极指63、63之间。也就是说，俯视时，各电极指63进入相邻的两个电极指64、64之间。但是，电极指64是由第一硅层210所形成的。因此，在电压未施加在第一内侧驱动电极6A上的状态下，电极指63与电极指64在镜器件100的厚度方向(与X轴和Y轴正交的方向)上错开，电极指63与电极指64不相互对置。
[0051]此外，由于电极指64是由第一硅层210所形成的，因此经由反射镜2和第一铰链4、4与框体3电导通。另一方面，由于电极指63设在框体3上，电极指63也与框体3电导通。但是，框体3上的、第一铰链4、4所连结的部分(也就是说第一边部31和第三边部33的中间部分)是由第一硅层210所形成的，而电极指63只从框体3的第二边部32和第四边部34上的第二硅层230延伸出来。也就是说，电极指63与电极指64隔着框体3的氧化膜层220相互绝缘。
[0052]在框体3的外侧上的四个位置设有第一外侧驱动电极?第四外侧驱动电极7A?7D。具体而言，第一外侧驱动电极7A和第二外侧驱动电极7B设在框体3的第二边部32的两端部上。第三外侧驱动电极7C和第四外侧驱动电极7D设在框体3的第四边部34的两端部上。以下，在不区别各外侧驱动电极7时，单纯地称为“外侧驱动电极7”。由于第一外侧驱动电极?第四外侧驱动电极7A?7D的结构相同，因此以下对第一外侧驱动电极7A的结构进行说明。
[0053]第一外侧驱动电极7A具有外侧固定梳齿电极71和外侧可动梳齿电极72。基部I上的、与第二边部32的端部相对置的位置上设有凹部，外侧固定梳齿电极71设在该凹部中。夕卜侧可动梳齿电极72设在框体3的第二边部32上。外侧固定梳齿电极71是第一梳齿电极的一个例子，外侧可动梳齿电极72是第二梳齿电极的一个例子。
[0054]外侧固定梳齿电极71具有多根电极指73。基部I上的凹部形成为长方形。多根电极指73从凹部上的与X轴平行地延伸的两个边部起与Y轴平行地向凹部内侧延伸出来。各边部上的多根电极指73在X轴方向上留有规定间隔地排列着。电极指73是由第二硅层230所形成的。需要说明的是，电极指73中最接近框体3的电极指73(以下称为“端部的电极指73z”。)形成为宽度(X轴方向上的尺寸)比其它电极指73粗。由此，能够抑制端部的电极指73z弯曲。也就是说，俯视时，其它电极指73布置在对应的两个电极指74、74之间。相对于此，俯视时，端部的电极指73z只与一根电极指74相邻，并未夹在两个电极指74、74之间。因此，当在电极指73与电极指74之间产生静电引力时(在后详述)，就其它电极指73而言，在其两侧会产生静电引力，相对于此，就端部的电极指73z而言，只有在电极指74存在的一侧会产生静电引力。也就是说，其它电极指73受两个电极指74、74相互拉扯，从而不会向任一个电极指74弯曲，但端部的电极指7 3 z只会被拉往电极指74存在的那一侧。于是，通过使端部的电极指7 3 z形成为比其它电极指73粗，能够抑制端部的电极指73z弯曲。
[0055]外侧可动梳齿电极72具有多根电极指74。在框体3的第二边部32上设有与X轴平行地向框体3的外侧延伸的延长部75。多根电极指74从延长部75起与Y轴平行地向两侧延伸，并且在X轴方向上留有规定间隔地排列着。俯视时，各电极指74进入相邻的两个电极指73、73之间。也就是说，俯视时，各电极指73进入相邻的两个电极指74、74之间。但是，电极指74是由第一硅层210所形成的。因此，在电压未施加在第一外侧驱动电极7上的状态下，电极指73与电极指74在镜器件100的厚度方向上错开，电极指73与电极指74不相互对置。
[0056]在此，电极指73是由基部I的第二硅层230所形成的，而电极指74是由框体3的第一硅层210所形成的。因此，电极指73与电极指74隔着氧化膜层220相互绝缘。
[0057]此外，在框体3的第二边部32和第四边部34上设有内侧固定梳齿电极61和外侧可动梳齿电极72 ο但是，内侧固定梳齿电极61是由第二硅层230所形成的，而外侧可动梳齿电极72是由第一硅层210所形成的，因此内侧固定梳齿电极61与外侧可动梳齿电极72隔着框体3的氧化膜层220相互绝缘。
[0058]基部I中的由第二硅层230所构成的部分被绝缘槽240分割为相互电绝缘的几个区域。具体而言，该部分具有:经由一个第二铰链5与第一内侧驱动电极6A中的内侧固定梳齿电极61电导通的第一区域241;经由另一个第二铰链5与第二内侧驱动电极6B中的内侧固定梳齿电极61电导通的第二区域242;与第一外侧驱动电极7A中的外侧固定梳齿电极71以及第四外侧驱动电极7D中的外侧固定梳齿电极71电导通的第三区域243;与第二外侧驱动电极7B中的外侧固定梳齿电极71以及第三外侧驱动电极7C中的外侧固定梳齿电极71电导通的第四区域244;以及位于最外侧的框状第五区域245。
[0059]在第一区域241中设有第一驱动电极251。第一驱动电极251经由第二铰链5与第一内侧驱动电极6A中的内侧固定梳齿电极61电导通。此外，在第二区域242中设有第二驱动电极25 2。第二驱动电极252经由第二铰链5与第二内侧驱动电极6B中的内侧固定梳齿电极61电导通。
[0060]在第三区域243中设有第三驱动电极253。第三驱动电极253与第一外侧驱动电极7A中的外侧固定梳齿电极71以及第四外侧驱动电极7D中的外侧固定梳齿电极71电导通。此夕卜，在第四区域244中设有第四驱动电极254。第四驱动电极254与第二外侧驱动电极7B中的外侧固定梳齿电极71以及第三外侧驱动电极7C中的外侧固定梳齿电极71电导通。
[0061 ]在第五区域245的四个角落中位于对角线上的两个角落部上形成有开口部245a、245a。开口部245a贯穿第二硅层230以及氧化膜层220。在经由开口部245a露出的第一硅层210上设有共用电极255。此外，在第五区域245的四个角落中未设有开口部245a、245a的两个角落部上设有虚设电极256、256。虚设电极256设在第二硅层230的表面上。
[0062][镜器件的动作]
[0063]接着，对按上述方式构成的镜器件100的动作进行说明。
[0064]控制部通过对第一驱动电极?第四驱动电极251?254施加驱动电压来使反射镜2倾动。控制部通过对第一驱动电极251或第二驱动电极252施加驱动电压来使反射镜2绕Y轴倾动。另一方面，控制部通过对第三驱动电极253或第四驱动电极254施加驱动电压来使反射镜2绕X轴倾动。
[0065]详细而言，在施加驱动电压之前，内侧驱动电极6中的内侧固定梳齿电极61与内侧可动梳齿电极62在镜器件100的厚度方向上错开，外侧驱动电极7中的外侧固定梳齿电极71与外侧可动梳齿电极72在镜器件100的厚度方向上错开。在该状态下，如果对第一驱动电极251施加驱动电压，在第一内侧驱动电极6A中的内侧固定梳齿电极61与内侧可动梳齿电极62之间就会产生静电引力。通过该静电引力，内侧可动梳齿电极62被拉往内侧固定梳齿电极61。其结果是，反射镜2绕Y轴倾动而使第一内侧驱动电极6A的内侧可动梳齿电极62上升。另一方面，如果对第二驱动电极252施加驱动电压，在第二内侧驱动电极6B中的内侧固定梳齿电极61与内侧可动梳齿电极62之间就会产生静电引力。通过该静电引力，内侧可动梳齿电极62被拉往内侧固定梳齿电极61。其结果是，反射镜2绕Y轴倾动而使第二内侧驱动电极6B的内侧可动梳齿电极62上升。此外，如果对第三驱动电极253施加驱动电压，在第一外侧驱动电极7A中的外侧固定梳齿电极71与外侧可动梳齿电极72之间以及第四外侧驱动电极7D中的外侧固定梳齿电极71与外侧可动梳齿电极72之间就会产生静电引力。通过该静电弓I力，外侧可动梳齿电极72被拉往外侧固定梳齿电极71。其结果是，反射镜2绕X轴倾动而使第一外侧驱动电极7A中的外侧可动梳齿电极72以及第四外侧驱动电极7D中的外侧可动梳齿电极72上升。另一方面，如果对第四驱动电极254施加驱动电压，在第二外侧驱动电极7B中的外侧固定梳齿电极71与外侧可动梳齿电极72之间以及第三外侧驱动电极7C中的外侧固定梳齿电极71与外侧可动梳齿电极72之间就会产生静电引力。通过该静电引力，外侧可动梳齿电极72被拉往外侧固定梳齿电极71。其结果是，反射镜2绕X轴倾动而使第二外侧驱动电极7B中的外侧可动梳齿电极72以及第三外侧驱动电极7C中的外侧可动梳齿电极72上升。
[0066]能够通过对反射镜2照射光，并利用光电探测器等检测照射的光的反射光来检测反射镜2的倾动量。控制部通过将按上述方式检测出的反射镜2的倾动量反馈来调整向第一驱动电极?第四驱动电极251?254施加的驱动电压，由此控制反射镜2的倾动。
[0067][镜器件的制造方法]
[0068]接着，对镜器件100的制造方法进行说明。
[0069]镜器件100包括:由第一硅层210和第二硅层230所形成的第一结构体；由第二硅层230所形成的、不包含第一硅层210的第二结构体；由第一硅层210所形成的、不包含第二硅层230的第三结构体。需要说明的是，在此，由于是以第一硅层210和第二硅层230的角度来分类各结构体，因此各结构体可以包含氧化膜层220，也可以不包含氧化膜层220。例如，本实施方式的第一结构体包含氧化膜层220。在本实施方式中，基部1、框体3中的一部分(第一边部31的两端部、第三边部33的两端部、第二边部32和第四边部34)以及第二铰链5为第一结构体。内侧固定梳齿电极61和外侧固定梳齿电极71为第二结构体。反射镜2、框体3中的一部分(第一边部31的中间部分以及第三边部33的中间部分)、第一铰链4、内侧可动梳齿电极62以及外侧可动梳齿电极72为第三结构体。
[0070]需要说明的是，在图2中，作为第一结构体的例子示出了基部I和第二铰链5，作为第二结构体的例子示出了内侧固定梳齿电极61，作为第三结构体的例子示出了反射镜2和内侧可动梳齿电极62。以下，对在图2中示例的各结构体进行说明，但未示例的结构体也按与相同分类的结构体相同的方式来形成。
[0071]首先，如图3所示，准备SOI基板200。图3示出SOI基板200的剖视图。在图3中，以虚线示出预定在SOI基板200上形成的镜器件100的各结构体，并对以虚线示出的各结构体标注了影线。如上所述，SOI基板200是由硅形成的第一硅层210、由Si02(二氧化硅)形成的氧化膜层220、以及由硅形成的第二硅层230按第一硅层210、氧化膜层220、第二硅层230的顺序层叠起来而构成的。SOI基板200是基板的一个例子。第一硅层210是第一层的一个例子，第二硅层230是第二层的一个例子，氧化膜层220是第三层的一个例子。
[0072]接着，从第一硅层210侧对SOI基板200进行蚀刻(第一蚀刻工序)。在该工序中，对第一硅层210中的至少与内侧固定梳齿电极61相对置的部分进行蚀刻来除去该部分。而且，对第一硅层210中的基部1、反射镜2、第二铰链5和内侧可动梳齿电极62以外的部分进行蚀刻，以形成构成第一硅层210中的基部1、反射镜2、第二铰链5和内侧可动梳齿电极62的部分。
[0073]详细而言，首先，如图4所示，通过热氧化在SOI基板200的两面上形成S12膜260。
[0074]接着，形成镜本体21的背面上的镜面层23。
[0075]首先，如图5(A)所示，在SOI基板200的第一硅层210侧的S12膜260上形成第一抗蚀剂掩模310，并对S12膜260的一部分进行蚀刻。第一抗蚀剂掩模310使第一硅层210中的构成反射镜2的部分上的S12膜260露出。使用该第一抗蚀剂掩模310来对S12膜260进行蚀亥Ij，从而除去与第一硅层210中的构成反射镜2的部分对应的S12膜260。
[0076]接着，将第一抗蚀剂掩模310剥离，并如图5(B)所示，通过溅射在第一硅层210中的构成反射镜2的部分的表面上形成Au/Ti/Pt膜610。此时，在S12膜260的表面上也会形成Au/Ti/Pt膜610。
[0077]然后，在与第一硅层210中的构成反射镜2的部分对应的Au/Ti/Pt膜610上形成抗蚀剂掩模(省略图示)，并通过蚀刻来除去S12膜2