有机电致发光装置的制作方法

专利名称：有机电致发光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在支承基板上具有有机电致发光元件(以下称为有机EL 元件)的有机电致发光装置(以下称为有机EL装置)。
背景技术：
有机EL装置在支承基板上具有排列了多个像素的像素区域，构成 为在上述多个像素的各个中形成了至少具备第一电极层、发光层、以及 第二电极层的有机EL元件。在这种有机EL装置中，当第二电极层由 跨越多个像素的薄膜形成，且该第二电极层的电阻高时，或电阻按不同 部位存在差异时，有机EL装置将产生亮度偏差。特别在将从有机EL 元件射出的光从第二电极层所位于的一侧(与支承基板所位于的一侧相 反侧)射出的顶部发光型有机EL装置中，由于要求第二电极层具有透 光性，所以使第二电极层很薄，因而容易发生因第二电极层的电阻引起 的亮度偏差。
鉴于此，提出了一种通过使用铝等的金属膜来形成在第二电极层的 上层侧或下层侧与第二电极层接触的辅助布线层，由此防止因第二电极 层的电阻引起的亮度偏差的技术，根据该技术，例如，如

图10所示， 辅助布线层88以不遮挡从有机EL元件射出的光的方式，穿过相邻的 像素100a之间而延伸(参照专利文献1 )。
(整体结构)
图1是表示应用了本发明的有机EL装置的电路结构的等效电路 图。图1所示的有机EL装置100中，在第1基板10上具有多条扫 描线3a、在与扫描线3a交叉的方向上延伸的多条数据线6a、和相对扫 描线3a并列延伸的多条电源线3e。而且，笫1基板10中，在矩形形状 的像素区域10a中阵列状配置有多个像素100a。数据线6a与数据线驱 动电路101连接，扫描线3a与扫描线驱动电路104连接。在各像素区域10a中，形成有扫描信号通过扫描线3a被供给到栅电极的开关用薄 膜晶体管30b、保持经由该开关用薄膜晶体管30b从数据线6a供给来 的像素信号的保持电容70、由保持电容70保持的像素信号被供给到栅 电极的驱动用薄膜晶体管30c、在借助该薄膜晶体管30c与电源线3e电 连接时从电源线3e流入驱动电流的第一电极层81 (阳极层)、和在该第 一电极层81与阴极层之间夹持了有机功能层的有机EL元件80。
根据上述结构，当扫描线3a被驱动，开关用薄膜晶体管30b导通 时，此时的数据线6a的电位被保持电容70保持，根据保持电容70所 保持的电荷，决定驱动用薄膜晶体管30c的导通、截止状态。然后，经 由驱动用薄膜晶体管30c的沟道，电流从电源线3e流入第一电极层81， 进而通过有机功能层流入对极层。结果，有机EL元件80根据其中流 动的电纟充量而发光。
在这样构成的有机EL装置100中，多个像素100a分别对应于红色 (R)、绿色(G)、蓝色(B)，由红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)三 个像素100a构成1个像素单元。在本实施方式中，有机EL元件80射 出白色光、或红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的混合色光，像素100a 与红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的哪个对应由后述的滤色器层规定。
另外，在图l所示的结构中，电源线3e与扫描线3a并列，但也可 以采用电源线3e与数据线6a并列的结构。而且，在图l所示的结构中， 利用电源线3e构成了保持电容70，但也可以与电源线3e独立地形成电 容线，由该电容线构成保持电容70。
(有机EL装置的具体结构)
图2 (a)、 (b)分别是从第2基板侧观察应用了本发明的有机EL 装置的平面结构和各构成要素的俯视图，及其J-J，剖面图。其中，在 图2 (b)中省略了滤色器层等的图示。图2 (a)、 (b)中，在本实施方 式的有机EL装置100中，具有作为元件基板的第1基板10、和发挥密 封基板及滤色器层基板双方的功能的第2基板20，第1基板10中，在 形成有多个有机EL元件80的面侧重叠配置第2基板20。第1基板10 和第2基板20通过第1密封材料层91及第2密封材料层92被贴合。 关于该第1密封材料层91和第2密封材料层92的具体结构将在后面说明，第1密封材料层91如图2 (a)中点密集的区域所示，沿着包围像 素区域10a周围的周边区域10c形成为框状。而第2密封材料层92如 图2(a)中点稀疏的区域所示，形成在由第1密封材料层91所包围的 整个区域中。
第1基板10中，在从第2基板20突出的区域上形成有端子102。 而且，在第I基板IO中，利用周边区域10c、和像素区域10a与周边区 域10c夹持的区域，形成有参照图1说明的数据线驱动电路101和扫描 线驱动电路104 (未图示)。
(有机EL元件的结构)
图3 (a)、 (b)是示意表示应用了本发明的有机EL装置的剖面结 构的剖面图，和示意放大表示了 l个像素的放大剖面图。其中，在图3 (a)中，作为有机EL元件，只图示了与红色(R)、绿色(G)、蓝色 (B)对应的3个有机EL元件。
如图3 (a) (b)所示，第1基板10具有由石英基板、玻璃基板、 陶瓷基板、金属基板等构成的支承基板10d。在支承基板10d的表面上 形成有绝缘膜11、 12、 13、 14、 15，在绝缘膜15的上层形成有才几EL 元件80。在本实施方式中，绝缘膜ll、 12、 13、 15由氧化珪膜或氮化 硅膜等形成，绝缘膜14形成为由厚度为1.5-2.0 n m的厚的感光性树脂 构成的平坦化膜。绝缘膜11是基底绝缘层，虽然省略了图示，但利用 绝缘膜ll、 12、 13、 14的层间等，形成有参照图l说明的薄膜晶体管 30b、 30c、保持电容70、各种布线以及各种驱动电路。另外，利用形成 在绝缘膜12、 13、 14、 15中的接触孔，进行在不同层间形成的导电膜 彼此的电连接。
本方式的有机EL装置100是顶部发光型，如箭头L1所示，由于 从支承基板10d观察，光从形成了有机EL元件80—侧射出，所以作 为支承基板10d，可使用氧化铝等的陶瓷、不锈钢等不透明基板。另外， 在绝缘膜14、 15的层间，形成有由铝、银、或这些的合金构成的光反 射层41,通过利用光反射层41反射从有机EL元件80向支承基板10d 射出的光，可射出光。第1基板10中，在绝缘膜15的上层以岛状形成有由ITO膜或IZO 膜等构成的透光性第一电极层81 (阳极/像素电极)，在第一电极层81 的上层，形成有具备用于规定发光区域的开口部的由感光性树脂等构成 的厚的隔壁51。
在第一电极层81的上层，层叠有有机功能层82和透光性的第二电 极层83(阴极)，由第一电极层81、有机功能层82、和第二电极层83 形成了有机EL元件80。在本方式中，有机功能层82和第二电极层83 形成在还包含形成了隔壁51的区域的像素区域10a的整个面或大致全 体面。这里，第二电极层83直接或通过阴极布线被施加恒定电位。
在本实施方式中，有机功能层82具有按顺序层叠了由三芳基胺 (ATP)多聚体构成的空穴注入层、TPD(三苯基二胺)系空穴输送层、 由包含蒽系掺杂物或红荧烯系掺杂物的苯乙烯基胺系材料(基质)构成 的发光层、由三(8-羟基喹啉)铝(Alq3)构成的电子注入层的构造， 在其上层形成有由MgAg等薄膜金属构成的第二电极层83。而且，有 时在有机功能层82与第二电极层83之间，形成由LiF构成的电子注入 緩沖层。这些材料中，构成有机功能层82的各层、和电子注入緩冲层， 可通过使用了加热炉(坩埚)的真空蒸镀法顺序形成。另外，对于构成 第二电极层83等的金属系材料，可采用真空蒸镀法形成，对于构成第 一电极层81的ITO等氧化物材料，可采用ECR等离子溅射法或等离 子枪方式离子喷镀法、磁溅射法等高密度等离子成膜法形成。
在本实施方式中，有机EL元件80射出白色光、或红色(R)、绿 色(G)、蓝色(B)的混合色光。因此，有机EL装置IOO通过利用在 第2基板20中形成在与有机EL元件80对置位置的红色(R )、绿色(G )、 蓝色(B)的滤色器层22 (R)、 (G)、 (B)进行色转换，来进行彩色显 示。即，第2基板20中，在由聚对苯二甲酸乙二酯、丙烯酸树脂、聚 碳酸酯、聚烯等塑料基板、或玻璃基板等构成的透光性支承基板20d(透 光性基板)上，依次形成有红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)滤色器层 22 (R)、 (G)、 (B)、用于防止滤色器层22 (R)、 (G)、 (B)之间光的 泄漏的遮光层23 (黑矩阵层)、透光性平坦化膜24、和由氮氧化硅层等 构成的透光性阻气层25。滤色器层22 (R)、 (G)、 (B)是在透明树脂 粘合剂(binder )中混合了颜料或染料的层，基本上使用红(R )、绿(G )、蓝(B)，但也可以根据目的添加淡蓝、淡青、或白等。关于滤色器层 22 ( R )、 ( G )、 ( B )的厚度，考虑到光线透过率应尽量薄，形成在0.1~1.5 Hm的范围，其厚度有时也根据对应的色而不同。遮光层23由包含黑 色颜料的树脂构成，其厚度比滤色器层22 (R)、 (G)、 (B)厚，优选 是l 2jam左右的厚度，但也可以是其以上的膜厚。另外，有时在第2 基板20上也形成防止紫外线入射的紫外线阻挡、吸收层、光反射防止 层、散热层等功能层。
在这样构成的有机EL装置100中，有机功能层82、作为阴极^f吏用 的第二电极层83、电子注入层等容易因水分而劣化，该劣化将导致电子 注入效果的劣化，产生被称为暗点的非发光部分。因此，在本实施方式 中，同时釆用了将第2基板20作为密封基板与第1基板10贴合的结构、 和针对第l基板IO形成了以下说明的密封膜60的结构。
首先，在第l基板IO上，在第二电极层83的上层中比〗象素区域10a 宽的区域形成密封膜60。作为该密封膜60,在本实施方式中使用了具 有层叠在第二电极层83上的由硅化合物层构成的第1层61、层叠在该 第1层61上的由树脂层构成的第2层62、和层叠在该第2层62上的由 硅化合物层构成的第3层63的层叠膜。第1层61及第3层63由使用 了高密度等离子源的高密度等离子气相生长法、例如等离子枪方式离子 喷镀法、ECR等离子溅射法、ECR等离子CVD、表面波等离子CVD、 ICP-CVD等成膜的氮化珪(SiNx)或氮氧化珪(SiOxNy)等构成，该膜 即使在低温下成膜，也能够作为可靠阻断水分的高密度阻气层发挥功 能。第2层62由树脂层构成，作为将因隔壁51和布线等造成的表面凹 凸平坦化，防止第1层61和第3层63发生龟裂的有机緩冲层发挥功能。
接着，在本实施方式中，如图2 (a)、 (b)、和图3所示，在第l基 板10与第2基板20之间，沿着周边区域10c以矩形框状形成第1密封 材料层91，在由周边区域10c包围的区域全体形成透光性的第2密封材 料层92,第1基板10和第2基板20通过第1密封材料层91和第2密 封材料层92而贴合。在本方式中，对于第1密封材料层91使用了通过 照射紫外线而固化的环氧系粘接剂91a。第2密封材料层92夹设在第1 基板IO与第2基板20之间，成为在树脂96中分散了对第I基板IO与 第2基板的基板间隔进行控制的珠状或纤维状的间隔材料95的构造，第1基板10与第2基板的间隙可由间隔材料95控制。在第2密封材料 层92中，树脂96使用了受热固化的环氧系粘接剂92a。
(辅助阴极层的结构、以及本实施方式的主要效果)
图4是表示在本发明的实施方式1涉及的有机EL装置中形成的辅 助布线层与像素的平面位置关系的说明图。其中，在图4中，对于辅助 布线层的形成区域，用画有右下斜虚线的区域表示，在图4中，对形成 在第2基板20上的遮光层23用画有右上斜线的区域表示。另外，在图 4中，用矩形的实线表示了各像素100a和有机EL元件80。
由于这样构成的有机EL装置100，是将从有机EL元件80射出的 光从第二电极层83所位于一侧(与支承基板10d所位于一侧的相反侧) 射出的顶部发光型，所以对第二电极层83要求具有透光性。因此，第 二电极层83由于膜厚薄，例如被设定为小于10nm，所以在第二电极层 83中，电阻容易因部位不同而偏差，该电阻偏差将导致亮度偏差。
鉴于此，本实施方式中，在第二电极层83的下层侧形成有与第二 电极层83接触的辅助布线层84。在本方式中，辅助布线层84如图3( a )、 (b)和图4所示，以条紋状形成为俯视下至少一部分与多个4象素100a 的各自的发光区域(形成了有机EL元件80的区域)重叠，在1个像 素100a中，2条辅助布线层84平行通过。对于该辅助布线层84而言， 除了不被施加恒定电位地发挥降低第二电极层83全体的电阻、消除偏 差的功能以外，有时还直接或通过阴极布线施加恒定电位。
这里，辅助布线层84由比铝的导电率高的银层或银合金层构成， 形成为近似发挥完全透光性的薄膜厚，例如小于10nm。因此，在本实 施方式中，即4吏以俯视下与^象素100a重叠的方式形成辅助布线层84， 出射光量也不会大幅降低。因此，由于不需要在相邻的像素100a之间 通过辅助布线层84，所以，不需要在相邻的像素100a之间确保用于通 过辅助布线层84的宽阔空间，故可增大像素尺寸。另外，由于不需要 与形成在第2基板20上的遮光层23俯视下完全重叠，所以可缩小遮光 层23的宽度尺寸。从而，根据本实施方式，在像素100a内光出射区域 所占的比例(像素开口率)高。因此，根据本实施方式的有机EL装置 100，可提高亮度，显示高品质的图像。[实施方式2
图5是表示在本发明的实施方式2涉及的有机EL装置中形成的辅 助布线层与像素的平面位置关系的说明图。其中，由于本实施方式的基 本结构与实施方式l相同，所以对于相同的部分标记相同的符号，并省
略对它们的说明。另外，参照图3(a)、 (b),对本实施方式的有机EL 装置的像素的基本结构进行说明。
由于本实施方式的有机EL装置和实施方式1同样也是顶部发光型， 所以对图3 (a)、 (b)所示的第二电极层83要求具有透光性。因此， 第二电极层83由于膜厚被设定得薄，所以在第二电极层83中，电阻容 易因部位不同而偏差，该电阻偏差将导致亮度偏差。因此，本实施方式 也和实施方式1同样，在第二电极层83的下层侧形成有与笫二电极层 83接触的辅助布线层84。对于该辅助布线层84而言，除了不被施加恒 定电位地发挥降低第二电极层83全体的电阻、消除偏差的功能以外， 有时还直接或通过阴极布线施加恒定电位。
在本实施方式中，辅助布线层84如图3 (a)、 (b)和图5所示，以 条紋状形成为俯视下至少一部分与多个像素100a的各自的发光区域(形 成了有机EL元件80的区域)重叠，在1个像素100a中通过宽幅的辅 助布线层84。这里，辅助布线层84由比铝的导电率高的银层或银合金 层构成，形成为大致发挥完全透光性的薄膜厚。因此，在本实施方式中， 即使按照俯视下与像素100a重叠的方式形成辅助布线层84，出射光量 也不会大幅减少。因此，由于不需要在相邻的像素100a之间通过辅助 布线层84，所以，不需要在相邻的像素100a之间确保用于通过辅助布 线层84的宽阔空间，故可增大像素尺寸。另外，由于不需要与形成在 第2基板20上的遮光层23俯视下完全重叠，所以可缩小遮光层23的 宽度尺寸。因此，根据本实施方式，在像素100a内光出射区域所占的 比例(像素开口率)高。
这里，由于辅助布线层84的膜厚比实施方式1的厚，例如为10nm 左右，所以可发挥作为半反射层的功能。因此，在本实施方式中，利用 辅助布线层84 (半反射层)构成光谐振器，将从有机EL元件80射出 的光的光谱调整为与像素100a对应的各种颜色。为了构成该光谐振器， 例如采用使图3 U)、 (b)所示的第一电极层81的膜厚按与像素100a对应的每种颜色而不同的结构，或使第一电极层81与光反射层41之间 夹设的绝缘膜15的膜厚按与像素100a对应的每种颜色而不同的结构。 结果，在辅助布线层84 (半反射层)与光反射层41之间，形成了具备 与像素100a对应的颜色的波长所对应的光路长度的光谐振器。因此， 从各像素100a射出由光谐振器实施了与对应的颜色相应的调整的光、 和不通过辅助布线层84而直接射出的光，上述的光在被滤色器22(R)、 (G)、 (B)进行了色转换后射出。因此，由于从各像素100a射出色纯 度优异的光，所以可显示品质高的彩色图像。
图8是表示在本发明的实施方式5涉及的有机EL装置中形成的辅 助布线层与像素的平面位置关系的说明图。其中，由于本实施方式的基 本结构与实施方式3相同，所以对于相同的部分标记相同的符号，并省 略对它们的说明。另外，参照图3(a)、 (b),对本实施方式的有机EL 装置的像素的基本结构进行说明。
如图8所示，本实施方式也和实施方式3同样，按照通过多个像素 100a的各个的方式，使大致发挥完全透光性的辅助布线层84和发挥数 十％程度的透光性的半反射层85,通过像素100a。当采用上述结构时， 在实施方式3中，多个像素100a的任意一个中都是俯视下半反射层85 与像素100a重叠的面积相等，而在本实施方式中，半反射层85的宽度 尺寸按像素100a所对应的每个颜色而不同，对于半反射层85在各像素 100a中重叠的面积，考虑到滤色器23 (R)、 (G)、 (B)的色转换特性、 有机EL元件80的发光特性、以及各色之间的视觉确认性等，设定为 以下的关系，像素100a (G) <像素100a (B) <像素100a (R)。因 此，根据本实施方式，可显示品质高的彩色图像。
[其他实施方式I
在上述实施方式中，将辅助布线层84及半反射层85形成在第二电 极层83的下层侧，但也可以将辅助布线层84及半反射层85形成在第 二电极层83的上层侧。而且，在上述实施方式中，将辅助布线层84及 半反射层85形成在同一层间，但也可以将辅助布线层84及半反射层85 的一方形成在第二电极层83的下层侧，将另一方形成在笫二电极层83 的上层侧。
在上述实施方式中，将辅助布线层84及半反射层85形成为条紋状， 但也可以形成为格子状。而且，也可以将辅助布线层84及半反射层85 的一方形成为条紋状，将另一方形成为格子状。在上述的实施方式中，举例说明了在顶部发光型有机EL装置100 中，在第2基板20上设置了滤色器层22 (R)、 (G)、 (B)的情况，但 也可以将本发明应用在有机EL元件自身射出各色光的有机EL装置中， 该情况下，第2基板20只作为密封基板发挥功能。
并且，在上述实施方式中，举例说明了彩色显示用有机EL装置100， 但在作为复印机的光学头等进行利用的情况下，也可以将本发明应用到 这样的黑白用有机EL装置中。该情况下，第2基板20也只作为密封 基板发挥功能。
另外，在上述实施方式中，举例说明了将有机功能层82形成在像 素区域10a的整个面的情况，但也可以将本发明应用到在由隔壁51包 围的区域内，采用喷墨法等选择性涂敷了有机功能层，然后定型，在第 一电极层81的上层侧形成了由聚3，4-乙烯二氧蓉吩/聚苯乙烯磺酸 (PEDOT/PSS)等构成的空穴注入层、和发光层所形成的有机功能层 的有机EL装置中。该情况下，发光层例如由聚药衍生物、聚亚苯基衍 生物、聚乙烯基^唑、聚蓉吩衍生物、或者在这些高分子材料中掺杂了二 萘嵌苯系色素、香豆素系色素、若丹明系色素例如红荧烯、二萘嵌苯、9， IO-二笨基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等材料构成。
另外，作为发光层，由于双键7T电子在聚合物链上非极性化的7I共轭系
高分子材料也是导电性高分子，所以，发光性能出色，因此适合使用。 特别是在其分子内具有笏骨架的化合物、即聚芴系化合物更适合使用。 另外，除了这样的材料以外，还可以使用包含共轭系高分子有机化合物 的前体、和用于改变发光特性的至少l种荧光色素的组成物。
[向电子设备的配置例l
参照图9，对搭载了上述实施方式涉及的有机EL装置100的电子 设备进行说明。图9是使用了本发明的有机EL装置的电子设备的说明 图。
图9 (a)表示具备有机EL装置100的便携式个人计算机的结构。 个人计算机2000具有作为显示单元的有机EL装置100和主体部2010。 在主体部2010上，_没有电源开关2001和键盘2002。图9 (b)表示具 备有机EL装置100的移动电话机的结构。移动电话机3000具有多个操作键3001及滚动键3002、和作为显示单元的有机EL装置100。通 过操作滚动键3002，被显示在有机EL装置100中的画面发生滚动。图 9(c)表示应用了有机EL装置100的信息便携终端(PDA: Personal Digital Assistants)的结构。信息便携终端4000具有多个操作键4001 和电源开关4002,以及作为显示单元的有机EL装置100。在操作电源 开关4002后，例如住址名录和日程表等各种信息被显示在有机EL装 置IOO。另外，作为可应用有机EL装置100的电子设备，除了图9(a) (c)所示的以外，还可以举出数码相机、液晶电视、取景器型或监视 直视型的录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本、计算器、文字 处理器、工作站、可视电话、POS终端、具备了触摸屏的设备等。而且， 作为这些各种电子i殳备的显示部，可应用上述的有机EL装置100。
权利要求
1.一种有机电致发光装置，在支承基板的一面侧具有排列了多个像素的像素区域，在所述多个像素的各个中，具有按顺序至少层叠了第一电极层、发光层、和透光性第二电极层的有机电致发光元件，将从所述有机电致发光元件射出的光从所述第二电极层所位于的一侧射出，其特征在于，所述第二电极层形成在所述像素区域的整个面或大致整个面，在所述第二电极层的上层侧或下层侧，形成有与该第二电极层相接的条纹状或格子状的辅助布线层，所述辅助布线层由发挥透光性的膜厚的金属层构成，并且在所述多个像素的各个中形成为，俯视下至少一部分与所述有机电致发光元件重叠。
2. 根据权利要求l所述的有机电致发光装置，其特征在于， 所述辅助布线层由银层或银合金层构成。
3. 根据权利要求1或2所述的有机电致发光装置，其特征在于， 具有与所述支承基板的一面侧对置配置的透光性基板。
4. 根据权利要求3所述的有机电致发光装置，其特征在于，所述透光性基板中，在俯视下与相邻的所述像素所夹持的区域重叠 的区域上，形成有条紋状或格子状的遮光层。
5. 根据权利要求3或4所述的有机电致发光装置，其特征在于，所述透光性基板中，在俯视下与所述多个像素重叠的各区域上，形 成有不同颜色的滤色器。
6. 根据权利要求1至4中任意一项所述的有机电致发光装置，其特 征在于，所述多个有机电致发光元件射出不同颜色的光。
7. 根据权利要求5或6所述的有机电致发光装置，其特征在于，所述辅助布线层与被配置在比该辅助布线层靠向所述支承基板侧 的光反射面之间，形成有构成光谐振器的半反射层。
8. 根据权利要求5至7中任意一项所述的有机电致发光装置，其特征在于，在所述第二电极层的上层侧或下层侧，形成有与该第二电极层相接 的由金属层构成的半反射层，所述半反射层形成为俯视下至少一部分与所述多个像素各自中的 有机电致发光元件重叠，与被配置在比该半反射层靠向所述支承基板侧 的光反射面之间构成光谐振器。
9. 根据权利要求8所述的有机电致发光装置，其特征在于， 所述半反射层由银层、银合金层、铝层或铝合金层构成。
10. 根据权利要求5至9中任意一项所述的有机电致发光装置，其 特征在于，所述半反射层俯视下与所述有机电致发光元件重叠的区域的面积， 根据所述像素所对应的颜色而不同。
全文摘要
本发明提供一种即使形成辅助布线层，也不需要扩展相邻的像素所夹持的区域的宽度的有机EL装置。有机EL装置(100)中，在第二电极层(83)的下层侧形成有与第二电极层(83)接触的辅助布线层(84)。辅助布线层(84)由比铝的导电率高的银层或银合金层构成，形成为大致发挥完全透光性的薄的膜厚。因此，在多个像素(100a)的各个中，即使按照俯视下至少一部分与有机EL元件(80)重叠的方式以条纹状形成辅助布线层(84)，射出光量也不会降低。
文档编号H01L27/32GK101562193SQ20091013394
公开日2009年10月21日 申请日期2009年4月14日 优先权日2008年4月15日
发明者直野秀昭 申请人:精工爱普生株式会社