一种真空镀膜分流气管的制作方法

文档序号:11468724阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空镀膜分流气管,其特征在于:包括气管主体(1)、下密封盖(2)、气室一(3)、进气接头一(4)、连接管道(5)、隔板(6)、气室二(7)、进气接头二(8)、气室三(9)、进气接头三(10)、气室四(11)、进气接头四(12)、上密封盖(13)、出气孔(14)、分流壳体(15)、出气接头一(16)、总进气接头(17)、出气接头二(18)、出气接头三(19)和出气接头四(20);

所述隔板(6)将气管主体(1)内部从下向上依次均匀分为了气室一(3)、气室二(7)、气室三(9)和气室四(11);

所述下密封盖(2)固定连接在气管主体(1)底部;

所述上密封盖(13)固定连接在气管主体(1)顶部;

所述气室一(3)右侧中央设有进气接头一(4);

所述气室二(7)右侧中央设有进气接头二(8);

所述气室三(9)右侧中央设有进气接头三(10);

所述气室四(11)右侧中央设有进气接头四(12);

所述出气孔(14)为若干个,所述出气孔(14)分别均匀设在气室一(3)、气室二(7)、气室三(9)和气室四(11)的左侧;

所述进气接头一(4)通过连接管道(5)与出气接头一(16)相连通;

所述进气接头二(8)通过连接管道(5)与出气接头二(18)相连通;

所述进气接头三(10)通过连接管道(5)与出气接头三(19)相连通;

所述进气接头四(12)通过连接管道(5)与出气接头四(20)相连通;

所述分流壳体(15)上下左右分别设有出气接头一(16)、出气接头二(18)、出气接头三(19)和出气接头四(20),所述分流壳体(15)内部与总进气接头(17)出口相连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜分流气管,其特征在于:所述气管主体(1)由不锈钢材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜分流气管,其特征在于:所述分流壳体(15)内部呈圆柱形状。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜分流气管,其特征在于:所述总进气接头(17)出口位于分流壳体(15)内部中心。

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