技术总结
本发明提供一种半导体专用设备用的工作轴总成，包括：轴套座、轴套以及工作轴；其中，轴套包括：与轴套座固定连接的轴套部、工作轴位于轴套部内；以及，与轴套部、工作轴均连接的环形固定部，环形固定部上设置有多个通孔；工作轴的侧壁的预设位置上设有第一法兰凸台、第二法兰凸台以及第三法兰凸台；第一法兰凸台内设置有第一差动螺旋机构；第二法兰凸台内设置有第二差动螺旋机构；第三法兰凸台内设置有辅助定位结构。本发明利用差动螺旋传动原理，使工作轴在预定方向上产生微小的角度变化，且该角度变化直接作用在工作轴上，可提高角度调整的效率和精度，同时提高半导体专用设备的稳定性、可靠性以及工作效率，操作简单，具有广泛的应用性。
技术研发人员：张敏杰;张文斌;贺东葛;赵岁花;刘宇光;王仲康;姚立新
受保护的技术使用者：北京中电科电子装备有限公司
文档号码：201611183263
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2017.05.31