一种微纳米材料转移加工装置的制作方法

文档序号:13996376阅读:来源:国知局
一种微纳米材料转移加工装置的制作方法

技术特征:

1.一种微纳米材料转移加工装置,其特征在于,该转移加工装置包括转移平台和显微成像系统,所述转移平台包括载物台、带孔载玻片、气体喷管和三维平移台,所述带孔载玻片夹持于所述三维平移台上固定设置的夹持装置上,所述带孔载玻片位于所述载物台的上方,且所述带孔载玻片与所述载物台之间形成第一间隙,所述气体喷管与所述三维平移台转动连接;所述显微成像系统包括显微镜和显示系统,所述显微镜设置于所述带孔载玻片上方,且所述显微镜的镜头与所述带孔载玻片形成第二间隙。

2.根据权利要求1所述的微纳米材料转移加工装置,其特征在于,所述带孔载玻片上设置至少一个孔。

3.根据权利要求2所述的微纳米材料转移加工装置,其特征在于,所述带孔载玻片上设置的孔的直径为5毫米。

4.根据权利要求2所述的微纳米材料转移加工装置,其特征在于,所述气体喷管转动至所述带孔载玻片正上方时,所述气体喷管的喷气孔与所述孔的中心位于同一竖直轴线上。

5.根据权利要求1所述的微纳米材料转移加工装置,其特征在于,所述气体喷管包括连通的喷气孔和可伸缩管,所述喷气孔的轴线与所述可伸缩管的轴线垂直。

6.根据权利要求1所述的微纳米材料转移加工装置,其特征在于,所述第一间隙设置有第一样品,所述第二间隙设置有第二样品。

7.根据权利要求1所述的微纳米材料转移加工装置,其特征在于,所述显微镜可移动的设置在所述带孔载玻片上方。

8.根据权利要求1所述的微纳米材料转移加工装置,其特征在于,所述载物台上还设置有加热装置。

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