专利名称：用于提纯有机电致发光材料设备的内加热炉的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空升华提纯炉技术领域，特别涉及一种用于提纯有机电致发光 材料设备的内加热炉。
背景技术：
真空升华提纯原理是利用真空加热条件下物质产生的蒸气压不同，将蒸气压的材 料蒸气通过特定的冷凝方式分离出来。用于提纯有机电致发光材料的设备要求升华区加热 至材料气化升华后，沉积到保温区固化，随着保温区温度不同沉积材料纯度不同以达到提 纯目的。现有技术如ZL200720038758. X公开的一种真空升华提纯炉，该真空升华提纯炉包 括炉体和置于炉体内的炉胆，所述升华炉炉体为电加热炉体，即用电加热炉体对升华炉胆 进行加热。这种结构属于外加热方式，如ZL200720038758.X专利说明书附图所示，其热电 偶装在升华室的炉门上，热电偶与电加热炉炉体上的电热丝距离较远，炉胆内又为真空状 态，热传导较慢，热电偶测得的温度周期较长，容易产生温度过充，从而影响材料升华。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的不足之处，提供一种内加热 方式的用于提纯有机电致发光材料设备的内加热炉，实现测温检测准确和避免温度过充的 现象。本实用新型采用的技术方案包括一个台架，在台架的台面上安装有左端支架、抽 真空软管和右端支架，左端支架和右端支架之间的台面上安装有外加热电炉，外加热电炉 中间有一个圆柱通孔，起内加热炉炉胆作用的石英炉管从该圆柱通孔穿过，石英炉管左右 两端通过左端支架和右端支架支撑并夹紧，所述外加热电炉右端为升华区，中部和左端为 沉积区，起内加热炉炉胆作用的石英炉管内安装有由电热丝支架、电热丝支架内安装的电 热丝和热电偶组成的内加热炉，石英炉管的右端设有炉门，在炉门上安装有加热电极、热电 偶电极和气管，气管左端连接有放置升华材料的料舟，气管右端连接有放气阀。本实用新型与现有技术相比的有益效果是，由于采用内加热炉，热电偶与电热丝 距料舟较近，内加热炉可以直接对料舟进行加热控温，不会产生温度过充的现象，既保证了 材料升华温度，又具有升温速度快，加热效率高的特点，从而节约了能源及升华材料。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1的内加热炉局部放大图。图中1.台架，2.左端支架，3.外加热电炉，4.抽真空软管，5.石英炉管，6.料舟，7.电热丝，8.热电偶，9.电热丝支架，10.右端支架，11.炉门，12.加热电极，13.热电偶电极，14.放气阀，15.气管.具体实施方式
如附图所示，本实用新型有一个台架1，在台架1的台面上安装有左端支架2、抽真 空软管4和右端支架10，左端支架2和右端支架10之间的台面上安装有外加热电炉3，外 加热电炉3中间有一个圆柱通孔，起内加热炉炉胆作用的石英炉管5从圆柱通孔穿过，石英 炉管5左右两端通过左端支架2和右端支架10支撑并夹紧，所述外加热电炉3右端为升华 区，中部和左端为沉积区，起内加热炉炉胆作用的石英炉管5内安装有由电热丝支架9、电 热丝支架9内安装的电热丝7和热电偶8组成的内加热炉，石英炉管5的右端设有炉门11， 在炉门11上安装有加热电极12、热电偶电极13和气管15，气管15左端连接有放置升华材 料的料舟6，气管15右端连接有放气阀14。本实用新型升华区可以内加热或者外加热，也可以同时进行内外加热。需要内加 热时，升华料放入料舟6内，料舟6放入内加热炉中，内加热炉通过气管15、炉门11放置到 起加热炉炉胆作用的石英管5内，炉门11即将内加热炉关闭，然后关闭放气阀14，通过抽真 空软管4抽真空，真空度达到要求后，即可开始加热，电热丝7通过炉门上的加热电极12通 电加热，电热偶8通过炉门上的热电偶电极13控温。
权利要求一种用于提纯有机电致发光材料设备的内加热炉，包括一个台架(1)，抽真空软管(4)和外加热电炉(3)，其特征在于，外加热电炉(3)中间有一个圆柱通孔，起内加热炉炉胆作用的石英炉管(5)从该圆柱通孔穿过，石英炉管(5)左右两端通过左端支架(2)和右端支架(10)支撑并夹紧，石英炉管(5)内安装有由电热丝支架(9)、电热丝支架(9)内安装的电热丝(7)和热电偶(8)组成的内加热炉，石英炉管(5)的右端设有炉门(11)，在炉门(11)上安装有加热电极(12)、热电偶电极(13)和气管(15)，气管(15)左端连接有放置升华材料的料舟(6)，气管(15)右端连接有放气阀(14)。
专利摘要一种用于提纯有机电致发光材料设备的内加热炉，克服了现有技术的外加热电炉热电偶与电加热炉炉体上的电热丝距离较远，热电偶测得的温度周期较长，容易产生温度过充，从而影响材料升华的技术问题，特征是在外加热电炉中间有一个圆柱通孔，起内加热炉炉胆作用的石英炉管从圆柱通孔穿过，石英炉管内安装有由电热丝支架、电热丝和热电偶组成的内加热炉，石英炉管的右端设有炉门，在炉门上安装有加热电极、热电偶电极和气管，气管左端连接有料舟，气管右端连接有放气阀，有益效果是，热电偶与电热丝距料舟较近，可以直接对料舟进行加热和控温，不会产生温度过充的现象，既保证了材料升华温度，又具有升温速度快，加热效率高的特点，从而节约了能源。
文档编号B01D7/00GK201618439SQ20102010973
公开日2010年11月3日 申请日期2010年2月9日 优先权日2010年2月9日
发明者刘志华 申请人:沈阳慧宇真空技术有限公司