技术总结
本发明提供一种气体传感器，包括衬底、加热器、介电层、感测电极和气体敏感膜。衬底具有感测区域和围绕感测区域的周围区域，并且衬底还具有设置在感测区域中的开口。将加热器设置为至少位于开口上面，并且加热器的电阻率约大于6×10-8ohm·m。介电层设置在加热器上。感测电极设置在介电层上。气体敏感膜设置在感测电极上。本发明还提供了使用气体传感器的集成电路器件及其制造方法。
技术研发人员：郑钧文;朱家骅;赖飞龙;林详淇
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
文档号码：201510775915
技术研发日：2015.11.13
技术公布日：2017.01.11