技术总结
本实用新型涉及一种基板翻转装置及包括其的化学机械研磨系统，用于化学机械研磨工艺的基板翻转装置包括：基板夹紧部，其对基板的侧面进行支撑并使得基板翻转旋转；多个可动夹紧部，其与基板的侧面接触，并设置为能够与基板夹紧部的内面靠近及隔开；多个感知部，其个别地对相对于基板夹紧部的可动夹紧部的靠近进行感知，由此，可得到的效果在于，准确地对基板的夹紧(grip)与否进行感知。
技术研发人员：高永学
受保护的技术使用者：K.C.科技股份有限公司
文档号码：201621298208
技术研发日：2016.11.30
技术公布日：2017.06.30