树脂固化膜图案的形成方法、感光性树脂组合物、感光性元件、触摸面板的制造方法以及 ...的制作方法
【专利摘要】本发明的树脂固化膜图案的形成方法的特征在于，其具备：在基材上设置由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及硫醇化合物的感光性树脂组合物构成的感光层的第1工序；通过活性光线的照射使所述感光层的规定部分固化的第2工序；以及除去所述感光层的所述规定部分以外的部分、形成所述感光层的所述规定部分的固化膜图案的第3工序，其中，所述感光性树脂组合物含有肟酯化合物和/或膦氧化物化合物作为所述光聚合引发剂。
【专利说明】树脂固化膜图案的形成方法、感光性树脂组合物、感光性元件、触摸面板的制造方法以及树脂固化膜
【技术领域】
[0001]本发明涉及树脂固化膜图案的形成方法、感光性树脂组合物、感光性元件、触摸面板的制造方法以及树脂固化膜。
【背景技术】
[0002]从个人电脑或电视的大型电子设备到汽车导航、手机、电子词典等小型电子设备以及0A/FA设备等的显示设备中都要使用液晶显示元件或触摸面板(触摸传感器)。这些液晶显示元件或触摸面板中设有由透明导电电极材料构成的电极。作为透明导电电极材料，已知有ITO(铟锡氧化物)、氧化铟及氧化锡，这些材料由于显示高的可见光透射率，因此作为液晶显示元件用基板等的电极材料成为主流。
[0003]触摸面板已经实用化了各种方式，近年来静电电容方式的触摸面板的利用不断发展。静电电容方式触摸面板中，当作为导电体的指尖接触到触摸输入面时，指尖与导电膜之间发生静电电容耦合，形成电容器。因此，静电电容方式触摸面板通过捕捉指尖接触位置处的电荷变化来检测其坐标。
[0004]特别是投影型静电电容方式的触摸面板，由于可进行指尖的多点检测，因此具备可进行复杂的指示这一良好的操作性，因其操作性的优良，作为手机或便携式音乐播放器等具有小型显示装置的设备中的显示面上的输入装置的利用不断发展。
[0005]一般来说，投影型静电电容方式的触摸面板中，为了表现利用X轴和Y轴的2维坐标，多个X电极和与该X电极正交的多个Y电极形成2层结构，作为该电极，使用ITO (铟锡氧化物)。
[0006]但是，由于触摸面板的边框区域是无法检测触摸位置的区域，因此将其边框区域的面积变窄是用于提高产品价值的重要要素。在边框区域上，为了传送触摸位置的检测信号，需要金属配线，而为了谋求边框面积的狭小化，需要将金属配线的宽度变窄。由于ITO的导电性不够高，因此通常金属配线由铜形成。
[0007]但是，上述那样的触摸面板在被指尖接触时，有时水分或盐分等腐蚀成分会从传感区域侵入到内部。腐蚀成分侵入到触摸面板的内部时，金属配线会腐蚀，有可能发生电极与驱动用电路间的电阻的增加或者断线。
[0008]为了防止金属配线的腐蚀，公开了在金属上形成有绝缘层的静电电容方式的投影型触摸面板(例如专利文献I)。该触摸面板中，利用等离子体化学气相沉积法(等离子体CVD法)在金属上形成二氧化硅层，防止了金属的腐蚀。但是，由于该手法使用等离子体CVD法，因此存在需要高温处理而使基材受到限定、制造成本变高等问题。
[0009]另外，作为在所需位置上设置抗蚀剂膜的方法，已知有在规定的基材上设置由感光性树脂组合物构成的感光层、并将该感光层进行曝光、显影的方法(例如专利文献2?4)。另外，在专利文献5及6中公开了通过上述方法形成触摸面板的保护膜。
[0010]现有技术文献[0011]专利文献
[0012]专利文献1:日本特开2011-28594号公报
[0013]专利文献2:日本特开平7-253666号公报
[0014]专利文献3:日本特开2005-99647号公报
[0015]专利文献4:日本特开平11-133617号公报
[0016]专利文献5:日本特开2010-27033号公报
[0017]专利文献6:日本特开2011-232584号公报
【发明内容】
[0018]发明要解决的课题
[0019]利用感光性树脂组合物制作保护膜与等离子体CVD法相比，可期待成本的缩减。但是，如果还考虑到传感区域的保护，则在利用感光性树脂组合物制作保护膜时，树脂固化膜的色调或光透过性等透明性变得重要，要求可以形成固化后透明性尽可能高的膜的感光性树脂组合物。
[0020]另一方面，为了防止铜配线的腐蚀，需要形成透湿度低的保护膜，对于经布图的保护膜，为了降低透湿度，需要如照射活性光线的部分在规定的曝光量下可充分固化这样的提高感光性树脂组合物的感度。但是，在想要通过增加光聚合引发剂的量的方法来提高感度时，具有保护膜带有发黄的倾向，有损透明性。
[0021]另外，本发明人们发现了，在基材上将由感光性树脂组合物构成的感光层以厚度10 μ m以下的薄膜形成、通过将该感光层进行曝光、显影来布图时，具有析像度降低的倾向。此外，对于上述专利文献5或6记载的感光性树脂组合物，虽然可以形成薄的膜且透明性高的保护膜，但在形成图案的方面还有改善的余地。
[0022]本发明的目的在于提供可以形成即使是薄的膜也具有充分的析像度、透明性高且透湿度低的树脂固化膜图案的树脂固化膜图案的形成方法、感光性树脂组合物以及感光性元件。另外，本发明的目的还在于提供树脂固化膜、以及具备树脂固化膜图案作为触摸面板用电极的保护膜的触摸面板的制造方法。
[0023]用于解决课题的手段
[0024]为了解决上述课题，本发明人们进行潜心研究的结果发现，通过使用含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、特定的光聚合引发剂以及硫醇化合物的感光性树脂组合物，即使在形成了薄的膜的感光层时，也可以形成具有充分的分辨率、透明性高且透湿度低的树脂固化膜图案，从而完成了本发明。
[0025]本发明的树脂固化膜图案的形成方法的特征在于，其具备:在基材上设置由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及硫醇化合物的感光性树脂组合物构成的感光层的第I工序；通过活性光线的照射使感光层的规定部分固化的第2工序；以及除去所述感光层的规定部分以外的部分、形成所述感光层的规定部分的固化膜图案的第3工序，其中，所述感光性树脂组合物含有肟酯化合物和/或膦氧化物化合物作为所述光聚合引发剂。
[0026]根据本发明的树脂固化膜图案的形成方法，可以在基材上形成即使是薄的膜也具有充分的析像度、透明性高且透湿度低的树脂固化膜图案。[0027]对于通过本发明的方法发挥上述效果的理由，本发明人们如下考虑。在将感光层制成薄膜时，对于感度降低的主要原因，本发明人们认为这是因为，由于如果感光层的厚度变小，则容易受到来自基材的光散射的影响，产生光晕。在本发明中，本发明人们推测由于肟酯化合物中所含的肟部位或者膦氧化物化合物中所含的膦氧化物部位具有比较高的光分解效率且具有一点点的漏光不会发生分解的适度阈值，因此由漏光产生的影响得到了抑制，其结果获得了充分的分辨率。另外，本发明人们认为，通过并用上述特定的光聚合引发剂和硫醇化合物，可以以可良好维持色调的配合量获得充分的感度，由此兼顾了高的透明性和低的透湿度。
[0028]另外，本发明的树脂固化膜图案的形成方法中，上述感光层优选400?700nm下的可见光透射率的最小值为90%以上。
[0029]在形成触摸面板用电极的保护膜等情况下，考虑到触摸面板的视觉辨认性或美观性，优选树脂固化膜的透明性更高。但是对于现有的感光性树脂组合物，由于使用主要利用了从紫外区域到可见光区域的光的光反应，因此多使用吸收波及到可见光区域的光引发剂成分。另外，需要颜料或染料的用途的情况也多，难以确保透明性。与此相对，根据本发明的树脂固化膜图案的形成方法，通过设置上述特定的感光层并进行活性光线的照射，可以获得感光层的可见光透射率的最小值为90%以上、CIELAB表色系中的b*为-0.2?1.0、并且透湿度足够低的树脂固化膜。
[0030]此时，即使在位于触摸面板的传感区域的电极上形成树脂固化膜图案作为保护膜，也可以充分防止视觉辨认性或美观性受损，可以形成透湿度足够低的保护膜。
[0031]本发明的树脂固化膜图案的形成方法中，可以是上述基材具备触摸面板用电极、形成树脂固化膜图案作为该电极的保护膜。
[0032]另外，本发明的树脂固化膜图案的形成方法中，可以准备具备支撑膜和设置在该支撑膜上的由上述感光性树脂组合物构成的感光层的感光性元件、将该感光性元件的感光层转印至上述基材上来设置感光层。此时，通过使用感光性元件，可以简便地形成膜厚均匀的保护膜。
[0033]本发明还提供一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及硫醇化合物，光聚合引发剂包含肟酯化合物和/或膦氧化物化合物。
[0034]根据本发明的感光性树脂组合物，可以在规定的基材上形成即使是ΙΟμπι以下的厚度的薄膜也具有良好的图案形状、透明性高、透湿度足够低的树脂固化膜图案。
[0035]本发明的感光性树脂组合物优选400?700nm下的可见光线透射率的最小值为90%以上。此时，例如在触摸面板的触摸传感器区域上形成树脂固化膜图案时，可以充分地确保触摸面板的视觉辨认性。
[0036]另外，本发明的感光性树脂组合物优选CIELAB表色系中的b*为-0.2?1.0。此时，例如在触摸面板的触摸传感器区域上形成树脂固化膜图案时，可以充分地确保触摸面板的视觉辨认性。
[0037]本发明还提供一种感光性元件，其具备支撑膜和设置在该支撑膜上的由上述本发明的感光性树脂组合物构成的感光层。
[0038]根据本发明的感光性元件，可以在规定的基材上形成即使是薄的膜也具有良好的图案形状、透明性高、透湿度足够低的树脂固化膜图案。[0039]上述感光层的厚度可以为10 μ m以下。
[0040]本发明还提供一种触摸面板的制造方法，其具备在具有触摸面板用电极的基材上利用上述本发明的感光性树脂组合物形成作为覆盖上述电极的一部分或全部的保护膜的树脂固化膜图案的工序。
[0041]本发明还提供一种由上述本发明的感光性树脂组合物的固化物构成的树脂固化膜。
[0042]发明的效果
[0043]根据本发明，能够提供可以形成即使是薄的膜也具有充分的析像度、透明性高且透湿度低的树脂固化膜图案的树脂固化膜图案的形成方法、感光性树脂组合物以及感光性元件。另外，根据本发明，还可以提供具备树脂固化膜图案作为触摸面板用电极的保护膜的触摸面板的制造方法、以及适合于要求利用薄膜进行保护的用途的树脂固化膜。
[0044]另外，本发明的树脂固化膜图案的形成方法可以优选地用于触摸面板用电极的保护膜等要求利用薄膜进行保护的电子部件的保护膜、特别是静电电容式触摸面板的金属电极的保护膜的形成。
【专利附图】
【附图说明】
[0045]图1为表不本发明的感光性兀件的一个实施方式的不意截面图。
[0046]图2为用于说明本发明的树脂固化膜图案的形成方法的一个实施方式的示意截面图。
[0047]图3为表示静电电容式的触摸面板的一例的示意俯视图。
[0048]图4为表示静电电容式的触摸面板的另一例的示意俯视图。
[0049]图5(a)为图3所不C部分的沿V-V线的部分截面图，图5(b)为表不另一方案的部分截面图。
【具体实施方式】
[0050]以下对用于实施本发明的方式进行详细说明。但本发明并不限定于以下的实施方式。此外，本说明书中，(甲基)丙烯酸是指丙烯酸或者甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯或者与其对应的甲基丙烯酸酯，(甲基)丙烯酰基是指丙烯酰基或者甲基丙烯酰基。另外，(聚)氧化乙烯链是指氧化乙烯基或者聚氧化乙烯基，(聚)氧化丙烯链是指氧化丙烯基或者聚氧化丙烯基。另外，“ (EO)改性”是指具有(聚)氧化乙烯链的化合物，“(PO)改性”是指具有(聚)氧化丙烯链的化合物，“ (EO).(PO)改性”是指具有(聚)氧化乙烯链以及(聚)氧化丙烯链这两者的化合物。
[0051]另外，本说明书中“工序”的用语不仅是指独立的工序，在与其它工序无法明确区别时，只要能实现该工序所预期的作用则也包括在本用语中。另外，本说明书中用“?”表示的数值范围是指将“?”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。
[0052]此外，本说明书中，组合物中的各成分的含量在组合物中含有多个相当于各成分的物质时，如果没有特别说明则是指组合物中存在的该多个物质的合计量。
[0053]图1为表示本发明的感光性元件的一个实施方式的示意截面图。图1所示的感光性元件I由支撑膜10、设置在支撑膜10上的由本发明的感光性树脂组合物构成的感光层20、以及设置在感光层20的与支撑膜10相反侧上的保护膜30构成。
[0054]本实施方式的感光性元件优选用于形成触摸面板用电极的保护膜。
[0055]本说明书中，触摸面板用电极不仅包含位于触摸面板的传感区域上的电极，而且也包含边框区域的金属配线。要设置保护膜的电极可以是其中任一者，也可以是两者。
[0056]作为支撑膜10，可以使用聚合物膜。作为聚合物膜，例如可举出由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚醚砜等构成的膜。
[0057]支撑膜10的厚度从确保被覆性和抑制透过支撑膜10照射活性光线时的析像度降低的观点出发，优选为5?100 μ m、更优选为10?70 μ m、进一步优选为15?40 μ m、特别优选为20?35 μ m。
[0058]构成感光层20的本发明的感光性树脂组合物含有粘合剂聚合物(以下也称为(A)成分)、光聚合性化合物(以下也称为(B)成分)、光聚合引发剂(以下也称为(C)成分)以及硫醇化合物(以下也称为(D)成分)，光聚合引发剂包含肟酯化合物和/或膦氧化物化合物。
[0059]本实施方式中，(A)成分优选是含有来自于(a)(甲基)丙烯酸以及(b)(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元的共聚物。
[0060]作为上述(甲基)丙烯酸烷基酯，例如可以举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯以及(甲基)丙烯酸羟基乙酯。
[0061]上述共聚物可以在结构单元中进一步含有可与上述的(a)成分和/或(b)成分发生共聚的其它单体。
[0062]作为可与上述的(a)成分和/或(b)成分发生共聚的其它单体，例如可以举出(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2，2，2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2，2，3，3-四氟丙酯、(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯腈、二丙酮(甲基)丙烯酰胺、苯乙烯以及乙烯基甲苯。在合成作为㈧成分的粘合剂聚合物时，上述的单体可以单独使用I种，也可以组合使用2种以上。
[0063]作为(A)成分的粘合剂聚合物的重均分子量从析像度的立场出发，优选为10，000?200，000、更优选为15，000?150，000、进一步优选为30，000?150，000、特别优选为30，000?100，000、极其优选为40，000?100，000。此外，重均分子量的测定条件设
为与本申请说明书的实施例相同的测定条件
[0064]对于作为(A)成分的粘合剂聚合物的酸值，从图案性优异的方面出发，优选为75 ?200mgK0H/g、更优选为 75 ?150mgK0H/g、进一步优选为 75 ?120mgK0H/g。
[0065]作为(A)成分的粘合剂聚合物的酸值可以如下测定。精密称取作为酸值测定对象的粘合剂聚合物lg。在上述精密称取的粘合剂聚合物中加入丙酮30g，将其均匀溶解。接着，在上述溶液中滴加适量的作为指示剂的酚酞，使用0.1N的KOH水溶液进行滴定。然后，由下式算出酸值。
[0066]酸值=0.lXVfX56.l/(WpXI)
[0067]式中，Vf表示KOH水溶液的滴定量(mL) ,Wp表示测得的含有粘合剂聚合物的溶液的重量(g)，I表示测得的含有粘合剂聚合物的溶液中的不挥发成分的比例(质量％ )。[0068]此外，在将粘合剂聚合物以与合成溶剂或稀释溶剂等挥发成分混合的状态配合时，在精密称取前预先在比挥发成分的沸点高10°c以上的温度下加热I?4小时以除去挥发成分后测定酸值。
[0069]作为(B)成分的光聚合性化合物，可以使用具有烯键式不饱和基团的光聚合性化合物。
[0070]作为具有烯键式不饱和基团的光聚合性化合物，例如可以举出单官能乙烯基单体、二官能乙烯基单体、具有至少3个可聚合的烯键式不饱和基团的多官能乙烯基单体。
[0071]作为上述单官能乙烯基单体，例如可以举出作为上述(A)成分的优选例的共聚物的合成中使用的单体例示出的(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸烷基酯以及可与它们共聚的单体。
[0072]作为上述二官能乙烯基单体，例如可以举出聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚A聚氧化乙烯聚氧化丙烯二(甲基)丙烯酸酯(2，2-双(4_(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基苯基)丙烷)、双酚A 二缩水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯、多元羧酸(苯二甲酸酐等)与具有羟基及烯键式不饱和基团的物质(丙烯酸羟基乙酯、甲基丙烯酸羟基乙酯等)的酯化物。
[0073]作为上述具有至少3个可聚合的烯键式不饱和基团的多官能乙烯基单体，例如可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等使α，β_不饱和羧酸与多元醇反应而获得的化合物；三羟甲基丙烷三缩水甘油基醚三丙烯酸酯等在含缩水甘油基的化合物上加成α，β_不饱和羧酸而获得的化合物。
[0074]其中，优选含有具有至少3个可聚合的烯键式不饱和基团的多官能乙烯基单体。进而，从电极腐蚀的抑制力以及显影容易性的观点出发，优选含有选自具有来自季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有来自二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物以及具有来自三羟甲基丙烷的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物中的至少I种，更优选含有选自具有来自二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物以及具有来自三羟甲基丙烷的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物中的至少I种。
[0075]这里，上述具有来自二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯是指二季戊四醇与(甲基)丙烯酸的酯化物，该酯化物中还包含用氧化烯基改性了的化合物。上述的酯化物优选一分子中的酯键的数目为6，但也可以混合酯键的数目为I?5的化合物。
[0076]另外，上述具有来自三羟甲基丙烷的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物是指三羟甲基丙烷与(甲基)丙烯酸的酯化物，该酯化物中还包含用氧化烯基改性了的化合物。上述的酯化物优选一分子中的酯键的数目为3，但也可以混合酯键的数目为I?2的化合物。
[0077]上述的化合物可以单独使用I种或者组合使用2种以上。
[0078]在将分子内具有至少3个可聚合的烯键式不饱和基团的单体与单官能乙烯基单体或二官能乙烯基单体组合使用时，对使用的比例没有特别限制，但从获得光固化性以及电极腐蚀的抑制力的观点出发，分子内具有至少3个可聚合的烯键式不饱和基团的单体的比例优选相对于感光性树脂组合物中所含的光聚合性化合物的合计量100质量份为30质量份以上、更优选为50质量份以上、进一步优选为75质量份以上。
[0079]本实施方式的感光性树脂组合物中的(A)成分以及(B)成分的含量相对于(A)成分以及⑶成分的合计量100质量份分别是:优选㈧成分为35~85质量份、⑶成分为15~65质量份，更优选㈧成分为40~80质量份、⑶成分为20~60质量份，进一步优选㈧成分为50~70质量份、⑶成分为30~50质量份，特别优选㈧成分为55~65质量份、(B)成分为35~45质量份。特别是从维持透明性、形成图案的方面出发，(A)成分以及⑶成分的含量优选相对于㈧成分以及⑶成分的合计量100质量份、㈧成分为35质量份以上、更优选为40质量份以上、进一步优选为50质量份以上、特别优选为55质量份以上。
[0080]通过使(A)成分以及⑶成分的含量在上述范围内，可以充分确保涂布性或感光性元件中的膜性、并且获得充分的感度，可以充分地确保光固化性、显影性以及电极腐蚀的抑制力。
[0081]本实施方式的感光性树脂组合物中，作为(C)成分的光聚合引发剂，包含肟酯化合物和/或膦氧化物化合物作为必需成分。通过含有肟酯化合物和/或膦氧化物化合物，可以在基材上形成即使厚度为IOym以下的薄的膜也具有充分的析像度的树脂固化膜图案。另外，还可以形成透明性也优异的树脂固化膜图案。
[0082]作为肟酯化合物，可以举出下述通式(C-1)以及通式(C-2)所示的化合物。从速固化性、透明性的观点出发，优选下述通式(C-1)所示的化合物。
[0083]
【权利要求】
1.一种树脂固化膜图案的形成方法，其具备: 在基材上设置由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及硫醇化合物的感光性树脂组合物构成的感光层的第1工序； 通过活性光线的照射使所述感光层的规定部分固化的第2工序；以及 除去所述感光层的除所述规定部分以外的部分、形成所述感光层的所述规定部分的固化膜图案的第3工序， 其中，所述感光性树脂组合物含有肟酯化合物和/或膦氧化物化合物作为所述光聚合引发剂。
2.根据权利要求1所述的树脂固化膜图案的形成方法，其中，所述感光层在400~700nm下的可见光透射率的最小值为90%以上。
3.根据权利要求1或2所述的树脂固化膜图案的形成方法，其中，所述感光层的CIELAB表色系中的b*为-0.2~1.0。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的树脂固化膜图案的形成方法，其中，所述基材具备触摸面板用电极，形成所述树脂固化膜图案作为该电极的保护膜。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的树脂固化膜图案的形成方法，其中，准备具备支撑膜和设置在该支撑膜上的由所述感光性树脂组合物构成的感光层的感光性元件，将该感光性元件的感光层转印在所述基材上来设置所述感光层。
6.一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及硫醇化合物，所述光聚合引发剂包含肟酯化合物和/或膦氧化物化合物。
7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物，其在400~700nm下的可见光透射率的最小值为90%以上。
8.根据权利要求6或7所述的感光性树脂组合物，其在CIELAB表色系中的b*为-0.2~1.0。
9.一种感光性元件，其具备支撑膜和设置在该支撑膜上的由权利要求6~8中任一项所述的感光性树脂组合物构成的感光层。
10.根据权利要求9所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为10μπι以下。
11.一种触摸面板的制造方法，其具备在具有触摸面板用电极的基材上通过权利要求6~8中任一项所述的感光性树脂组合物形成作为覆盖所述电极的一部分或全部的保护膜的树脂固化膜图案的工序。
12.一种树脂固化膜，其由权利要求6~8中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物构成。
【文档编号】G06F3/041GK103999023SQ201280059908
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2012年12月4日 优先权日:2011年12月5日
【发明者】濑里泰洋, 村上泰治, 山崎宏 申请人:日立化成株式会社