施例1
[0177] 在一容积500毫升的三颈烧瓶中，加入100重量份前述制备例A-I所制得的碱可 溶性树脂、5重量份由1-[1-(4_羟基苯基）异丙基]_4-[1，1-双（4-羟基苯基）乙基]苯 与邻萘醌二叠氮-5-磺酸所形成的邻萘醌二叠氮磺酸酯（以下简称为B-1)及100重量份 的丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA;以下简称为C-1)。以摇动式搅拌器搅拌均匀后，即可制得实 施例1的感光性树脂组合物。所得的感光性树脂组合物以下述耐显影性的评价方式进行评 价，所得结果如表2所示。
[0178] 实施例2至10及比较例1至3
[0179] 实施例2至10及比较例1至3是使用与实施例1的感光性树脂组合物的制作方 法相同的制备方法，不同之处在于实施例2至10及比较例1至3是改变感光性树脂组合物 中原料的种类及使用量，且其配方及评价结果分别如表2所示，在此不另赘述。
[0180] 制备保护膜
[0181] 本发明的保护膜是藉由前述实施例1至10及比较例1至3的感光性树脂组合物 及制备方法所制得。
[0182] 应用例1
[0183] 将实施例1的感光性树脂组合物以旋转涂布的方式，涂布在尺寸为100mm X 100_ X 0. 7_的素玻璃基板上，并制得厚度约2 μπι的预涂膜。接着，以IKTC预烤2分钟后，在 曝光机（M&R Nano Technology制造，其型号为AG500-4N)与预涂膜间置入正光阻用掩模， 并以能量为200J/cm2的紫外光照射预涂膜。然后，将曝光后的预涂膜浸渍于23°C且浓度为 0.4wt%的四甲基氢氧化铵的显影液中1分钟，以去除曝光的部分。以纯水洗净后，利用曝 光机直接照射显影后的预涂膜，其能量为300mJ/cm 2。之后，以230°C后烤60分钟，即可制 得素玻璃基板上具有图样的保护膜。
[0184] 应用例2至10及应用比较例1至3
[0185] 应用例2至10及应用比较例1至3是利用与应用例1相同的步骤来制备保护膜。 不同之处在于应用例2至10及应用比较例1至3是改变感光性树脂组合物的种类，且其是 分别使用实施例2至10及比较例1至3所制得的感光性树脂组合物。
[0186] 评价方式
[0187] 耐显影性
[0188] 将上述实施例1至10及比较例1至3的感光性树脂组合物以旋转涂布的方式，分 别涂布在尺寸为1〇〇_ X 1〇〇_ X 〇. 的素玻璃基板上，并制得厚度约2 μπι的预涂膜。 接着，以ll〇°C预烤2分钟后，在曝光机（M&R Nano Technology制造，其型号为AG500-4N) 与预涂膜间置入正光阻用掩模，以能量为200J/cm2的紫外光照射预涂膜，并量测曝光后的 预涂膜的膜厚（即显影前的膜厚）。然后，将曝光后的预涂膜浸渍于23°C且浓度为0. 4wt% 的四甲基氢氧化铵的显影液中1分钟，以去除曝光的部分。以纯水洗净后，即可制得点状图 案列阵，量测点状图案列阵的膜厚（即显影后的膜厚），以下式（VI)计算显影前后的膜厚 比，并依据以下基准进行评价：
[0190] 0):98% 刍膜厚比。
[0191] 〇：95%<膜厚比刍98%。
[0192] Λ :部份图案剥落。
[0193] X :图案完全剥落。
[0194] 由表2的结果可知，当碱可溶性树脂（A)包含具有双键基团的芴衍生物（a2)的共 聚合单体时，所制得的感光性树脂组合物具有良好的耐显影性。其次，若碱可溶性树脂（A) 使用具有酸分解性的不饱和化合物（a3)作为共聚合单体时，所制得的感光性树脂组合物 具有良好的耐显影性。
[0195] 其次，当碱可溶性树脂（A)包含具有环氧基的不饱和化合物（a4)的共聚合单体 时，所制得的感光性树脂组合物具有更佳的耐显影性。
[0196] 比较例4
[0197] 将100重量份前述制备例A-IO所制得的碱可溶性树脂、10重量份由2, 3, 4-三羟 基二苯甲酮与邻萘醌二叠氮-5-磺酸所形成的邻萘醌二叠氮磺酸酯（以下简称为B-2)，以 及5重量份的9, 9' -二[4-(2-甲基丙烯酰氧基乙氧基）苯基]芴加至300重量份的二乙 二醇二甲醚中，并以摇动式搅拌器搅拌均匀，即可制得比较例4的感光性树脂组合物。所得 的感光性树脂组合物亦以前述耐显影性的评价方式进行评价。以上述的评价方式进行效能 评估后，所得的耐显影性为X。
[0198] 根据比较例4的结果可知，当碱可溶性树脂（A)未使用具有双键基团的芴衍生物 (a2)作为共聚合单体，但感光性树脂组合物额外包含具有双键基团的芴衍生物（a2)时，所 制得的感光性树脂组合物仍具有耐显影性不佳的缺陷。
[0199] 需补充的是，本发明虽以特定的化合物、组成、反应条件、制程、分析方法或特定仪 器作为例示，说明本发明的感光性树脂组合物及其应用，惟本发明所属技术领域中任何具 有通常知识者可知，本发明并不限于此，在不脱离本发明的精神和范围内，本发明的感光性 树脂组合物及其应用亦可使用其它的化合物、组成、反应条件、制程、分析方法或仪器进行。
[0200] 虽然本发明已以实施方式揭露如上，然其并非用以限定本发明，在本发明所属技 术领域中任何具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润 饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定的范围为准。
[0201]
【主权项】
1. 一种感光性树脂组合物，包含： 碱可溶性树脂（A); 邻糞酿二叠氮横酸醋度）；W及 溶剂（C)，且 其中，所述碱可溶性树脂（A)由不饱和簇酸或不饱和簇酸酢化合物（al)、具有双键基 团的巧衍生物（a2)及具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)所共聚合而得。2. 如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述具有双键基团的巧衍生物（a2) 具有如下式（I)所示的结构：于式（I)中，Ri至Rs为相同或不同，且各自表示氨原子、面素原子、氯基或烷基；Re及Ri3 为相同或不同，且各自表示芳香基或杂环基；Ri。及R14为相同或不同，且各自表示单键或有 机基团；Rii及Ru为相同或不同，且各自表示氨原子或甲基；Ri2及Rie为相同或不同，且各自 表不氨原子、面素原子、烷基、环烷基、芳香基、烷基芳香基、烷氧基、环烷基氧基、芳香氧基、 酷基、硝基、氯基或氨基；X及y各自表示1至3的整数；W及t各自表示0至3的整数。3. 如权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述具有双键基团的巧衍生物（a2) 具有如下式（II)所示的结构：于式（Π)中，R產Rs为相同或不同，且各自表示氨原子、面素原子、氯基或烷基；R9及Ri3为相同或不同，且各自表示芳香基或杂环基；Ri7及Ri8为二价烷基，或经径基取代的二价 烷基恥及R。为相同或不同，且各自表示氨原子或甲基斯2及Rie为相同或不同，且各自表 示氨原子、面素原子、烷基、环烷基、芳香基、烷基芳香基、烷氧基、环烷基氧基、芳香氧基、酷 基、硝基、氯基或氨基；X及y各自表示1至3的整数；w及t各自表示ο至3的整数；η及u各自表示0至10的整数。4. 如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述具有酸分解性基的不饱和化合物 (a3)具有如下式（ΠΙ)所示的结构：于式（III)中，Xi代表氨原子或碳数为1至3的烷基；X2代表氨原子、碳数为1至30的 烷基，或者碳数为6至30的芳香基，其中所述烷基为直链烷基、支链烷基或环烷基；X3代表 氨原子、碳数为1至40的烷基、Ξ烷基娃基或氧代烷基，其中所述烷基为直链烷基、支链烧 基或环烷基，所述Ξ烷基娃基中各烷基的碳数为1至6,且所述氧代烷基中各烷基的碳数为 4至20,或者X3具有如下式（IV)所示的结构：于式（IV)中，X4代表氨原子、碳数为1至10的烷基，且所述烷基为直链烷基、支链烷基 或环烷基；而与Xe分别独立地代表氨原子、碳数为1至10的烷基，且所述烷基为直链烷基、 支链烷基或环烷基；当而与Xe代表直链状或支链烷基时，Xδ与Xe可W键结为一环状结构。5. 如权利要求1所述的感光性树脂组合物，基于所述不饱和簇酸或不饱和簇酸酢化合 物（al)、具有双键基团的巧衍生物（a2)、具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)的总使用量 为100重量份，所述不饱和簇酸或不饱和簇酸酢化合物（al)的使用量为5重量份至29重 量份，所述具有双键基团的巧衍生物（a2)的使用量为15重量份至70重量份，且所述具有 酸分解性基的不饱和化合物（a3)的使用量为1重量份至80重量份。6. 如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述碱可溶性树脂（A)由不饱和簇酸 或不饱和簇酸酢化合物（al)、具有双键基团的巧衍生物（a2)、具有酸分解性基的不饱和化 合物（a3)、具有环氧基的不饱和化合物（a4)及/或其它不饱和化合物（a5)所共聚合而得。7. 如权利要求1所述的感光性树脂组合物，基于所述碱可溶性树脂（A)的使用量为 100重量份，所述邻糞酿二迭氮横酸醋度）的使用量为3重量份至30重量份，且所述溶剂 (C)的使用量为100重量份至1000重量份。8. -种保护膜，是将如权利要求1至7中的任一项所述的感光性树脂组合物经涂布处 理、预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理后所形成。9. 一种具有保护膜的元件，包含基材W及如权利要求8所述的保护膜，其中所述保护 膜形成于所述基材上。
【专利摘要】本发明是有关一种感光性树脂组合物、保护膜及具有该保护膜的元件。上述感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)及溶剂(C)，其中该碱可溶性树脂(A)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、具有双键基团的芴衍生物(a2)及具有酸分解性基的不饱和化合物(a3)所共聚合而得。本发明的感光性树脂组合物可提升保护膜的耐显影性。
【IPC分类】G03F7/008, G03F7/004
【公开号】CN105319845
【申请号】CN201510319664
【发明人】吴明儒, 施俊安
【申请人】奇美实业股份有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年6月12日
【公告号】US20150376355