真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备的制作方法

专利名称：真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种机械设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备。
背景技术：
真空镀膜是在真空条件下，对光学零件镀膜的工艺过程。在真空镀膜设备中，特别是电子束蒸发设备，是以电子枪作为蒸发源。该蒸发源在真空室内工作时，工作电压将达到上千伏甚至上万伏。为了使设备在正常使用中，确保操作人员的安全，通常要在设备上安装有真空室门保护开关机构。只有当真空室门确实关好的前提下，电子枪高压才能被加上。否则，电子枪不能工作。现有的真空室门保护开关装置，通常采用机械式的行程开关控制，当真空室门关好后，触头顶住行程开关；行程开关处于接通的状态。可以打开电子枪。当真空室门打开时，触头与行程开关分离，行程开关处于断开状态，不能打开电子枪。由于采用的是机械式的行程开关，随着真空室门的频繁开、关，每次靠触头与开关直接接触，易造成开关损坏，降低了整个设备的安全性、可靠性。有时为了提高其安全性，往往在真空室门上安装两套相同的机构。使设备成本增加。
发明内容本实用新型的目的是提供一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备，使用寿命长，安全性好、可靠性高。本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的—种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，包括支架2、光电开关4、移动触杆 5、定位套座9与复位机构；定位套座9固定于真空室体法兰10的后面，移动触杆5设于定位套座9中，真空室体法兰10上设有通孔12 ；移动触杆5从定位套座9前端伸出至通孔12中；移动触杆5后端设有触头13，光电开关4通过支架2固定于真空室体法兰10上；关上真空室门，真空室门法兰11推动移动触杆5后移，触头13位于光电开关4的光感槽14中；打开真空室门，移动触杆5通过复位机构复位。所述的复位机构包括压缩弹簧8与调节螺母6，压缩弹簧8 一端与移动触杆5的轴肩15接触，另一端与由定位套座9后端旋入的调节螺母6前端接触。所述的调节螺母6与压缩弹簧8间还设有垫片7。一种真空镀膜设备，包括真空室，且所述的门采用上述的保护开关装置。由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型实施例提供的一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备，使用寿命长，安全性好、可靠性高。
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。图1为本发明实施例提供的真空镀膜设备真空室门的保护开关装置结构示意图 图2为本发明实施例提供的真空镀膜设备真空室门的保护开关装置结构示意图
具体实施方式
下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。下面将结合附图对本发明实施例作进一步地详细描述。如图1与图2所示，一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，包括支架2、光电开关4、移动触杆5、定位套座9与复位机构；定位套座9通过两个定位套座固定螺钉16固定于真空室体法兰10的后面，移动触杆5设于定位套座9中，真空室体法兰10上设有通孔12 ；移动触杆5从定位套座9前端伸出至通孔12中；移动触杆5可以在定位套座9中左右移动。移动触杆5后端设有触头13，光电开关4通过支架2固定于真空室体法兰10上； 具体是光电开关4通过光电开关固定螺钉3固定于支架2上，支架2通过两个支架固定螺钉1固定于法兰10上。关上真空室门，真空室门的真空室门法兰11外表面给移动触杆5的前端一个外力，推动移动触杆5后移，移动触杆5的前端缩回真空室体法兰11的通孔12中，触头13位于光电开关4的光感槽14中；这时光电开关4给出接通信号，可以打开电子枪。打开真空室门，移动触杆5通过复位机构复位。移动触杆5的前端伸出真空室体法兰10的表面，触头13离开光电开关4的光感槽14 ；这时光电开关4给出断开信号，不能打开电子枪。所述的复位机构包括压缩弹簧8与调节螺母6，压缩弹簧8 一端与移动触杆5的轴肩15接触，另一端与由定位套座9后端旋入的调节螺母6前端接触。旋转调节螺母6可以控制压缩弹簧8的恢复力。另外，所述的调节螺母6与压缩弹簧8间还设有垫片7。防止旋转调节螺母6造成卡住压缩弹簧8。本实用新型还提供了一种真空镀膜设备，包括真空室，且所述的门采用上述的保护开关装置。本实用新型的真空镀膜设备真空室门保护开关装置的主要特点在于1、采用的是光电开关4与移动触杆5的非接触式结构，大大延长了光电开关4的使用寿命，提高整个设备的安全性与可靠性；2、无须安装两套作为双保险配置，有效地节约了成本；3、安装在真空室体法兰10的后面，从真空室前面看过去，使整个设备外形整洁、 美观。提升了设备的美感与整体感。以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
权利要求1.一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，其特征在于，包括支架O)、光电开关G)、移动触杆(5)、定位套座(9)与复位机构；定位套座(9)固定于真空室体法兰(10)的后面，移动触杆(5)设于定位套座(9)中， 真空室体法兰(10)上设有通孔(12)；移动触杆(5)从定位套座(9)前端伸出至通孔(12) 中；移动触杆(5)后端设有触头(13)，光电开关(4)通过支架O)固定于真空室体法兰 (10)上；关上真空室门，真空室门法兰(11)推动移动触杆(5)后移，触头(13)位于光电开关 (4)的光感槽(14)中；打开真空室门，移动触杆(5)通过复位机构复位。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，其特征在于，所述的复位机构包括压缩弹簧(8)与调节螺母(6)，压缩弹簧(8) —端与移动触杆(5)的轴肩 (15)接触，另一端与由定位套座(9)后端旋入的调节螺母(6)前端接触。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，其特征在于，所述的调节螺母(6)与压缩弹簧(8)间还设有垫片(7)。
4.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括真空室，且所述的门采用权利要求1至3任意一项所述的保护开关装置。
专利摘要本实用新型提供一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备，包括支架(2)、光电开关(4)、移动触杆(5)、定位套座(9)与复位机构；定位套座(9)固定于真空室体法兰(10)的后面，移动触杆(5)设于定位套座(9)前端伸出设于真空室体法兰(10)上的通孔(12)；移动触杆(5)后端设有触头(13)，光电开关(4)通过支架(2)固定于真空室体法兰(10)上；关上真空室门，真空室门法兰(11)推动移动触杆(5)后移，触头(13)位于光电开关(4)的光感槽(14)中；打开真空室门，移动触杆(5)通过复位机构复位。使用寿命长，安全性好、可靠性高。
文档编号C23C14/30GK202126941SQ201120234948
公开日2012年1月25日 申请日期2011年7月5日 优先权日2011年7月5日
发明者刘洁雅 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司