立式真空镀膜系统的制作方法
【专利摘要】一种立式真空镀膜系统包括收容室、主管道、多个子管道及托盘。收容室开设有用于收容玻璃片的收容腔，收容室的底部侧壁上开设有多个抽气孔。多个子管道的一端分别与多个抽气孔连通。主管道包括用于与真空泵连通的第一主管道及第二主管道，第一主管道与第二主管道呈T形连接，第一主管道远离真空泵的一端与第二主管道的中部连通，第二主管道的一端与多个子管道的另一端连通。托盘设于第二主管道的另一端，托盘密封第二主管道的另一端。上述立式真空镀膜系统设计有多个抽气孔，多个抽气孔可将抽气气流进行分流。可以使玻璃保持相对平衡，能够防止玻璃发生较大的晃动，防止玻璃发生裂纹甚至破碎。
【专利说明】立式真空镀膜系统
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种真空镀膜装置，特别是涉及立式真空镀膜系统。
【背景技术】
[0002] 目前，立式真空镀膜系统的进片室、出片室在真空泵组抽气时，气体迅速集中从抽 气孔抽出，进片室、出片室的腔体内的玻璃很容易晃动，造成玻璃裂纹甚至整片掉落，造成 玻璃损坏，影响玻璃的质量。 实用新型内容
[0003] 基于此，有必要针对玻璃易损的问题，提供一种能够平稳抽气的立式真空镀膜系 统。
[0004] 一种立式真空镀膜系统，包括：
[0005] 收容室，开设有用于收容玻璃片的收容腔，所述收容室的底部侧壁上开设有多个 抽气孔；
[0006] 多个子管道，多个所述子管道的一端分别与多个所述抽气孔连通；
[0007] 主管道，包括用于与真空泵连通的第一主管道及第二主管道，所述第一主管道与 所述第二主管道呈T形连接，所述第一主管道远离所述真空泵的一端与第二主管道的中部 连通，所述第二主管道的一端与多个所述子管道的另一端连通；及
[0008] 托盘，设于所述第二主管道的另一端，所述托盘密封所述第二主管道的另一端。
[0009] 在其中一个实施例中，所述抽气孔为三个。
[0010] 在其中一个实施例中，多个所述抽气孔并列、均匀分布。
[0011] 在其中一个实施例中，所述托盘与所述第二主管道的另一端可拆卸连接。
[0012] 在其中一个实施例中，所述主管道的管径大于所述抽气孔的孔径。
[0013] 在其中一个实施例中，还包括过滤网，所述过滤网盖设于所述抽气孔上方。
[0014] 在其中一个实施例中，还包括密封垫，所述密封垫设于所述托盘与所述第二主管 道的侧壁之间。
[0015] 上述立式真空镀膜系统设计有多个抽气孔，多个抽气孔可将抽气气流进行分流。 收容于收容室内的玻璃受到多股气流的冲击，可以保持相对平衡，能够防止玻璃发生较大 的晃动，防止玻璃发生裂纹甚至破碎，因此，可以防止玻璃的制造过程中，发生损坏，影响玻 璃的质量。
[0016] 每个抽气孔的抽气速率相较于传统的一个抽气孔的抽气速率大大降低，从而减小 了破玻璃片被堵塞在抽气孔的概率，减少了抽气孔受堵的几率。
[0017] 并且，托盘与主管道可拆卸连接，当收容室内的粉尘、碎屑等随空气抽到主管道内 的时候，气体由第二主管道进入第一主管道的时候，由于需要发生拐弯，则气流的流速发生 变化。因此，一些粉尘、碎屑由于重力作用会落入到托盘上。托盘可以收容粉尘、碎屑等。防 止这些粉尘或碎屑进入到真空泵内，影响真空泵的工作。拆卸托盘可将托盘内的粉尘或碎 屑进行清理，保持整个主管道的清洁。
【专利附图】
【附图说明】
[0018] 图1为本实施方式的立式真空镀膜系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0019] 为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描 述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式 来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用 新型的公开内容理解的更加透彻全面。
[0020] 需要说明的是，当元件被称为"固定于"另一个元件，它可以直接在另一个元件上 或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是"连接"另一个元件，它可以是直接连接 到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语"垂直的"、"水平的"、"左"、 "右"以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0021] 除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领 域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为 了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语"及/或" 包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0022] 请参阅图1，本实施方式的立式真空镀膜系统100包括收容室110、子管道120、主 管道130、托盘（图未示）、过滤网（图未示）及密封垫（图未示）。
[0023] 收容室110开设有用于收容玻璃片的收容腔111。收容室110的底部侧壁上开设 有多个抽气孔112。
[0024] 可以理解，收容室110为进片室或出片室。进片室的底部侧壁上开设有多个抽气 孔112。或者，出片室的底部侧壁上开设有多个抽气孔112。或者，进片室与出片室的底部 侧壁都上开设有多个抽气孔112。
[0025] 多个子管道120的一端分别与多个抽气孔112连通。抽气孔112为三个。多个抽 气孔112并列、均勻分布。
[0026] 主管道130包括第一主管道131及第二主管道132。第一主管道131与第二主管 道132呈T形连接，第一主管道131的一端用于与真空泵20连通，另一端与第二主管道132 的中部连通，第二主管道132的一端与多个子管道120的另一端连通。
[0027] 托盘设于第二主管道132的另一端。托盘密封第二主管道132的另一端。
[0028] 密封垫设于托盘与第二主管道132的侧壁之间。密封垫增强第二主管道132的密 封效果。
[0029] 托盘与第二主管道132的另一端可拆卸连接。当真空泵20在抽气时候，由于气体 迅速集中到抽气孔112处，很容易导致收容室110的玻璃晃动，造成玻璃裂纹当降低了每个 抽气孔112的抽气速率，从而减少了碎玻璃片被吸到过滤网上，减少了过滤网受堵的几率。
[0030] 主管道的管径大于抽气孔112的孔径。
[0031] 过滤网盖设于抽气孔112上方。一定程度上防止收容室110内的粉尘会碎屑进入 到主管道130内。
[0032] 上述立式真空镀膜系统100设计有多个抽气孔112,多个抽气孔112可将抽气气流 进行分流。收容于收容室110内的玻璃受到多股气流的冲击，可以保持相对平衡，能够防止 玻璃发生较大的晃动，防止玻璃发生裂纹甚至破碎，因此，可以防止玻璃在制造过程中，发 生损坏，影响玻璃的质量。
[0033] 每个抽气孔112的抽气速率相较于传统的一个抽气孔112的抽气速率大大降低， 从而减小了破玻璃片被堵塞在抽气孔112的概率，减少了抽气孔112受堵的几率。
[0034] 并且，托盘与主管道130可拆卸连接，当收容室110内的粉尘、碎屑等随空气抽到 主管道130内的时候，气体由第二主管道132进入第一主管道131的时候，由于需要发生拐 弯，则气流的流速发生变化。因此，一些粉尘、碎屑由于重力作用会落入到托盘上。托盘可 以收容粉尘、碎屑等。并且，当关闭真空泵20的时候，主管道130内仍存在一些气体，气流 内混有饿粉尘或碎屑会落在托盘上。防止这些粉尘或碎屑进入到真空泵20内，影响真空泵 20的工作。拆卸托盘可将托盘内的粉尘或碎屑进行清理，保持整个主管道130的清洁。
[0035] 以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通 技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属 于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1. 一种立式真空镀膜系统，其特征在于，包括： 收容室，开设有用于收容玻璃片的收容腔，所述收容室的底部侧壁上开设有多个抽气 孔； 多个子管道，多个所述子管道的一端分别与多个所述抽气孔连通； 主管道，包括用于与真空泵连通的第一主管道及第二主管道，所述第一主管道与所述 第二主管道呈T形连接，所述第一主管道远离所述真空泵的一端与第二主管道的中部连 通，所述第二主管道的一端与多个所述子管道的另一端连通；及 托盘，设于所述第二主管道的另一端，所述托盘密封所述第二主管道的另一端。
2. 根据权利要求1所述的立式真空镀膜系统，其特征在于，所述抽气孔为三个。
3. 根据权利要求1所述的立式真空镀膜系统，其特征在于，多个所述抽气孔并列、均匀 分布。
4. 根据权利要求1所述的立式真空镀膜系统，其特征在于，所述托盘与所述第二主管 道的另一端可拆卸连接。
5. 根据权利要求1所述的立式真空镀膜系统，其特征在于，所述主管道的管径大于所 述抽气孔的孔径。
6. 根据权利要求1所述的立式真空镀膜系统，其特征在于，还包括过滤网，所述过滤网 盖设于所述抽气孔上方。
7. 根据权利要求1所述的立式真空镀膜系统，其特征在于，还包括密封垫，所述密封垫 设于所述托盘与所述第二主管道的侧壁之间。
【文档编号】C23C14/56GK203890435SQ201420233772
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年5月8日 优先权日:2014年5月8日
【发明者】张迅, 阳威, 欧阳小园, 易伟华 申请人:江西沃格光电股份有限公司