专利名称：真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空镀膜技术领域，涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。
背景技术：
真空镀膜的器件(或衬底)都要求表面镀层的膜厚均匀、致密，镀制出的薄膜没有针孔，为了达到这一目标，就不得不在真空室内加上一些转动(包括自转、公转)装置，以及加热、烘烤、测温、测膜厚、蒸发材料用的蒸发舟(或电子枪)手动档板和轰击装置等。这就需要有观察窗加以观察真空室内的各种装置及蒸发源的情况。因为在真空室内蒸发材料时，被蒸发材料是以蒸气的形式存在于整个真空室内，由于真空室的密封壁的温度与观察窗的温度有差异，这样一来，观察窗上的玻璃就非常容易被沉积的蒸发物覆盖而不利于观察。
现有的观察窗如图1所示，其中包括密封壁1、密封玻璃2、密封法兰3、过渡短径4、玻璃5、卡簧6。观察窗大多是在真空室密封壁1上的适当位置开一圆形的孔，并且在密封壁1上安置过渡短径4，过渡短径4与密封法兰3连接，密封法兰3将适当大小和厚度的密封玻璃2密封，在密封玻璃2内表面安置玻璃5，玻璃5的内表面位于密封壁1的内侧，卡簧6位于过渡短径4这样一来就形成一个观察窗。其使用方法是在将要蒸发的材料放置在蒸发舟8上之后，抽真空之前，在观察窗内放置适当大小的玻璃5然后用卡簧6将其固定在过渡短径4内，一切准备好后封真空室抽真空进行蒸发。当镀制较厚、不透光材料的膜层时，观察窗上的玻璃就非常容易被沉积的蒸发物覆盖而不利于观察，致使整个镀膜工作的情况无法观察，镀膜的质量无法控制，使蒸发器件的成品率低。
本实用新型的详细内容为了解决镀制较厚、不透光材料时，在观察窗上不易看到整个镀膜工作的蒸发情况且无法控制镀膜质量，使蒸发器件的成品率低等问题，本实用新型的目的是将要提供一种能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动档板。
本实用新型包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，在基板10本体的中心线上制备观察孔11和观察孔16，在基板10的本体上固定安置有转轮12、转动轮13、弹簧14和磁铁15，磁铁1 5位于基板10边缘，观察孔11位于基板10的边缘，观察孔16位于观察孔11的内侧并且偏置于基板10的中心，转轮12和转动轮13均匀分布安置在基板10上，在转轮12与转动轮13之间或在转轮12之间安置观察孔11，弹簧14置于转动轮13的转动轴上。
本实用新型工作时，用一块和磁铁15极性相反的磁铁隔着密封玻璃2沿着密封法兰3的内侧环形旋转，调节弹簧14的压力，使其基板10能转动自如，这时就可以在密封的真空室抽真空进行试验，当蒸发物把观察孔11和观察孔16遮盖观察不到真空室的内部情况时，利用磁铁15的磁力穿过玻璃窗，把基板10转一个小的角度，使玻璃5上露出没有沉积过蒸发物的部分就可以看到真空室内的情况了。重复转动基板10，则重复使玻璃5上露出没有沉积过蒸发物的部分。因此，在一次镀膜中可以多次看到真空室内蒸发物的情况。
本实用新型的积极效果是，它解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况，而且每蒸发一次就得更换一次玻璃不能有疏漏，一旦出现遗忘，就得重新操作。而使用本实用新型的转动档板，就能解决频繁更换玻璃的问题，能够在操作设备时，更方便看清真空室内的情况，从而能提高蒸发器件的成品率。对于真空室内的蒸发物观看的比较清楚。真空设备不作任何改动，并且能够很好的、至始至终的观察到真空室内的操作及蒸发材料的蒸发情况。本实用新型解决了镀制较厚、不透光材料时，在观察窗上不易看到整个镀膜工作的蒸发情况且无法控制镀膜质量等问题，本实用新型提供一种结构简单、操作方便、蒸发器件的成品率高、能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动档板。
图1是背景技术真空室观察窗的示意图图2是本实用新型一个实施例的主视图图3是图2的侧视图具体实施方式
如图2图3所示包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁1 5和观察孔16，基板10是采用磷铜片加工，它的直径为93毫米，还可采用不导磁的金属或聚四氟乙烯材料制成。观察孔11和观察孔16可采用两个腰形的孔，尺寸为10×25毫米。两个转轮12和转动轮13是采用8毫米轴承制作。转动轮13包括弹簧14、支撑板和转动轴。磁铁15采用尺寸可小些能转动转动挡板即可。
首先要按着图2的形状，结合过渡短径4的内径做出实物，然后把它放在玻璃5和卡簧6的中间，为了能有较大的转动空间，卡簧6要往真空室内的方向移动。基板10采用的圆形不导磁材料的大小要比过渡短径4的内壁直径略小，如图2所示，在制作时，基板10一定要比过渡短径的内径小2-3毫米，这样一来，就能保证基板10在过渡短径4内转动自如。另外还要在基板10上以圆心点沿直径a′一a的中心线作出两个腰形的观察孔11和观察孔16，选择观察孔11和观察孔16这样可以增加视角。采用两个固定的转轮12和一个转动轮13使得结构简单。再加带有强磁场的磁铁15，为了能使基板10在过渡短径4内很好转动而又不能脱落下来，活动的转动轮13在轴上加有弹簧14。
权利要求1.真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板，其特征在于包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，在基板10本体的中心线上制备观察孔11和观察孔16，在基板10的本体上固定安置有转轮12、转动轮13、弹簧14和磁铁15，磁铁15位于基板10边缘，观察孔11位于基板10的边缘，观察孔16位于观察孔11的内侧并且偏置于基板10的中心，转轮12和转动轮13均匀分布安置在基板10上，在转轮12与转动轮13之间或在转轮12之间安置观察孔11，弹簧14置于转动轮13的转动轴上。
专利摘要本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况。而使用本实用新型的转动档板，就能解决频繁更换玻璃的问题，能够在操作设备时，更方便看清真空室内的情况，从而能提高蒸发器件的成品率。本实用新型提供一种结构简单、操作方便、蒸发器件的成品率高、能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动档板。
文档编号C23C14/52GK2592656SQ03210900
公开日2003年12月17日 申请日期2003年1月8日 优先权日2003年1月8日
发明者宋航, 李志明 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所