薄，具体而言，优选为25 μ m以下，更优选为15 μ m以下。但是，随着金属掩模10整体的厚度低于25 μπι，金属掩模的耐久性，例如刚性降低，在金属掩模10上容易发生断裂、或变形，另外，会发生难以处理的其它问题。尤其是，在将蒸镀掩模大型化的情况下，这些问题更显著地发生。
[0076]因此，在本发明中，如图1 (a)、图2?图4所示，金属掩模10具有:形成有缝隙15的一般区域1a和厚壁厚于该一般区域1a的厚壁区域10b。而且，通过厚壁区域10b，使金属掩模10的耐久性提高。另外，缝隙15形成于壁厚比厚壁区域1b薄的一般区域10a，因此，可以形成为可在保持金属掩模的耐久性的同时，防止阴影产生的缝隙15。
[0077]在图1(a)所示的金属掩模的方式中，在一般区域1a内形成有缝隙15，沿纵向延伸的厚壁区域1b沿着金属掩模10的外缘设置。厚壁区域1b的配置部位不限定于图示的方式，只要适当配置在难以产生阴影的影响的部位即可。需要说明的是，难以产生阴影的影响的部位是指由蒸镀源和蒸镀掩模的位置关系决定的部位，关于厚壁区域1b的配置部位，也没有任何限定。例如，在由蒸镀源被放出的蒸镀材料以90° ±20°的角度通过金属掩模10的缝隙15的部位，即使在其附近配置厚壁区域10b，也几乎不会受到阴影的影响。因此，在这样的情况下，如图2(c)、(d)、或图3所示，也可以在金属掩模10的端部附近以外的部位配置厚壁区域10b。另外，金属掩模10的端部附近与蒸镀源和蒸镀掩模100的位置关系无关，形成为未形成缝隙的区域，因此，优选为作为配置厚壁区域1b的部位。
[0078]另外，在图1 (a)所示的金属掩模的方式中，沿着金属掩模10的外缘配置有沿纵向延伸的厚壁区域10b，但在该方式中，也可以如图13所示，在厚壁区域1b的横向外侧存在一般区域10a。S卩，在金属掩模的端部附近配置有厚壁区域1b不仅是指沿着金属掩模10的外缘配置厚壁区域10b，还包含以沿着金属掩模的外缘配置一般区域1a的方式在金属掩模10的外周附近配置有厚壁区域1b的概念。这对于以下例示的金属掩模10也相同。
[0079]图2(a)?(d)是表示厚壁区域1b的配置位置的一例的从金属掩模侧观察的正面图，图2(a)中，沿着金属掩模10的外缘配置有沿横向延伸的厚壁区域10b。
[0080]图2(b)中，沿着金属掩模10的外缘配置有沿纵向及横向延伸的厚壁区域10b。即，沿着金属掩模10的外缘全周配置有厚壁区域10b。根据该方式，相较于图1或图2所示的具有厚壁区域1b的金属掩模10，可使蒸镀掩模100的耐久性进一步提高。即，配置有厚壁区域1b的区域越大，越能够提高蒸镀掩模100的耐久性。需要说明的是，这不限定厚壁区域1b的配置区域的大小，而仅就配置有厚壁区域1b的部分而言，与具备未配置有厚壁区域1b的金属掩模的蒸镀掩模相比，可使耐久性提高。
[0081]图2(c)中，在金属掩模10的横向中心位置配置有沿纵向延伸的厚壁区域10b，图2(d)中，在金属掩模10的纵向中心位置配置有沿横向延伸的厚壁区域10b。需要说明的是，在图2(c)、(d)中，为图2(b)所示的方式，即在金属掩模10的外缘全周、及金属掩模10的横向中心位置、或者纵向中心位置配置有厚壁区域10b，但也可以与图1 (a)、图2(b)所示的方式相组合。
[0082]需要说明的是，在图2 (C)、图2 (d)中，在纵向中心位置、或横向中心位置配置有沿横向或纵向延伸的I列厚壁区域10b，但也可以存在多列沿纵向或横向延伸的厚壁区域。另夕卜，也可以在纵向中心位置、或横向中心位置以外的位置配置沿横向或纵向延伸的厚壁区域 1b0
[0083]另外，如图3所示，也可以以格子状配置厚壁区域10b。该方式适于蒸镀掩模100大型化的情况等。需要说明的是，图3中，不仅在一般区域10a，在厚壁区域1b也设有缝隙15。具体而言，图3中，跨过在金属掩模10的纵向大致中心位置沿横向延伸的厚壁区域10b，设有沿纵向延伸的多列缝隙15。S卩，该情况下，可以说在一般区域1a内、及厚壁区域1b内设有缝隙15。
[0084]厚壁区域1b可以如图1 (a)、图2、图3所示，沿纵向或横向延伸，换言之带状连续，也可以如图4所示，隔着规定间隔配置柱状的厚壁区域10b。需要说明的是，图4是图1(a)所示的厚壁区域1b的变形例，但也可以转用在各种厚壁区域1b的配置例。
[0085]对于与一般区域1a的交界部分中的厚壁区域1b的剖面形状也没有特别限定，可以如图1(b)所示，形成为由一般区域1a急剧进入至厚壁区域1b的剖面形状，也可以如图14(a)、(b)所示，将厚壁区域的剖面形状形成为锥状、或阶梯状，使一般区域1a和厚壁区域1b的交界处的厚度的差在外观上平缓。
[0086]对于上述一般区域10a、及厚壁区域1b各自的厚度没有特别限定，但形成有缝隙15的一般区域1a的厚度没有阴影的影响，为可形成高精细的蒸镀图案的厚度，具体而言优选为25 μπι以下，更优选为15 μπι以下。关于下限值，没有特别限定，但从金属加工精度这一点来看，优选为5 μπι以上，更优选为10 μπι以上。需要说明的是，在不具有厚壁区域1b的金属掩模中，在为了防止阴影的影响而使金属掩模的厚度薄至15 μπι以下的厚度的情况下，不仅变得难以处理，而且断裂或变形的风险也变高。如上述说明，在本发明中，因厚壁区域1b的存在，从而金属掩模10的耐久性提高，其结果实现处理性能、或断裂、变形的防止。即，根据具有一般区域10a、及厚壁区域1b的金属掩模10，可同时满足处于折中关系的对防止阴影产生的要求、及对蒸镀掩模的耐久性提高的要求二者。
[0087]关于厚壁区域1b的厚度，没有特别限定，只要满足比一般区域1a的厚度更厚的条件，则可按照一般区域1a的厚度、金属掩模10的大小、厚壁区域1b的配置位置、厚壁区域1b的配置图案等适当设定。从处理性能的提高、断裂或变形的风险降低这一点来看，厚壁区域1b的厚度满足“一般区域1a的厚度+5 μπι”以上的条件，且优选为15 μπι以上，更优选为25 μπι以上的厚度。关于厚壁区域1b的厚度的上限值，没有特别限定，优选为100 μ m以下，更优选为50 μ m以下，特别优选为35 μ m以下。需要说明的是，厚壁区域1b的厚度是指图1(b)中的“t”。
[0088]关于具有上述一般区域1a和厚壁区域1b的金属掩模10的形成方法，没有特别限定，例如准备设有缝隙、或未设有缝隙的金属板，在该金属板的成为厚壁区域1b的部位，使用焊接、粘接等现有公知的接合方法接合金属部件，由此，可以达到厚壁区域10b、及一般区域1a成为一体的金属掩模、或一体型的金属板。该情况下，金属板的厚度、与金属部件的合计厚度为厚壁区域1b的厚度，金属板的厚度直接作为一般区域1a的厚度。另夕卜，在使用未设有缝隙15的金属板形成为厚壁区域1b及一般区域1a为一体的一体型金属板的情况下，之后通过现有公知的方法，例如蚀刻加工法、或激光加工法，在一般区域10a，或根据需要在厚壁区域1b形成缝隙15，由此，可以达到一般区域1a和厚壁区域1b成为一体的金属掩模10。
[0089]除此之外，还准备设有缝隙、或未设有缝隙的金属板，将最终成为厚壁区域1b的金属板的表面进行掩蔽，将该未被进行掩蔽的金属板的表面进行薄型化加工，由此可得到厚壁区域1b及一般区域1a为一体的金属掩模、或一体型的金属板。关于通过薄型化加工形成的金属掩模，如后所述。该情况下，金属板的厚度为厚壁区域1b的厚度，由金属板的厚度扣除被薄型化加工的部分的厚度所得的厚度成为一般区域1a的厚度。
[0090]另外，在具有上述一般区域10a、厚壁区域1b的金属掩模中，为了充分防止阴影产生，如图1(b)、图6所示，还优选为将缝隙15的剖面形状形成为朝向蒸镀源变宽的形状。通过形成为这样的剖面形状，即使出于防止蒸镀掩模100发生变形、提高耐久性的目的而加厚蒸镀掩模整体厚度的情况下，由蒸镀源被放出的蒸镀材料也不会冲撞缝隙15的该表面、或缝隙15的内壁面等，可使蒸镀材料到达蒸镀对象物。更具体而言，将金属掩模10的缝隙15中的下底前端和同一金属掩模10的缝隙15中的上底前端相连结的直线与金属掩模10的底面所成的角度，换言之，在金属掩模10的构成缝隙15的内壁面的厚度方向剖面，缝隙15的内壁面和金属掩模10的与树脂掩模20相接的侧的面(在图示的方式中为金属掩模的下面)所成的角度优选在5°?85°的范围内，更优选在15°?80°的范围内，进一步优选为在25°?65°的范围内。尤其是，在该范围内，也优选角度小于所使用的蒸镀机的蒸镀角度。通过形成为这样的剖面形状，即使出于防止蒸镀掩模100发生变形、提高耐久性的目的而使金属掩模10的厚度较厚的情况下，从蒸镀源放出的蒸镀材料也不会冲撞缝隙15的内壁面等，可以使蒸镀材料到达蒸镀对象物。由此，能够更有效地防止阴影产生。需要说明的是，图8是用于说明阴影的产生和金属掩模10的缝隙15的关系的部分概略剖面图。需要说明的是，在图8(c)中，金属掩模10的缝隙15成为朝向蒸镀源侧变宽的剖面形状，树脂掩模20的开口部25的相向的端面成为大致平行，但是为了更有效地防止阴影的产生，金属掩模10的缝隙、及树脂掩模20的开口部25均优选其剖面形状为朝向蒸镀源侧变宽的形状。
[0091]关于缝隙15的宽度W(参照图1(a))，没有特别限定，但优选以至少比邻接的开口部25间的间距短的方式进行设计。具体而言，如图1(a)所示，在缝隙15沿纵向延伸的情况下，优选为缝隙15的横向的宽度W比横向邻接的开口部25的间距Pl短。同样地，图中未图示，在缝隙15沿横向延伸的情况下，优选为缝隙15的纵向的宽度比纵向邻接的开口部25的间距P2短。另一方面，关于缝隙15沿纵向延伸时的纵向长度L，没有特别限定，只要按照金属掩模10的纵向长度及设于树脂掩模20的开口部25的位置适当设计即可。
[0092]另外，如图11所示，沿纵向或横向连续延伸的缝隙15也可以通过桥部18而被分割成多个。需要说明的是，图11是从蒸镀掩模100的金属掩模10侧观察的正面图，表示图1(a)所示的沿纵向连续延伸的I个缝隙15通过桥部18而被分割成多个(缝隙15a、15b)的例子。根据该方式，通过厚壁区域1b和桥部18的协同效果，可使金属掩模10的耐久性进一步提高，可以使处理性