真空镀膜装置及真空双面镀膜装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种金属带材的真空镀膜装置和一种金属带材的真空双面镀膜装置，所述真空镀膜装置包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒(11)和输入夹送辊组(13)，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒(12)和输出夹送辊组(14)，所述金属带材(100)由所述输入夹送辊组(13)夹持并向前输送，该金属带材经由所述输入端辊筒以及所述输出端辊筒由所述输出夹送辊组夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。本实用新型的真空镀膜装置能够进行镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷。
【专利说明】真空镀膜装置及真空双面镀膜装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜领域，具体地，涉及一种金属带材的真空镀膜装置。此外，本实用新型还涉及一种金属带材的真空双面镀膜装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是在真空室内经加热源离析出来的靶材打到被镀物体的表面上的过程。
[0003]常见的金属带材的真空镀膜通常包括:大气环境中的放卷机放出的金属带材穿过数个水平布置的真空室(例如各级密封气锁、各真空预备室、各真空蒸发室等)串连组成的真空室串，并把锌、锌合金、不锈钢等材料镀在金属带材上，金属带材镀膜完成后，收卷在大气环境中的收卷机上。由于各真空室沿水平方向布置，并且金属带材水平穿过各真空室，同时真空室串又非常长(一般在30?80米)，为了保证真空室串中的金属带材处于同一水平面，真空室中设置有多组包括托辊和夹辊的夹紧滚筒组，以便夹紧定位金属带材。由于真空室中的各个夹紧滚筒组之间不可能调整到完全平行，导致金属带材经过各个夹紧滚筒组时，被托辊和夹辊之间的夹紧力压缩变形，从而经过真空室串后，金属带材出现各种缺陷(例如马刀弯、荷叶边等等)，降低金属带材真空镀膜的良品率。
[0004]有鉴于此，需要提供一种防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷的真空镀膜装置。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的是提供一种金属带材的真空镀膜装置，该真空镀膜装置能够进行镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷。
[0006]本实用新型的另一个目的是提供一种金属带材的真空双面镀膜装置，该真空双面镀膜装置能够进行双面镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷。
[0007]为了实现上述目的，本实用新型提供一种金属带材的真空镀膜装置，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒和输入夹送辊组，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒和输出夹送辊组，所述金属带材由所述输入夹送辊组夹持并向前输送，该金属带材经由所述输入端辊筒以及所述输出端辊筒由所述输出夹送辊组夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。
[0008]优选地，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材的悬垂高度的悬垂高度检测装置，所述悬垂高度检测装置位于所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间。
[0009]优选地，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材在其自身宽度方向上的位置偏移的偏移检测装置，所述偏移检测装置设置于所述真空镀膜室与所述输入端辊筒之间或者设置于所述真空镀膜室与所述输出端辊筒之间。
[0010]优选地，所述输出端辊筒能够绕预定枢转中心枢转，以调正所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材。
[0011]优选地，所述输出端辊筒包括彼此相对的第一辊轴端和第二辊轴端，所述第一辊轴端和所述第二辊轴端分别可枢转地安装，所述真空镀膜装置还包括用于顶推所述第二辊轴端绕所述第一辊轴端的枢转中心枢转的第一顶推机构。
[0012]优选地，所述真空镀膜室包括依次连接的多个真空室，各个所述真空室的端部形成有端盖板，所述端盖板中设有供所述金属带材穿过的通过孔；其中，所述真空镀膜装置还包括位于所述端盖板的一侧且以所述金属带材为界的下密封座和上密封座，所述下密封座中安装有下固定托辊，所述上密封座中安装有能够相对于所述下固定托辊上下浮动的上浮动辊，所述上浮动辊与所述下固定托辊联动转动，所述上浮动辊与所述上密封座之间形成有上浮动真空密封间隙，所述下固定托辊与所述下密封座之间形成有下真空密封间隙；所述真空镀膜装置还包括用于密封所述上浮动真空密封间隙的上柔性刮板以及用于密封所述下真空密封间隙的下柔性刮板，所述上柔性刮板的一端安装在所述上密封座上，且另一端抵靠于所述上浮动辊的外周面上，所述下柔性刮板的一端安装在所述下密封座，且另一端抵靠于所述下固定托辊的外周面上。
[0013]优选地，所述下固定托辊的外周面与所述金属带材相切。
[0014]优选地，所述真空镀膜装置还包括用于驱动所述上浮动辊上下浮动的驱动缸。
[0015]优选地，所述真空镀膜室包括用于进行镀膜的真空蒸发室以及设置于所述真空蒸发室的输入侧的并且用于预热活化所述金属带材的真空预热活化室。
[0016]优选地，所述真空镀膜室还包括分别设置于所述真空蒸发室的输入侧和输出侧的输入端转向室和输出端转向室，所述输入转向室中设置有与所述输入端棍筒平行的输入端转向棍筒，所述输出端转向室中设置有与所述输出端棍筒平行的输出端转向棍筒，所述金属带材经由所述输入端转向辊筒变向后进入所述真空蒸发室，并且经由所述输出端转向辊筒变向后输出，所述输入端转向棍筒与所述输出端转向棍筒之间的所述金属带材形成为悬链线状态。
[0017]优选地，所述真空镀膜室还包括设置于所述真空蒸发室的输出侧的真空冷却室，该真空冷却室中依次设置有多个冷却滚筒，所述金属带材部分地包覆于所述多个冷却滚筒的外周面。
[0018]优选地，在所述输出夹送辊组输出侧以及在所述输入夹送辊组输入侧，所述真空镀膜装置还包括用于储存所述金属带材的储带装置。
[0019]在上述金属带材的真空镀膜装置的技术方案基础之上，本实用新型还提供一种金属带材的真空双面镀膜装置，包括两组本实用新型的金属带材的真空镀膜装置，其中，所述两组真空镀膜装置包括依次连接的第一真空镀膜装置和第二真空镀膜装置，所述金属带材包括彼此相对的第一带面和第二带面，所述第一带面在所述第一真空镀膜装置中镀膜，所述第二带面在所述第二真空镀膜装置中镀膜。
[0020]优选地，所述真空双面镀膜装置还包括连接在所述第一真空镀膜装置的输出端与所述第二真空镀膜装置的输入端之间的真空连接室，所述第一真空镀膜装置的所述输出端辊筒和所述第二真空镀膜装置的所述输入端辊筒设置于真空连接室中。
[0021]本实用新型的金属带材的真空镀膜装置通过使金属带材由输入夹送辊组夹持并向前输送，经由输入端辊筒、真空镀膜室和输出端辊筒，最终由输出夹送辊组夹持并牵引向前，其中，金属带材在真空镀膜室进行真空镀膜加工，与此同时，通过输入夹送辊组和输出夹送辊组对金属带材的夹持阻尼和夹持牵引力，使得输入端辊筒与输出端辊筒之间的金属带材至少部分地形成为悬链线状态，从而避免金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷，进而提高金属带材真空镀膜的良品率。此外，本实用新型的真空双面镀膜装置能够进行双面镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷。
[0022]本实用新型的其它特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0024]图1是根据本实用新型的【具体实施方式】的金属带材的真空镀膜装置的结构示意图；
[0025]图2是图1中的悬垂高度检测装置的示意图；
[0026]图3是图1中的偏移检测装置的示意图；
[0027]图4是图1中的输出端辊筒的结构示意图；
[0028]图5是图4中的输出端辊筒的俯视图；
[0029]图6是图1中的真空室的局部示意图；
[0030]图7是图6中的真空室的剖视图；
[0031]图8是根据本实用新型的【具体实施方式】的包括真空预热活化室的真空镀膜装置的结构不意图；
[0032]图9是根据本实用新型的另一种实施方式的真空镀膜装置的结构示意图；
[0033]图10是根据本实用新型的【具体实施方式】的包括真空冷却室的真空镀膜装置的结构示意图；
[0034]图11是根据本实用新型的【具体实施方式】的储带装置的结构示意图；
[0035]图12是根据本实用新型的【具体实施方式】的金属带材的真空双面镀膜装置的结构示意图；
[0036]图13是根据本实用新型的另一种实施方式的金属带材的真空双面镀膜装置的结构示意图；
[0037]图14是图13中的输出端辊筒的结构示意图；
[0038]图15是图14中的输出端辊筒的俯视图。
[0039]附图标记说明
[0040]5a、上柔性刮板5b、下柔性刮板
[0041]6、偏移检测装置8a、输入端转向棍筒
[0042]8b、输出端转向棍筒11、输入端棍筒
[0043]12、输出端辊筒13、输入夹送辊组
[0044]14、输出夹送辊组17a、输入端转向室
[0045]17b、输出端转向室18、关节轴承
[0046]31、真空预备室32、真空隔离室
[0047]33、一级密封气锁室35、二级密封气锁室
[0048]37、真空蒸发室38、上浮动辊
[0049]39、下固定托辊41、电子枪
[0050]50、真空预热活化室51、真空冷却室
[0051]52、冷却滚筒80a、第一导轨
[0052]80b、第二导轨81、检测头
[0053]82、检测辊筒83b、第一识别装置
[0054]83b、第二识别装置100、金属带材
[0055]104、悬垂高度检测装置116、储带装置
[0056]300、第一顶推机构305、第一辊轴安装臂
[0057]306、第二辊轴安装臂404、第一铰座
[0058]406、第二顶推机构413、销轴
[0059]414、第二铰座412、真空连接室
[0060]501、下密封座502、上密封座
[0061]514、驱动缸518、传动机构
【具体实施方式】
[0062]以下结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
[0063]本实用新型提供一种金属带材的真空镀膜装置，具体地参见图1-图11所示，该真空镀膜装置包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒11和输入夹送辊组13，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒12和输出夹送辊组14，所述金属带材100由所述输入夹送辊组13夹持并向前输送，该金属带材100经由所述输入端辊筒11以及所述输出端辊筒12由所述输出夹送辊组14夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒11与所述输出端辊筒12之间的所述金属带材100至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。
[0064]需要说明的是，输入端辊筒11、输出端辊筒12、输入夹送辊组13和输出夹送辊组14的具体结构形式可以根据需要设置，这些均属于本实用新型的技术构思范围之内。具体地，输入夹送辊组13和输出夹送辊组14均包括相对设置并且朝向相反的方向旋转的两个主动辊，金属带材100夹持于两个主动辊之间。此外，悬链线为常规的技术术语，因此不再赘述。
[0065]本实用新型的金属带材的真空镀膜装置通过使金属带材100由输入夹送辊组13夹持并向前输送，经由输入端辊筒11、真空镀膜室和输出端辊筒12，最终由输出夹送辊组14夹持并牵引向前，其中，金属带材100在真空镀膜室进行真空镀膜加工，与此同时，通过输入夹送辊组13和输出夹送辊组14对金属带材100的夹持阻尼和夹持牵引力，使得输入端辊筒11与输出端辊筒12之间的金属带材100至少部分地形成为悬链线状态，从而避免金属带材100在镀膜过程中产生变形缺陷，进而提高金属带材真空镀膜的良品率。
[0066]在本实用新型的真空镀膜装置中，优选地，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材100的悬垂高度的悬垂高度检测装置104，具体地，所述悬垂高度检测装置104位于所述输入端辊筒11与所述输出端辊筒12之间，更具体地，悬垂高度检测装置104位于输入端辊筒11与输出端辊筒12之间的金属带材100的较低悬垂位置处，进一步具体地，如图2所示，所述悬垂高度检测装置104包括抵接于金属带材100的上下带面且可滑动地安装于第一导轨80a的检测头81和与所述检测头81配合的第一识别装置83a (例如电阻尺或者光栅尺)，该第一识别装置83a位置可调节地安装于第一导轨80a，从而通过该悬垂高度检测装置104能够测得输入端辊筒11与输出端辊筒12之间的金属带材100悬垂高度的变化。
[0067]在本实用新型的真空镀膜装置中，同样优选地，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材100在其自身宽度方向上的位置偏移的偏移检测装置6，所述偏移检测装置6设置于所述真空镀膜室与所述输入端辊筒11之间或者设置于所述真空镀膜室与所述输出端辊筒12之间，具体地，如图3所示，所述偏移检测装置6包括弹性地沿金属带材100的宽度方向抵接于属带材100且可滑动地安装于第二导轨80b的检测辊筒82和与所述检测辊筒82配合的第二识别装置83b (例如电阻尺或者光栅尺)，从而通过该偏移检测装置6能够测得金属带材100在其自身宽度方向的偏移。
[0068]在上述真空镀膜装置中，更优选地，如图4和图5所示，所述输出端辊筒12和所述输入端棍筒11均能够绕预定枢转中心枢转，以调正所述输入端棍筒11与所述输出端棍筒12之间的所述金属带材100，具体地，所述输出端辊筒12和所述输入端辊筒11均包括彼此相对的第一辊轴端和第二辊轴端，所述第一辊轴端通过关节轴承18可枢转地安装于第一棍轴安装臂305的一端,第一棍轴安装臂305的另一端固定于安装基础,所述第二棍轴端通过关节轴承18可枢转地安装于第二辊轴安装臂306的一端，第二辊轴安装臂306的另一端铰接安装于安装基础，所述真空镀膜装置还包括用于顶推第二辊轴安装臂306使得所述第二棍轴端绕所述第一棍轴端的枢转中心枢转的第一顶推机构300,从而当偏移检测装置6检测到金属带材具有宽度方向的偏移时，通过驱动所述第一顶推机构300调正所述输入端辊筒11与所述输出端辊筒12之间的所述金属带材100。
[0069]在本实用新型的真空镀膜装置中，优选地，如图6和图7所示，所述真空镀膜室包括依次连接的多个真空室，各个所述真空室的端部形成有端盖板，所述端盖板中设有供所述金属带材100穿过的通过孔；其中，所述真空镀膜装置还包括位于所述端盖板的一侧且以所述金属带材100为界的下密封座501和上密封座502，所述下密封座501中安装有下固定托辊39，所述上密封座502中安装有能够相对于所述下固定托辊39上下浮动的上浮动辊38,所述上浮动棍38与所述下固定托棍39通过传动机构518 (例如齿轮或者链条)联动转动，所述上浮动辊38与所述上密封座502之间形成有上浮动真空密封间隙，所述下固定托辊39与所述下密封座501之间形成有下真空密封间隙；所述真空镀膜装置还包括用于密封所述上浮动真空密封间隙的上柔性刮板5a以及用于密封所述下真空密封间隙的下柔性刮板5b，所述上柔性刮板5a的一端安装在所述上密封座502上，且另一端抵靠于所述上浮动辊38的外周面上，所述下柔性刮板5b的一端安装在所述下密封座501，且另一端抵靠于所述下固定托辊39的外周面上，具体地，所述下固定托辊39的外周面与所述金属带材100相切，所述真空镀膜装置还包括分别连接于所述上浮动辊38辊轴的两端且用于驱动所述上浮动辊38上下浮动的两个驱动缸514，上浮动辊38和下固定托辊39中可设置有水循环通路，以便通过将液体通入上浮动辊38和下固定托辊39中从而冷却或者加热金属带材100，当上浮动辊38抵靠于金属带材100上时，各个所述真空室相对密封，以便建立真空环境。
[0070]在上述真空镀膜装置中，优选地，如图8、图9和图10所示，所述真空镀膜室包括用于进行镀膜的真空蒸发室37、设置于所述真空蒸发室37的输入侧的并且用于预热活化所述金属带材100的真空预热活化室50、设置于所述真空蒸发室37的输出侧的真空冷却室51以及分别设置于所述真空蒸发室37的输入侧和输出侧的输入端转向室17a和输出端转向室17b，具体地，所述输入转向室17a中设置有与所述输入端辊筒11平行的输入端转向辊筒8a，所述输出端转向室17b中设置有与所述输出端辊筒12平行的输出端转向辊筒8b，所述金属带材100经由所述输入端转向辊筒8a变向后进入所述真空蒸发室37，并且经由所述输出端转向棍筒8b变向后输出，所述输入端转向棍筒8a与所述输出端转向棍筒8b之间的所述金属带材100形成为悬链线状态，所述真空预热活化室50连接有电子枪41，以便加热通过该真空预热活化室50中的金属带材100，所述真空冷却室51中依次设置有多个冷却滚筒52，所述多个冷却滚筒52中设置有水循环通路，金属带材100部分地包覆于所述多个冷却滚筒52的外周面以便冷却经过该真空冷却室51的金属带材。此外，如图1所示，所述真空镀膜室还可包括真空预备室31、真空隔离室32、一级密封气锁室33以及二级密封气锁室
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[0071]需要说明的是真空蒸发室37进行镀膜而连接的装置以及进行镀膜的方法在本领域中属于常规技术手段，因此不再赘述。
[0072]在本实用新型的真空镀膜装置中，进一步优选地，如图11所示，在所述输出夹送辊组14输出侧以及在所述输入夹送辊组13输入侧，所述真空镀膜装置还包括用于储存所述金属带材100的储带装置116,从而能够暂时存储金属带材100。
[0073]同时，本实用新型还提供一种金属带材的真空双面镀膜装置(如图12和图13所示)，包括两组本实用新型的金属带材的真空镀膜装置，其中，所述两组真空镀膜装置依次连接，所述金属带材100包括彼此相对的第一带面和第二带面，所述第一带面在所述两组真空镀膜装置中的一者中镀膜，所述第二带面在所述两组真空镀膜装置中的另一者中镀膜。
[0074]在本实用新型的真空双面镀膜装置中，优选地，所述真空双面镀膜装置还包括连接在所述第一真空镀膜装置的输出端与所述第二真空镀膜装置的输入端之间的真空连接室412，所述第一真空镀膜装置的所述输出端辊筒12和所述第二真空镀膜装置的所述输入端辊筒11设置于真空连接室412中，从而使得在第一真空镀膜装置镀膜后的金属带材100在真空环境中(不暴露于大气环境中)进入第二真空镀膜装置，保证镀膜质量。
[0075]作为所述输出端辊筒12和所述输入端辊筒11的另外的【具体实施方式】，具体地，如图14和图15所示，所述输出端辊筒12和所述输入端辊筒11均包括彼此相对的第一辊轴端和第二辊轴端，所述第一辊轴端铰接安装于第一铰座404，所述第二辊轴端通过设置有销孔的第二铰座414以及容纳于所述销孔的销轴413铰接安装于第二铰座414，第二铰座414通过第二顶推机构406上下移动，从而推动第二辊轴端绕第一辊轴端的铰接点枢转，进而调正所述输入端辊筒11与所述输出端辊筒12之间的所述金属带材100。
[0076]在本实用新型的真空双面镀膜装置中，更优选地，所述真空双面镀膜装置还包括设置于第一真空镀膜装置与第二真空镀膜装置之间的临近所述第二真空镀膜装置的所述输入夹送辊组13的偏移检测装置6，所述第二真空镀膜装置的所述输入夹送辊组13能够绕预定枢转中心枢转，从而当第一真空镀膜装置与第二真空镀膜装置之间的金属带材100发生沿自身宽度方向的偏移时，通过使第二真空镀膜装置的所述输入夹送辊组13绕预定枢转中心枢转而调正发生沿自身宽度方向的偏移的金属带材100。
[0077]此外，本实用新型的真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法，包括通过调节所述输入夹送辊组13的夹持阻尼和/或输送速度，并且/或者调节所述输出夹送辊组14的夹持牵引力和/或输送速度，控制所述输入端辊筒11与所述输出端辊筒12之间的所述金属带材100的悬垂高度，具体地，当悬垂高度检测装置104检测到金属带材100的悬垂高度高于预定位置时，通过降低输入夹送辊组13的夹持阻尼或者增加输入夹送辊组13的输送速度，或者通过降低输出夹送辊组14的夹持牵引力或者降低输出夹送辊组14的输送速度，使得金属带材100的悬垂高度恢复到预定位置，当悬垂高度检测装置104检测到金属带材100的悬垂高度低于预定位置时，通过增加输入夹送辊组13的夹持阻尼或者降低输入夹送辊组13的输送速度，或者通过增加输出夹送辊组14的夹持牵引力或者增加输出夹送辊组14的输送速度，使得金属带材100的悬垂高度恢复到预定位置。
[0078]需要说明的是，所述输入夹送辊组13的夹持阻尼具体是指所述输入夹送辊组13夹送所述金属带材100而产生的对所述金属带材100的阻力。所述输出夹送辊组14的夹持牵引力具体是指所述输出夹送辊组14夹送所述金属带材100而产生的对所述金属带材100的牵引力。
[0079]本实用新型的金属带材的真空镀膜装置通过使金属带材100由输入夹送辊组13夹持并向前输送，经由输入端辊筒11、真空镀膜室和输出端辊筒12，最终由输出夹送辊组14夹持并牵引向前，其中，金属带材100在真空镀膜室进行真空镀膜加工，与此同时，通过输入夹送辊组13和输出夹送辊组14对金属带材100的夹持阻尼和夹持牵引力，使得输入端辊筒11与输出端辊筒12之间的金属带材100至少部分地形成为悬链线状态，从而避免金属带材100在镀膜过程中产生变形缺陷，进而提高金属带材真空镀膜的良品率。
[0080]以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。
[0081]另外需要说明的是，在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0082]此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。
【权利要求】
1.一种金属带材的真空镀膜装置，包括真空镀膜室，其特征在于，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒(11)和输入夹送辊组(13),所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒(12)和输出夹送辊组(14),所述金属带材(100)由所述输入夹送辊组(13)夹持并向前输送，该金属带材(100)经由所述输入端辊筒(11)以及所述输出端辊筒(12)由所述输出夹送辊组(14)夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒(11)与所述输出端辊筒(12)之间的所述金属带材(100)至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材(100)的悬垂高度的悬垂高度检测装置(104),所述悬垂高度检测装置(104)位于所述输入端辊筒(11)与所述输出端辊筒(12)之间。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材(100)在其自身宽度方向上的位置偏移的偏移检测装置￠)，所述偏移检测装置(6)设置于所述真空镀膜室与所述输入端辊筒(11)之间或者设置于所述真空镀膜室与所述输出端辊筒(12)之间。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述输出端辊筒(12)能够绕预定枢转中心枢转，以调正所述输入端辊筒(11)与所述输出端辊筒(12)之间的所述金属带材(100)。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述输出端辊筒(12)包括彼此相对的第一辊轴端和第二辊轴端，所述第一辊轴端和所述第二辊轴端分别可枢转地安装，所述真空镀膜装置还包括用于顶推所述第二辊轴端绕所述第一辊轴端的枢转中心枢转的第一顶推机构(300)。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室包括依次连接的多个真空室，各个所述真空室的端部形成有端盖板，所述端盖板中设有供所述金属带材(100)穿过的通过孔； 其中，所述真空镀膜装置还包括位于所述端盖板的一侧且以所述金属带材(100)为界的下密封座(501)和上密封座(502),所述下密封座(501)中安装有下固定托辊(39),所述上密封座(502)中安装有能够相对于所述下固定托辊(39)上下浮动的上浮动辊(38),所述上浮动辊(38)与所述下固定托辊(39)联动转动，所述上浮动辊(38)与所述上密封座(502)之间形成有上浮动真空密封间隙，所述下固定托辊(39)与所述下密封座(501)之间形成有下真空密封间隙； 所述真空镀膜装置还包括用于密封所述上浮动真空密封间隙的上柔性刮板(5幻以及用于密封所述下真空密封间隙的下柔性刮板(513),所述上柔性刮板(5^的一端安装在所述上密封座(502)上，且另一端抵靠于所述上浮动辊(38)的外周面上，所述下柔性刮板(5?)的一端安装在所述下密封座(501),且另一端抵靠于所述下固定托辊(39)的外周面上。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述下固定托辊(39)的外周面与所述金属带材(100)相切。
8.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括用于驱动所述上浮动辊(38)上下浮动的驱动缸(514).
9.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室包括用于进行镀膜的真空蒸发室(37)以及设置于所述真空蒸发室(37)的输入侧的并且用于预热活化所述金属带材(100)的真空预热活化室(50)。
10.根据权利要求9所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室还包括分别设置于所述真空蒸发室(37)的输入侧和输出侧的输入端转向室(174和输出端转向室(1713),所述输入转向室(174中设置有与所述输入端辊筒(11)平行的输入端转向辊筒(&!),所述输出端转向室(176)中设置有与所述输出端辊筒(12)平行的输出端转向辊筒(油)，所述金属带材(100)经由所述输入端转向辊筒(?)变向后进入所述真空蒸发室(37)，并且经由所述输出端转向棍筒(8)3)变向后输出，所述输入端转向棍筒(84与所述输出端转向辊筒(?)之间的所述金属带材(100)形成为悬链线状态。
11.根据权利要求9所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室还包括设置于所述真空蒸发室(37)的输出侧的真空冷却室(51),该真空冷却室(51)中依次设置有多个冷却滚筒(52),所述金属带材(100)部分地包覆于所述多个冷却滚筒(52)的外周面。
12.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，在所述输出夹送辊组(14)输出侧以及在所述输入夹送辊组(13)输入侧，所述真空镀膜装置还包括用于储存所述金属带材(100)的储带装置(加)。
13.一种金属带材的真空双面镀膜装置，其特征在于，所述真空双面镀膜装置包括两组根据权利要求1-12中任意一项所述的真空镀膜装置，其中，所述两组真空镀膜装置包括依次连接的第一真空镀膜装置和第二真空镀膜装置，所述金属带材(100)包括彼此相对的第一带面和第二带面，所述第一带面在所述第一真空镀膜装置中镀膜，所述第二带面在所述第二真空镀膜装置中镀膜。
14.根据权利要求13所述的真空双面镀膜装置，其特征在于，所述真空双面镀膜装置还包括连接在所述第一真空镀膜装置的输出端与所述第二真空镀膜装置的输入端之间的真空连接室(412),所述第一真空镀膜装置的所述输出端辊筒(12)和所述第二真空镀膜装置的所述输入端辊筒(11)设置于真空连接室(412)中。
【文档编号】C23C14/54GK204125523SQ201420560839
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年9月26日 优先权日:2014年9月26日
【发明者】蒯一希 申请人:蒯一希