技术特征：
技术总结
本发明公开一种镀膜设备的自动取放机构，将一晶圆具一原始状态的多个晶粒，移载到一溅镀机载盘上，其包含一用以水平调整位置的取晶乘载台、一乘载该晶圆移动至该取晶乘载台的一运送装置、一取放该些晶粒的晶粒取放头以及一连接该晶粒取放头于该溅镀机载盘与该取晶乘载台之间往复移动的取放位移装置，其中该晶粒取放头于固定位置抓取该取晶乘载台上的该些晶粒并移至该溅镀机载盘，据此本发明借由先让该晶圆移动至该取晶乘载台，再借该取晶乘载台的位移，让该晶粒取放头可以于固定位置抓取该些晶粒，进而节省该取放位移装置一次定位的时间，借以缩短移载该多个晶粒所需的时间。
技术研发人员：杨智仁;林忠炫;余端仁
受保护的技术使用者：友威科技股份有限公司
技术研发日：2016.04.28
技术公布日：2017.11.07