专利名称：群集式连续镀膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种连续镀膜装置，特别是涉及一种群集式连续镀膜装置。
背景技术：
对于3C产品，例如移动电话或笔记型计算机等，若是选择用塑胶材质来模制其 外部机壳，则通常需要在机壳表面再施以金属镀膜来加强其耐刮、抗蚀的能力或者来提 升外观质感的装饰性。在塑胶机壳上金属化还有一个主要目的在于防止电磁辐射的干扰 (Electromagnetic Interference, EMI)，以往在镀膜结构上，多层金属膜将比单层金属膜具
有较佳的电磁遮罩效果。图1显示一种现有的连续式(In-line)多腔(Multi-chambers)镀膜装置9，其可在
一片待镀基板10上溅镀多层薄膜，该镀膜装置9包括一个进件腔座91、一个进件缓冲腔 座92、四个可设置不同靶材而溅镀出不同薄膜材质的制程腔座931至934、一个出件缓冲 腔座94以及一个出件腔座95。在图1中，上述各腔座由左至右依序组合排列成一直列 状。所述制程腔座931至934提供真空溅镀的功能，因此需要经常保持在高真空的状态 下。而该进件缓冲腔座92及该出件缓冲腔座94内可实施抽气(pumping)与充气(venting) 的反复程序，使其内部压力在低真空与高真空间变化。另外，该进件腔座91与该出件腔 座95也可以进行抽气与充气的程序，使其内部压力在常压与低真空间变化。镀膜进行时，第一片待镀基板10在常压的状态下由该进件腔座91送入，然后在 该进件腔座91中等待抽气至预定的低真空度后，再传送进入该进件缓冲腔座92。在该 进件缓冲腔座92抽气并达到高真空状态的同时，第二片待镀基板10送入该进件腔座91 中，而第一片待镀基板10传送进入位于最左侧的制程腔座931中。其中，位于图1左侧 的前两个制程腔座931、932分别用来溅镀相同的金属材质以形成第一层镀层，接续其后 的另一个制程腔座933用来溅镀第二层镀层，而位于最右侧的制程腔座934用来溅镀第三 层镀层，如此，便完成多层叠膜的结构。之后，待镀基板10再依序由该出件缓冲腔座94 及出件腔座95送出。而前述的第二片待镀基板10也依循第一片待镀基板10的方式依序 前进，因此，可以不断地传送新的待镀基板10以达到连续式镀膜工作。要说明的是，用于抗电磁波的多层膜结构中，位于最下方与待镀基板10相结合 的第一层镀膜的厚度通常是最厚的，因此，所需的溅镀时间也最久。在制程最佳化上， 为了提升单位时间可完成镀膜的件数，溅镀第一层镀膜的工作通常分配给前面两个制程 腔座931、932来完成。由上述说明可知，以往直线式镀膜装置9在设计上虽然可连续进件，但当前一 片待镀基板10在其中一个腔座进行抽/充气或镀膜的工作时，后一片待镀基板10只能在 其后相邻的一个腔座中陆续等待，因此，产线的运作速度、产能的提升方面有很大改善 的空间。此外，腔座以直线式排列也会产生占地空间较大的缺点。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种能改善制程流畅度，并提升产线运作速度的群 集式连续镀膜装置。本实用新型的群集式连续镀膜装置用来输送至少一片基板沿着一个产线方向前 进，并在该基板上形成多层镀膜，该群集式连续镀膜装置包括一个进件腔座、一个出件 腔座、一个转运腔座、一个第一溅镀单元、一个第二溅镀单元以及一个动力输送单元。 该进件腔座包括一个供该基板进入的进料端以及一个与该进料端间隔的起始端；该出件 腔座与该进件腔座相间隔地位于该产线方向的相反侧，并具有一个终止端以及一个出料 端；该转运腔座位于该进件腔座的起始端并包括一个连续输出端以及至少两个转运输出 端；该第一溅镀单元包括至少两个分别与该转运腔座的其中一个转运输出端连接的第一 溅镀腔座；该第二溅镀单元连接于该转运腔座的连续输出端与该出件腔座的终止端间； 该动力输送单元用以将该基板依序于进件腔座、转运腔座、第一溅镀单元、第二溅镀单 元及出件腔座间传送。本实用新型的群集式连续镀膜装置还包括至少一个用以装载该基板且被动力输 送单元驱动而依序于进件腔座、转运腔座、第一溅镀单元、第二溅镀单元及出件腔座间 传送的载具。本实用新型的群集式连续镀膜装置的动力输送单元包括一个设置在该转运腔座 内的旋转辊轮件，该旋转辊轮件具有一个基座、一个安装于该基座上并用以让载具置放 或移动的辊轮组以及一个连接该基座并提供其旋转动力的马达。本实用新型的群集式连续镀膜装置的第一溅镀单元包括二个第一溅镀腔座，所 述第一溅镀腔座分别并接于转运腔座的两相反侧的转运输出端。本实用新型的群集式连续镀膜装置的第二溅镀单元包括一个并接于转运腔座的 连续输出端的第二溅镀腔座以及一个设置介于第二溅镀腔座与出件腔座间的第三溅镀腔 座，进件腔座、转运腔座、第二溅镀腔座、第三溅镀腔座及出件腔座彼此并接成直列状。本实用新型的有益的效果在于借所述动力输送单元，可传送至少一片以上的 基板由转运腔座进入第一溅镀单元内同时进行溅镀工作，如此，可达到减少基板闲置时 间、提升整体产能的功效。
图1是一配置示意图，显示一种现有连续式镀膜装置；图2是一俯视示意图，显示本实用新型的群集式连续镀膜装置的第一较佳实施 例；图3是图2的一局部立体示意图，主要显示一载具于一旋转辊轮件上输送的态 样；及图4是类似图2的示意图，显示本实用新型的群集式连续镀膜装置的第二较佳实 施例。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。[0019]参阅图2、图3，本实用新型的群集式连续镀膜装置的第一较佳实施例除了可在 一片基板1上叠构形成三层薄膜，并可陆续输送下一片基板1以进行连续式的镀膜工作， 而在每次的输送过程中通过传输一个可承载个别基板1的载具11。所述群集式连续镀膜 装置包括一个进件腔座3、一个出件腔座6、一个转运腔座2、一个第一溅镀单元4、一 个第二溅镀单元5以及一个动力输送单元7。在本实施例中，该镀膜装置主要用以溅镀具 备抗电磁干扰功效的薄膜，另外，该基板1是非导电材质，例如塑胶或玻璃。定义一个 由上游指向下游的产线方向8(以图2所示的方向为基准)，在图2中，左侧为上游处， 右侧为下游处。另外要说明的是，以下将要描述的各腔座具有一般周知的真空腔室，因 此，可反复进行抽气或充气的程序并均安装有抽气泵，及可连通或分隔各腔室以保持气 密性的阀门等元件，但前述可借以达到高真空度或低真空度的元件，和本实用新型的创 作重点无关，不再详述。本实施例的进件腔座3包括一个可提供该基板1进入的进料端31以及一个与该 进料端31间隔的起始端32，该进件腔座3内部的压力可于常压(1大气压，latm)与低真 空间变化。 所述转运腔座2并接于进件腔座3的起始端32，且其内的压力可在低真空与高 真空间变化，在本实施例中，该转运腔座2包括一个位于该产线方向8上的连续输出端 21以及两个位于产线方向8两相反侧的转运输出端22。该第一溅镀单元4包括两个分别 并接于转运腔座2的转运输出端22的第一溅镀腔座41。所述第一溅镀腔座41用来溅镀 第一层导电薄膜或介面层材料，其材料是例如铜或钛，因此需要经常保持在高真空状态 下，以维护制程的洁净度与稳定性。该第二溅镀单元5包括一个并接于转运腔座2的连 续输出端21的第二溅镀腔座51及一个和第二溅镀腔座51并接的第三溅镀腔座52。所述 第二溅镀腔座51也维持在高真空下并用来溅镀第二层导电薄膜，其材料例如银。另外， 该第三溅镀腔座52用以溅镀第三层薄膜，其材料主要提供防锈的功效，例如镍或不锈钢 (SUS-304)。该出件腔座6与该进件腔座3相间隔地位于该产线方向8的相反侧，并具有 一个并接于第三溅镀腔座52的终止端61以及一个出料端62。在本实施例中，进件腔座 3、转运腔座2、第二溅镀腔座51、第三溅镀腔座52及出件腔座6沿着产线方向8依序并 接成直列状。所述动力输送单元7包括一个设置在该转运腔座2内的旋转辊轮件71及多个分 别设置在进件腔座3、第一溅镀腔座41、第二溅镀腔座51、第三溅镀腔座52以及出件腔 座6中的输送辊轮件72。该旋转辊轮件71具有一个基座711、一个安装在该基座711上 并用以让载具11置放或移动的辊轮组712，以及一个连接该基座711并提供其旋转动力 的步进马达713。所述步进马达713可经由接收控制系统(图未示)的指令而提供驱动 动力，使该基座711绕一支轴杆714依预设的旋转角度作水平式转动，如此，该旋转辊轮 件71可将载具11转向并输送进入其两侧的第一溅镀腔座41内。所述旋转辊轮件71的 辊轮组712及输送辊轮件72可通过滚动以驱动载具11往产线方向8前进，因此均包括可 达到前述功效的相关元件，例如滚轮、轮轴、皮带或马达等。然而前述元件常见于一般 驱动机构的领域中，不再详述。当本实施例的镀膜装置在使用时，该基板1放置在载具11上，并连同该载具11 一片接着一片传送进入进件腔座3内。首先，第一片基板1进入进件腔座3前，进件腔座3需要先充气到与外界环境相同的常压状态才会开启，并让第一片基板1连同载具11 放置于进件腔座3内的输送辊轮件72而被带动往产线方向8前进。接着，进件腔座3中 需要进行抽气直到内部气压与转运腔座2内相等后，两者才可连通，并使该载具11被输 送辊轮件72驱动向前，而被该转运腔座2的旋转辊轮件71所承接。接着，该转运腔座2抽气到和两侧的第一溅镀腔座41相同的高真空状态后，该 旋转辊轮件71会依控制而绕该轴杆714旋转，使载具11转向并被输送进入其中一个第一 溅镀腔座41内开始第一层薄膜溅镀。此时，第二片基板1也遵循前述第一片基板1的方 式依序由进件腔座3、转运腔座2，并进入另一侧的第一溅镀腔座41内进行第一层薄膜的 溅镀。当任何一个第一溅镀腔座41完成第一层薄膜的溅镀后，并经系统判断第二溅镀 腔座51在预备承接状态时，所述旋转辊轮件71再转向并承接由第一溅镀腔座41的输送 辊轮件72驱动回来的载具11，同时传送进入右侧的第二溅镀腔座51、第三溅镀腔座52 内、依序完成第二层薄膜、第三层薄膜的溅镀。最后，第一片基板1连同载具11再由该 出件腔座6内的输送辊轮件72驱动送出，如此，便完成多层镀膜的工作。而前述的第二 片基板1也是依循第一片基板1的方式接续进行镀膜与输送的步骤。因此，就可以不断 地传送新的基板1以达到连续式镀膜工作。参阅图4，本实用新型的第二较佳实施例与所述第一较佳实施例大致相同，不同 的地方在于该转运腔座2从俯视的角度为概呈八边形的态样，故包括四个位于斜对角 方向的转运输出端22，而该第一溅镀单元4包括四个相对应地分别并接于所述转运输出 端22的第一溅镀腔座41。所述旋转辊轮件71也可以依设定作预设旋转角度的水平转动， 并且将载具11依序传送进入各个第一溅镀腔座41内，如此，可同时溅镀第一层薄膜的腔 座数目便增加，而更可提升镀膜的产能。综上所述，利用位于转运腔座2内的旋转辊轮件71，可传送基板1由转运腔座2 进入位于其周侧的第一溅镀腔座41内同时进行溅镀工作，如此，可达到减少下一片基板 1于产线方向8的下游处等待的时间，并优化整体产能的运作效率。此外，将腔座由直列 状的排列方式改为朝产线方向8两侧扩展的群集状配置方式，也可以让业者在厂房的空 间运作上有更多的弹性。
权利要求1.一种群集式连续镀膜装置，用来输送至少一片基板以使所述基板沿着一个产线方 向前进，并在所述基板上成型多层镀膜，该群集式连续镀膜装置包括一个进件腔座、 一个与该进件腔座相间隔地位于该产线方向的相反侧的出件腔座、一个第一溅镀单元、 一个第二溅镀单元以及一个使所述基板朝该产线方向传送的动力输送单元，该进件腔座 包括一个供所述基板进入的进料端以及一个与该进料端间隔的起始端；而该出件腔座具 有一个终止端以及一个出料端，该第一溅镀单元包括至少两个第一溅镀腔座；其特征在 于，该群集式连续镀膜装置还包括一个位于该进件腔座的起始端及该第二溅镀单元间的 转运腔座，该转运腔座包括一个和该第二溅镀单元连接的连续输出端以及至少两个分别 和其中一个第一溅镀腔座连接的转运输出端。
2.根据权利要求1所述的群集式连续镀膜装置，其特征在于，该群集式连续镀膜装置 还包括至少一个用以装载所述基板且被该动力输送单元驱动而依序进入该进件腔座、该 转运腔座、该第一溅镀单元、该第二溅镀单元及该出件腔座的载具。
3.根据权利要求2所述的群集式连续镀膜装置，其特征在于，该动力输送单元包括一 组设置在该转运腔座内的旋转辊轮件，该旋转辊轮件具有一个基座、一个安装于该基座 上并用以让所述载具置放或移动的辊轮组以及一个连接该基座并为该基座提供旋转动力 的马达。
4.根据权利要求1所述的群集式连续镀膜装置，其特征在于，该第一溅镀单元包括二 个第一溅镀腔座，所述第一溅镀腔座分别并接于该转运腔座的两相反侧的转运输出端。
5.根据权利要求1所述的群集式连续镀膜装置，其特征在于，该第二溅镀单元包括一 个并接于该转运腔座的连续输出端的第二溅镀腔座以及一个设置在该第二溅镀腔座与该 出件腔座间的第三溅镀腔座，该进件腔座、该转运腔座、该第二溅镀腔座、该第三溅镀 腔座及该出件腔座彼此并接成直列状。
专利摘要一种群集式连续镀膜装置，包括一个进件腔座、一个出件腔座、一个转运腔座、一个第一溅镀单元、一个第二溅镀单元以及一个动力输送单元。该进件腔座与该出件腔座彼此相间隔地设置；该转运腔座与该进件腔座连接，并包括一个连续输出端及至少两个转运输出端；该第一溅镀单元包括至少两个分别和该转运腔座的其中一个转运输出端连接的第一溅镀腔座；而该第二溅镀单元连接在该转运腔座的连续输出端与该出件腔座间；该动力输送单元将基板依序传送到该进件腔座、该转运腔座、该第一溅镀单元、该第二溅镀单元及该出件腔座，以便在所述基板上进行溅镀工作。如此，可减少基板闲置时间且有效提升产能。
文档编号C23C14/56GK201793729SQ20102055440
公开日2011年4月13日 申请日期2010年9月28日 优先权日2010年9月28日
发明者陈瑜尧 申请人:灿元科技股份有限公司