技术总结
本实用新型公开一种真空镀膜系统用的快速抽真空机组，包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路设于真空镀膜系统的预抽室中，第二抽气管路设于真空镀膜系统的粗抽室中，第一抽气管路与第二抽气管路之间通过旁通管连通，旁通管上设有旁通阀。本快速抽真空机组是在传统真空镀膜系统的抽真空机组结构上进行改进的，其结构简单，改造成本低，但对于粗抽室的抽真空需求来说，具有较好的抽真空效果，同时可实现快速抽真空，缩短抽真空的循环周期，进一步缩短工件镀膜周期，本真空镀膜系统用的快速抽真空机组在试验中，相比传统抽真空机组，其抽真空的循环周期缩短了5～10秒，有效提高了镀膜系统的生产效率。
技术研发人员：朱建明
受保护的技术使用者：肇庆市科润真空设备有限公司
文档号码：201620688639
技术研发日：2016.06.30
技术公布日：2017.01.25