技术特征：
技术总结
本发明提供了一种蒸发源装置。该蒸发源装置包括本体以及加热构件；所述加热构件用于加热蒸镀材料形成蒸镀气体，所述本体设置有用于收容所述蒸镀气体的第一腔体；所述本体包括第一壁体，所述第一壁体的外壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状；所述第一壁体上设有一呈缝隙状的喷射口并与所述第一腔体连通，所述喷射口沿着所述第一壁体的弯曲方向弯曲分布，并将所述第一腔体内的蒸镀气体导出到外界。该方案通过弯曲型的缝隙状喷射口改变蒸镀气体流向，使其更多地沉积到基板上，提高材料利用率，同时，喷射口设计为缝隙状可降低堵孔风险，提高量产的稼动率。
技术研发人员：沐俊应
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.04.18
技术公布日：2017.08.18