技术总结
一种研磨液，其包含氧化铈粒子、有机酸A、具有羧酸基或羧酸盐基的高分子化合物B以及水，其中，有机酸A为丙酸，有机酸A的含量相对于研磨液总质量为0.001～1质量％，高分子化合物B的含量相对于研磨液总质量为0.01～0.50质量％，所述研磨液的pH为4.0以上7.0以下。
技术研发人员：太田宗宏;田中孝明;泷泽寿夫;吉川茂;松本贵彬;吉川贵浩;筱田隆
受保护的技术使用者：日立化成株式会社
文档号码：201610843068
技术研发日：2011.12.22
技术公布日：2017.02.22