一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法
【技术领域】
[0001]本发明属于显示技术领域，具体涉及一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法。
【背景技术】
[0002]OLED显示基板具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、可实现大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示基板。相比于其他类型的显示器件，OLED显示基板的一大亮点是可以实现柔性显示，即采用可弯曲的柔性基板制成重量轻、可弯曲、便于携带的柔性显示器件。
[0003]柔性OLED显示基板包括形成在柔性基板上的薄膜晶体管阵列和由薄膜晶体管阵列控制的OLED器件的阳极，而OLED器件包括上述阳极、阴极，以及阳极、阴极之间的有机材料层，其中阴极和有机材料层一般是由蒸镀工艺形成的。
[0004]若直接对柔性基板进行蒸镀，由于柔性基板自身柔软，掩膜位置容易错位，在形成薄膜晶体管阵列和阳极的工艺(Array工艺)的过程中难以准确控制。现有技术中柔性OLED显示基板的制作都是先将柔性基板固定到玻璃基板上，并完成Array工艺，之后使用传统的OLED蒸镀设备在其上蒸镀所需结构，待OLED器件完成后，再使用激光照射的技术将柔性基板从玻璃基板上剥落下来。
[0005]发明人发现现有技术中至少存在如下问题:使用传统的OLED蒸镀设备蒸镀，然后再将柔性基板从玻璃基板上剥落下来，这样虽然蒸镀位置准确，但是柔性基板的机械强度不够，稳定性差，剥落过程中极易损坏柔性基板上已经蒸镀好的结构。
【发明内容】
[0006]本发明针对现有的蒸镀柔性基板的方法易损坏柔性基板上已经蒸镀好的结构的问题，提供一种柔性基板蒸镀装置。
[0007]解决本发明技术问题所采用的技术方案是:
[0008]一种柔性基板蒸镀装置，包括:
[0009]至少两个卷轴，用于缠绕和固定柔性基板；
[0010]线源单元，位于两个卷轴之间的柔性基板的一侧，用于蒸镀两个卷轴之间的柔性基板。
[0011]优选的，所述柔性基板蒸镀装置还包括用于确定蒸镀柔性基板的图形的掩膜。
[0012]优选的，所述掩膜设于柔性基板上被蒸镀的一侧面，所述柔性基板和掩膜同时缠绕在卷轴上。
[0013]优选的，所述两个卷轴之间的柔性基板与线源单元之间设有掩膜单元，用于将掩膜固定在两个卷轴之间的柔性基板与线源单元之间。
[0014]优选的，所述卷轴用于带动柔性基板匀速转动。
[0015]优选的，所述卷轴带动柔性基板移动的线速度为0.005?0.05m/so
[0016]优选的，所述柔性基板上非蒸镀的一侧面设有铁磁性材料，所述柔性基板蒸镀装置还包括磁性吸附单元，用于对两个卷轴之间的柔性基板施加引力。
[0017]优选的，所述卷轴上缠绕多层柔性基板，各层柔性基板之间设有间隙。
[0018]优选的，沿卷轴长度方向，在至少两个不同位置的外周分别各设有多个凸起，用于卡住柔性基板，在所述柔性基板上与所述凸起对应的位置处设置有开孔。
[0019]优选的，在远离卷轴表面的方向上，凸起周向尺寸逐渐缩小，沿着柔性基板前进的方向所述柔性基板上的开孔的大小逐渐减小。
[0020]本发明还提供一种柔性基板的蒸镀方法，该方法采用上述的柔性基板蒸镀装置进行蒸镀。
[0021]其中，蒸镀完成后，可以直接更换卷轴，也可以将卷轴上的柔性基板取下，再次缠绕未蒸镀的柔性基板。卷轴上可以缠绕和固定一个柔性基板，也可以缠绕和固定多个连续的柔性基板，即将待蒸镀的柔性基板拼接后缠绕和固定到卷轴上，这样蒸镀的时候可以连续作业。
[0022]本发明的有益效果:
[0023]本发明的柔性基板蒸镀装置，采用卷轴缠绕和固定柔性基板，无需将柔性基板从玻璃基板上剥落，不会损坏柔性基板上已经蒸镀好的结构。本发明的柔性基板蒸镀装置可以实现连续作业，提高生产效率。本发明的柔性基板蒸镀装置适用于蒸镀所有类型的柔性基板。
【附图说明】
[0024]图1为本发明的实施例2的柔性基板蒸镀装置结构示意图；
[0025]图2为本发明的实施例2的柔性基板蒸镀装置的卷轴和柔性基板的结构示意图；
[0026]图3为本发明的实施例2的柔性基板蒸镀装置中卷轴的一种示意图；
[0027]图4为本发明的实施例2的柔性基板蒸镀装置中柔性基板的一种示意图；
[0028]图5为本发明的实施例2的柔性基板蒸镀装置中卷轴的另一种示意图；
[0029]图6为本发明的实施例2的柔性基板蒸镀装置中柔性基板的另一种示意图；
[0030]其中，附图标记为:10、柔性基板；101、开孔；11、卷轴；12、凸起；21、线源单元；31、掩膜单元；32、掩膜；41、磁性吸附单元；42、铁磁性材料。
【具体实施方式】
[0031]为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细描述。
[0032]实施例1:
[0033]本实施例提供一种柔性基板蒸镀装置，包括:
[0034]至少两个卷轴，用于缠绕和固定柔性基板；
[0035]线源单元，位于两个卷轴之间的柔性基板的一侧，用于蒸镀两个卷轴之间的柔性基板。
[0036]本实施例的柔性基板蒸镀装置，采用卷轴缠绕和固定柔性基板，无需将柔性基板从玻璃基板上剥落，不会损坏柔性基板上已经蒸镀好的结构。本发明的柔性基板蒸镀装置可以实现连续作业，提高生产效率。本发明的柔性基板蒸镀装置适用于蒸镀所有类型的柔性基板。
[0037]实施例2:
[0038]本实施例提供一种柔性基板蒸镀装置，如图1-5所示，包括:
[0039]至少两个卷轴11，用于缠绕和固定柔性基板10 ；
[0040]线源单元21，位于两个卷轴11之间的柔性基板10的一侧，用于蒸镀两个卷轴11之间的柔性基板10。
[0041]也就是说，本实施例是先将柔性基板10卷到卷轴11上，蒸镀时卷轴11开始旋转，待蒸镀的柔性基板10在两个卷轴11间传递，开启线源单元21，即可实现准确对两个卷轴11之间的柔性基板10蒸镀。
[0042]优选的，柔性基板10蒸镀装置还包括用于确定蒸镀柔性基板10的图形的掩膜32。
[0043]也就是说，可以根据工艺需要，设置与预蒸镀的柔性基板10的图形相对应的掩膜32，即可实现相应位置的蒸镀。
[0044]优选的，掩膜32设于柔性基板上被蒸镀的一侧面，柔性基板10和掩膜32同时缠绕在卷轴11上。
[0045]作为本实施例的一种实施方式，可以将掩膜32直接贴附到待蒸镀的柔性基板10上，然后将掩膜32和柔性基板10 —并卷到卷轴11上，这样蒸镀的柔性基板的图形是与卷轴11完全相同的，准确无误