由倾动接头的功能。在本实施方式中，荷载传递部由二根按压杆31及二个球面轴承131构成。
[0108]图14是图13所示的球面轴承131的放大图。各球面轴承131具有:与静止环91的顶部一体形成的轴承壳体132 ;以及与轴承壳体132点接触的圆筒突起部133。轴承壳体132具有圆筒状的凹陷部132a。圆筒突起部133与按压杆31的下端形成为一体。圆筒突起部133具有球面状的下端面133a，且该球面状的下端面133a与轴承壳体132的凹陷部132a的底面点接触。
[0109]圆筒突起部133宽松地嵌入凹陷部132a，在球面状的下端面133a与凹陷部132a的底面点接触的状态下，圆筒突起部133可在凹陷部132a内向所有方向倾斜。因此，与圆筒突起部133连接成一体的按压杆31可向多个方向倾斜。轴承壳体132也可与静止环91分体设置。例如，具有圆筒状的凹陷部132a的轴承壳体132也可固定在静止环91的上表面。
[0110]作为可向多个方向倾斜的自由倾动接头的二个球面轴承131，可允许(吸收)局部荷载赋予装置30和保持环20的相对倾斜。因此，即使在局部荷载赋予装置30和保持环20产生倾斜的情况下，在线性导向件38与线性杆39(参照图11)之间也不会产生过大的摩擦阻力，另外按压杆31也不会产生过剩的应力。于是，局部荷载赋予装置30可将想要的局部荷载赋予保持环20。
[0111]图15是表示自由倾动接头的另一实施方式的示图。在图15所示的实施方式中，自由倾动接头140装入二根按压杆31。更具体地说，按压杆31分割为上侧按压杆31A和下侧按压杆31B，上侧按压杆31A与桥架32连接，下侧按压杆31B与静止环91连接。自由倾动接头140设在上侧按压杆31A与下侧按压杆31B之间，将上侧按压杆31A与下侧按压杆31B连结成可倾动。在本实施方式中，何载传递部由一■根技压杆31及自由倾动接头140构成。
[0112]自由倾动接头140具有:上侧接头部件141;下侧接头部件142 ;以及将上侧接头部件141和下侧接头部件142连结成互相旋转自如的枢轴143。如图16所示，上侧接头部件141和下侧接头部件142构成为，能够以枢轴143为中心倾斜。
[0113]图17是表示装入图15所示的自由倾动接头140后的局部荷载赋予装置30及研磨头I的立体图。枢轴143的轴心沿保持环20的径向延伸，自由倾动接头140仅可向垂直于枢轴143轴心的方向倾斜。更具体地说，自由倾动接头140，在二根按压杆31与静止环91连结的部位仅可向保持环20的切线方向倾斜。
[0114]自由倾动接头140可允许(吸收)局部荷载赋予装置30和保持环20的相对倾斜。因此，即使在局部荷载赋予装置30和保持环20产生倾斜的情况下，在线性导向件38与线性杆39(参照图11)之间也不会产生过大的摩擦阻力，另外按压杆31也不会产生过剩的应力。于是，局部荷载赋予装置30可将想要的局部荷载赋予保持环20。
[0115]图18是表示荷载传递部的另一实施方式的示图。在本实施方式中，在图15所示的自由倾动接头140上，组合有图13及图14所示的自由倾动接头(球面轴承)131。在本实施方式中，何载传递部由—.根技压杆31、自由倾动接头140及自由倾动接头(球面轴承)131构成。自由倾动接头140，在二根按压杆31与静止环91连结的部位仅可向保持环20的切线方向倾斜，自由倾动接头131可在360度的范围内向所有方向自由倾斜。本实施方式的其它结构，由于是与图15所示的结构相同的，故省略其重复说明。
[0116]图19是表示荷载传递部的又一实施方式的示图。在本实施方式中，作为按压部件，使用一个按压块150来代替二根按压杆31。自由倾动接头140装入按压块150。更具体地说，按压块150分割为上侧按压块150A和下侧按压块150B，上侧按压块150A与桥架32连接，下侧按压块150B与静止环91连接。自由倾动接头140设在上侧按压块150A与下侧按压块150B之间，将上侧按压块150A与下侧按压块150B连结成可倾动。本实施方式的其它结构，由于是与图15所示的结构相同的，故省略其重复说明。
[0117]图20是表示荷载传递部的又一实施方式的示图。在本实施方式中，在二根按压杆31上，分别装入作为振动吸收部件的弹簧155。本实施方式的其它结构，由于是与图15所示的结构相同的，故省略其重复说明。
[0118]弹簧155装入下侧按压杆31B，并构成为，对因研磨垫2的表面凹凸等引起的保持环20的上下方向的振动进行吸收。另外，弹簧155也可装入上侧按压杆31A。采用本实施方式，自由倾动接头140可允许(吸收)局部荷载赋予装置30和保持环20的相对倾斜，且作为振动吸收部件的弹簧155可吸收保持环20的上下方向的振动。因此，局部荷载赋予装置30可将想要的局部荷载赋予保持环20。
[0119]图21是表示荷载传递部的又一实施方式的示图。在本实施方式中，组合有:图15所示的自由倾动接头140 ;图13及图14所示的自由倾动接头(球面轴承)131 ;以及图20所示的弹簧155。本实施方式的其它结构，由于是与图15所示的结构相同的，故省略其重复说明。
[0120]在图20及图21所示的实施方式中，也可代替弹簧155，而将橡胶用作为振动吸收部件。
[0121]上述的实施方式，是以本发明所属的技术领域中具有通常知识的人员能实施本发明为目的而描述的。上述实施方式的各种变形例若是技术人员就当然可实施，本发明的技术构思还可适用于其它的实施方式。因此，本发明不限于所描述的实施方式，应由基于权利要求书所定义的技术构思的最大范围来解释。
【主权项】
1.一种研磨装置，其特征在于，具有: 头主体，该头主体使基板旋转并将该基板按压到研磨面； 保持环，该保持环围住所述基板地配置，与所述头主体一起旋转并按压所述研磨面； 旋转环，该旋转环固定于所述保持环，与所述保持环一起旋转； 静止环，该静止环配置在所述旋转环上；以及 局部荷载赋予装置，该局部荷载赋予装置通过所述旋转环及所述静止环而将局部荷载施加于所述保持环的一部分， 所述旋转环具有与所述静止环接触的多个辊。2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述多个辊分别具有:轴承；以及安装于所述轴承的外圈的轮，所述轮由树脂或橡胶构成。3.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述旋转环具有辊壳体，该辊壳体形成有收容所述多个辊的环状凹部。4.如权利要求3所述的研磨装置，其特征在于，还具有与所述静止环连接的吸引管线， 所述吸引管线与由所述环状凹部形成的空间连通。5.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，还具有配置在所述旋转环与所述静止环之间的密封件。6.如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述密封件是迷宫式密封件。7.如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述密封件是将所述旋转环与所述静止环之间的间隙封住的接触式密封件。8.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述静止环具有与所述多个辊接触的圆环轨道。9.一种研磨装置，其特征在于，具有: 头主体，该头主体使基板旋转并将该基板按压到研磨面； 保持环，该保持环围住所述基板地配置，与所述头主体一起旋转并按压所述研磨面； 静止环，该静止环配置在所述保持环的上方；以及 局部荷载赋予装置，该局部荷载赋予装置通过所述静止环而将局部荷载施加于所述保持环的一部分， 所述局部荷载赋予装置具有与所述静止环连结的荷载传递部， 所述荷载传递部具有允许所述局部荷载赋予装置和所述保持环的相对倾斜的机构。10.如权利要求9所述的研磨装置，其特征在于，所述机构是自由倾动接头。11.如权利要求10所述的研磨装置，其特征在于，所述自由倾动接头，在所述荷载传递部与所述静止环连结的部位仅可向所述保持环的切线方向倾斜。12.如权利要求11所述的研磨装置，其特征在于，所述荷载传递部具有: 与所述静止环连结的按压部件；以及 固定于所述按压部件的所述自由倾动接头。13.如权利要求10所述的研磨装置，其特征在于，所述自由倾动接头可向多个方向倾斜。14.如权利要求13所述的研磨装置，其特征在于，所述荷载传递部具有: 用于传递所述局部荷载的二个按压杆；以及 将所述二个按压杆分别支承成倾动自如的二个球面轴承， 所述自由倾动接头由所述二个球面轴承构成。15.如权利要求14所述的研磨装置，其特征在于，所述二个球面轴承具有: 二个轴承壳体；以及 分别与所述二个轴承壳体点接触的二个突起部。16.如权利要求10所述的研磨装置，其特征在于，所述荷载传递部还具有振动吸收部件。17.如权利要求16所述的研磨装置，其特征在于，所述振动吸收部件是弹簧。18.如权利要求16所述的研磨装置，其特征在于，所述振动吸收部件是橡胶。
【专利摘要】一种研磨装置，具有：保持环，其与头主体一起旋转并按压研磨面；旋转环，其固定于保持环、且与保持环一起旋转；静止环，其配置在旋转环上；以及局部荷载赋予装置，其通过旋转环及静止环而将局部荷载施加于保持环的一部分。旋转环具有与静止环接触的多个辊。采用本发明，可抑制将荷载传递到保持环的辊的磨损，且可防止所产生的磨损粉末向外部流出。
【IPC分类】B24B37/10, B24B37/32, B24B37/30
【公开号】CN105081961
【申请号】CN201510242162
【发明人】锅谷治
【申请人】株式会社荏原制作所
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年5月13日
【公告号】US20150328743