基板载具的制作方法
【专利摘要】本实用新型的基板载具呈盒状并包括一底板、由底板向上延伸的一环侧壁及由环侧壁相对底板共同围绕出的一容置空间，且环侧壁设有至少一区段部分，其上下延伸有一弹性构件。借助弹性构件的结构设计，可避免在分页工艺中抓取基板载具内所容置的基板时造成基板因撞击载具的环侧壁而导致破片的问题，并相对可提高工艺良率。本实用新型有关于一种配合前述基板载具使用的基板输送装置。
【专利说明】基板载具
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种基板载具。
【背景技术】
[0002] 于一般基板的工艺中，例如太阳能电池片的基板，其一片一片叠置于一基板载具 (例如矩形状之盒体）内，并以机械手臂以吸嘴模组从基板载具内吸(抓）取一片一片叠置的 基板（即所谓"分页"）以进行相关工艺。
[0003] 然而，因目前科技进步，基板在制作上越来越薄，当以机械手臂抓取基板载具内所 容置的基板时，容易造成基板因为撞击到载具的环侧壁而导致破片的问题，因此相对降低 工艺良率，故不理想。 实用新型内容
[0004] 为解决上述技术问题，本实用新型一种基板载具，其呈盒状并包括一底板、由该底 板向上延伸的一环侧壁及由该环侧壁相对该底板共同围绕出的一容置空间，且该环侧壁设 有至少一区段部分，该区段部上下延伸有一弹性构件。
[0005] 本实用新型的一个实施例中，其中该环侧壁的区段部分的设置数量为四个，且该 区段部分彼此之间间隔出一距离。
[0006] 本实用新型的一个实施例中，其中该四个区段部分的每一者的两侧分别由上而下 朝向该底板渐扩倾方向斜出一斜边，该底板呈矩形状并包括四个转角，该四个区段部分分 别呈L形状并分别位于该四个转角，其中该区段部分包括一转折处及一凹槽，且该凹槽上 下延伸凹设于该转折处，该弹性构件包括至少一弹性臂。
[0007] 本实用新型的一个实施例中，其中该弹性臂的纵截面呈倒L形。
[0008] 本实用新型的一个实施例中，其中该弹性臂包括一自由端。
[0009] 本实用新型的一个实施例中，其中该弹性臂呈倒U形、实心长柱状或中空长管状。
[0010] 本实用新型的一个实施例中，还包括一外盒体，该基板载具设于该外盒体内，其中 该弹性臂的数量为数个，且数个该弹性臂彼此之间间隔出一间隙。
[0011] 上述实施例中，其中该基板载具与该外盒体一体成型。
[0012] 上述实施例中，其中该环侧壁凸伸有一环肩部，该环肩部凸设有数个凸缘，该外盒 体开设有数个开孔，且该数个凸缘分别嵌入于该数个开孔。
[0013] 本实用新型的一个实施例中，其中该弹性臂的形状是选自下列群组中的其中之
[0014] 该弹性臂呈实心圆柱状；
[0015] 该弹性臂呈中空圆柱状并包括一外径及一内径，且该外径与该内径的比值大于等 于2. 0的结构设计，从而使得该弹性臂在其径向具有最佳的缓冲功效，以消除基板因撞击 到载具的内壁而导致破片的风险；
[0016] 该弹性臂呈中空圆柱状并包括一长度及一外径，且该长度径与该外径之比值大于 等于2. 0的结构设计，从而使得该弹性臂在其轴向具有最佳之缓冲功效，以消除基板因撞 击到载具之内壁而导致破片的风险；
[0017] 该弹性臂呈矩形状并包括一长度及一宽度，且该长度径与该宽度之比值大于等于 2. 0的结构设计，从而使得该弹性臂在其宽度方向具有最佳之缓冲功效，以消除基板因撞击 到载具之内壁而导致破片的风险；
[0018] 该弹性臂呈矩形状并包括一长度及一厚度，且该长度与该厚度比值大于等于2. 0 的结构设计，从而使得该弹性臂在其厚度方向具有最佳之缓冲功效，以消除基板因撞击到 载具之内壁而导致破片的风险；以及
[0019] 该弹性臂呈矩形状并包括一宽度及一厚度，且该宽度与该厚度比值大于等于2.0 的结构设计，从而使得该弹性臂在其宽度方向具有最佳之缓冲功效，以消除基板因撞击到 载具之内壁而导致破片的风险。
[0020] 本实用新型一种基板载具，借助环侧壁的区段部分上下延伸有弹性构件的结构设 计，当在分页工艺中抓取基板载具内所容置的基板时，该弹性臂具有最佳的缓冲功效以借 此消除基板因撞击到载具的内壁而导致破片的风险，并相对可借以提高工艺良率。
【专利附图】
【附图说明】
[0021] 图1为本实用新型第一较佳具体实施例的立体图。
[0022] 图2为本实用新型第一较佳具体实施例容置基板的剖视图。
[0023] 图3为本实用新型第一较佳具体实施例的使用状态示意图之一。
[0024] 图4为本实用新型第一较佳具体实施例的使用状态示意图之二。
[0025] 图5为本实用新型第一较佳具体实施例的使用状态示意图之三。
[0026] 图6为本实用新型第二较佳具体实施例的立体图。
[0027] 图7系为本实用新型第三较佳具体实施例的立体图。
[0028] 图8为本实用新型第四较佳具体实施例的立体图。
[0029] 图9为本实用新型第五较佳具体实施例的立体图。
[0030] 图10为本实用新型第六较佳具体实施例的立体图。
[0031] 图11为本实用新型第七较佳具体实施例的立体图。
[0032] 图12为本实用新型第七较佳具体实施例的弹性臂的尺寸示意图。
[0033] 图13为本实用新型第七较佳具体实施例的另一弹性臂的尺寸示意图。
[0034] 【符号说明】
[0035] 1基板载具 2底板 21转角
[0036] 22孔洞 3环侧壁 31区段部分
[0037] 311转折处 312凹槽 313斜边
[0038] 32弹性构件 321弹性臂 322自由端
[0039] 33环肩部 331凸缘 34弹性构件
[0040] 341弹性臂 35弹性构件 351弹性臂
[0041] 36弹性构件 361弹性臂 37环侧壁
[0042] 38弹性构件 381弹性臂 39弹性构件
[0043] 391弹性臂 4容置空间 5外盒体
[0044] 51外孔洞 52开孔 53条码标签
[0045] 54金属感应片 6基板输送装置61输送带
[0046] 62喷嘴模组 63分页机构 631吸嘴模组
[0047] 7基板 8基板载具 81底板
[0048] 82弹性臂 83侧边 d内径
[0049] t厚度 D外径 L长度
[0050] W 宽度。
【具体实施方式】
[0051] 请参照图1，其为本实用新型第一较佳具体实施例的立体图，其中显示有一基板载 具1，且此基板载具1大致呈盒状并包括一底板2、由底板2向上延伸的一环侧壁3及由环 侧壁3相对于底板2共同围绕出的一容置空间4,且环侧壁3设有至少一区段部分31，其上 下延伸有一弹性构件32。
[0052] 上述的基板载具1可用于承载各种不同的基板，例如太阳能基板（solar cell substrate)、玻璃基板、石英基板、监宝石基板、半导体晶圆、陶瓷基板、液晶显不面板、有机 /无机EL面板或电路基板（PCB)等。
[0053] 于本实施例中，如图1所示，基板载具1的环侧壁3的区段部分31的数量为四个， 且此四个区段部分31彼此之间间隔出一距离。当然，环侧壁3的区段部分31的数量并不 以此为限，例如亦可设计为二个、三个、五个、六个等。
[0054] 此外，图1所示的基板载具1的底板2于本实施例中呈一矩形状并包括四个转角 21，且环侧壁3的四个区段部分31分别呈L形状并分别位于四个转角21。另外，四个区段 部分31的每一者分别包括一转折处311及一凹槽312,且凹槽312上下延伸凹设于转折处 311。
[0055] 如上所述，基板载具1的底板2于本实施例中呈矩形状，相对的，基板载具1即因 此为呈矩形状的盒状。当然，基板载具1的底板2亦可为任何形状(相对的，基板载具1即 因此可为任何形状的盒状)，例如(但不限制）圆形、正方形、（正）多边形等。
[0056] 再由图1可知，上述的弹性构件32于本实施例中包括至少一弹性臂321，于图1显 示于每一区域具有四个弹性臂321，且此些弹性臂321的每一者彼此之间间隔出一间隙，此 些弹性臂321并各自具有一自由端322。
[0057] 此外，于图1中可看出数个弹性臂321的纵截面呈倒L形，且可看出数个弹性臂 321的横截面为长矩形。当然，数个弹性臂321的横截面亦可为任何形状，例如(但不限制） 正方形、多边形、圆柱形、半圆柱形、圆管形、半圆管形等，且数个弹性臂321的纵截面亦可 为任何形状，例如(但不限制）直(长）条形、倒L形、弧形等。前述的内容将于以下较佳具体 实施例说明。
[0058] 请参照图2,其为本实用新型第一较佳具体实施例容置基板的剖视图。于图2中 显示于上述基板载具1的容置空间4内放置有一片一片叠置的数片基板7,且此数片基板7 如图2所示抵靠于环侧壁3的四个区段部分31的数个弹性臂321。
[0059] 因此，在工艺中要以机械手臂吸(抓)取基板载具1内所放置的基板7时(将于以下 以图式详述)，即进行基板7的分页作业时，借助基板载具1环侧壁3的区段部分31上下延 伸有弹性构件32 (弹性臂321)的结构设计，可避免基板7因撞击基板载具1的环侧壁3而 导致破片的问题，并相对可借以提高工艺良率。
[0060] 再请同时参照图1及图2, 一般基板7制作为矩形状，当基板7放置于上述基板载 具1的容置空间4时，因为环侧壁3的四个区段部分31的每一者的转折处311分别凹设有 一凹槽312,故基板7的四个角落(转角尖锐处）可因为凹槽312所产生的余裕空间而不会 紧触到基板载具1的环侧壁3,并可借以避免基板7的四个角落因紧触而产生无法平顺抓取 并因此导致破片的问题。
[0061] 又由图1及图2可知，基板载具1的环侧壁3四个区段部分31的每一者的两侧分 别由上而下朝向底板2渐扩倾方向斜出一斜边313,而此斜边313可产生一导引作用，亦即 基板7可因为斜边313的导引作用而平顺地放置于容置空间4内。
[0062] 请参照图3,其为本实用新型第一较佳具体实施例的使用状态示意图之一。
[0063] 在使用上，上述的基板载具1设于一外盒体5内，基板载具1的环侧壁3凸伸有一 环肩部33,环肩部33凸设有数个凸缘331，外盒体5对准此数个凸缘而开设有数个开孔52， 当基板载具1设于外盒体5内时，环肩部33可抵靠于外盒体5内的相对部位，且数个凸缘 331分别嵌入于数个开孔52。当然，基板载具1与外盒体5亦可分别制作可相对嵌合(卡合） 的结构，使基板载具1可稳固地容置于外盒体5内。
[0064] 此外，上述的外盒体附设有至少一标签，且前述的至少一标签选自下列群组中之 其中之一：无线射频辨识系统（RFID)标签、条码（Bar Code)标签、无线标签、身份识别（ID) 标签、集成电路（1C)标签、射频（RF)标签及金属感应片。于图3所不的实施例中，在外盒 体5附设一条码标签53及一金属感应片54,其中的条码标签53可记录存有外盒体5的相 关资料，例如外盒体5的尺寸、外盒体5所容纳的基板种类、厂商名称、批号等(其他的无线 射频辨识系统（RFID)标签、无线标签、身份识别（ID)标签、集成电路（1C)标签、射频（RF) 标签等亦具有相似的功能)，而金属感应片54可以在工艺中用以追踪外盒体5及设于外盒 体5内的基板载具1的所在位置。
[0065] 请参照图4所示，其为本实用新型第一较佳具体实施例的使用状态示意图之二。 与图3所示的较佳具体实施例相似，基板载具1设于一外盒体5内，但基板载具1与外盒体 5 -体成型。
[0066] 请参照图5所示，其为本实用新型第一较佳具体实施例的使用状态示意图之三。 之后，上述的基板载具1与外盒体5可以一基板输送装置6进行分页输送作业。如图5所 不，基板输送装置6包括一输送带61，基板载具1设于外盒体5内，且外盒体5置于输送带 61上。
[0067] 此外，上述的基板输送装置6包括一分页机构63及一喷嘴模组62,上述分页机构 63于本实施例中为一机械手臂并包括一吸嘴模组631，且喷嘴模组62与吸嘴模组631分别 朝向基板载具1及外盒体5。
[0068] 在进行分页输送作业时，亦即要对基板载具1内所承载的一层一层叠置的基板7 进行分页输送作业时，喷嘴模组62以大致平行于基板7平面的方向吹出流体，使得一层一 层迭置的基板7之间可产生微小的扰动而使每个基板7之间可产生微小的空隙，之后再以 分页机构63的吸嘴模组631吸(抓）取最上层之基板7以进行后续工艺。
[0069] 换言之，上述的基板输送装置6可将基板载具1内所堆叠的多个基板7由上而下 逐片输送，而吸嘴模组631用以吸取基板载具1内位于最上方的基板7,喷嘴模组62朝向基 板载具1喷射流体，以确保基板载具1内所堆叠的多个基板7可由吸嘴模组631逐片分页 地被吸取后依序输送。
[0070] 再请参照图3,基板载具1的底板2可开设有至少一孔洞22,于本实施例中开设有 数个孔洞22,外盒体5亦开设有相对应的数个外孔洞51，这些对应的孔洞22与外孔洞51 可在工艺中做为外盒体5与基板载具1之间的定位固定之用。
[0071] 请参照图6,其为本实用新型第二较佳具体实施例的立体图。于本实施例中，其主 要结构皆与上述第一较佳具体实施例相同，唯差别在于弹性构件34包括呈倒U形的一弹性 臂341，而本实施例所述的结构设计同样可达成上述第一较佳具体实施例所述的各种功效。
[0072] 请参照图7,其为本实用新型第三较佳具体实施例的立体图。于本实施例中，其主 要结构皆与上述第一较佳具体实施例相同，唯差别在于弹性构件35包括数个呈直条形的 弹性臂351，换言之，由图7可知，数个弹性臂351的横截面为长矩形，且数个弹性臂351的 纵截面为直条形，而本实施例所述的结构设计同样可达成上述第一较佳具体实施例所述的 各种功效。
[0073] 请参照图8,其为本实用新型第四较佳具体实施例的立体图。于本实施例中，其主 要结构皆与上述第一较佳具体实施例相同，唯差别在于弹性构件36所包括的数个呈直条 形的弹性臂361的上端与环侧壁37的上端相连，也就是弹性臂361没有自由端的设计，而 本实施例所述的结构设计同样可达成上述第一较佳具体实施例所述的各种功效。
[0074] 请参照图9,其为本实用新型第五较佳具体实施例的立体图。于本实施例中，其主 要结构皆与上述第一较佳具体实施例相同，唯差别在于弹性构件38包括数个呈实心长柱 状的弹性臂381，换言之，由图9可知，数个弹性臂381的横截面为圆柱形，且数个弹性臂 381的纵截面为长条形，而本实施例所述的结构设计同样可达成上述第一较佳具体实施例 所述的各种功效。
[0075] 请参照图10,其为本实用新型第六较佳具体实施例的立体图。于本实施例中，其 主要结构皆与上述第一较佳具体实施例相同，唯差别在于弹性构件39包括数个呈中空长 管状的弹性臂391，换言之，由图10可知，数个弹性臂391的横截面为圆管形，且数个弹性 臂391的纵截面为长条形，而本实施例所述的结构设计同样可达成上述第一较佳具体实施 例所述的各种功效。
[0076] 请参照图11，其为本实用新型第七较佳具体实施例的立体图。其中显示有一基板 载具8,其包括一底板81及由底板81的至少一侧边83的约略中央处向上延伸之至少一弹 性臂82。于本实施例中，底板81呈矩形状，且于底板81的每个侧边83的约略中央处皆分 别向上延伸有一弹性臂82,于本实施例中，弹性臂82呈实心圆柱状。
[0077] 因此，借助弹性臂82的结构设计，同样可达到避免基板（图未示)的破片问题，并相 对可借以提商工艺良率。
[0078] 上述的弹性臂82并不限于本实施例所述形成在底板81的每个侧边83,其亦可视 需要而改变设计，例如仅在底板81其中的一个侧边83形成一弹性臂82,当在输送过程中， 因为停电等意外造成底板81急停时，该弹性臂82可挡止基板（图未示）而避免其飞出。
[0079] 此外，弹性臂82的数量亦不限于本实施例所述的一个，亦可视需要而改变设计， 例如二个、三个、四个等。
[0080] 请同时参照图12及图13,其中的图12为本实用新型第七较佳具体实施例的弹性 臂的尺寸示意图，图13为本实用新型第七较佳具体实施例的另一弹性臂的尺寸示意图，并 请同时一并参照图11。
[0081] 上述的至少一弹性臂82选自下列群组中的其中之一 ：(a)至少一弹性臂82呈实 心圆柱状(如图11所示）；(b)至少一弹性臂82呈中空圆柱状并包括一外径D及一内径d， 且外径D与内径d的比值大于等于2.0 (如图12所示）；（c)至少一弹性臂82呈中空圆柱 状并包括一长度L及一外径D，且长度L与外径D的比值大于等于2. 0 (如图12所示）；（d) 至少一弹性臂82呈矩形状并包括一长度L及一宽度W，且长度L与宽度W的比值大于等于 2.0 (如图13所示）；（e)至少一弹性臂82呈矩形状并包括一长度L及一厚度t，且长度L 与厚度t之比值大于等于2. 0 (如图13所示）；以及（f)至少一弹性臂82呈矩形状并包括 一宽度W及一厚度t，且宽度W与厚度t之比值大于等于2. 0 (如图13所示)。
[0082] 以上所述各较佳具体实施例中所使用的名词，如：基板载具，实务上亦可以载具内 衬替换之。
[〇〇83] 以上所述仅为本实用新型的较佳具体实施例，其并不用以限制本实用新型，凡在 本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新 型的保护范围之内。
【权利要求】
1. 一种基板载具，其特征在于，其呈盒状并包括一底板、由该底板向上延伸的一环侧壁 及由该环侧壁相对该底板共同围绕出的一容置空间，且该环侧壁设有至少一区段部分，该 区段部上下延伸有一弹性构件。
2. 如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，其中该环侧壁的区段部分的设置数量 为四个，且该区段部分彼此之间间隔出一距离。
3. 如权利要求2所述的基板载具，其特征在于，其中该四个区段部分的每一者的两侧 分别由上而下朝向该底板渐扩方向倾斜出一斜边，该底板呈矩形状并包括四个转角，该四 个区段部分分别呈L形状并分别位于该四个转角，其中该区段部分包括一转折处及一凹 槽，且该凹槽上下延伸凹设于该转折处，该弹性构件包括至少一弹性臂。
4. 如权利要求3所述的基板载具，其特征在于，其中该弹性臂的纵截面呈倒L形。
5. 如权利要求3所述的基板载具，其特征在于，其中该弹性臂包括一自由端。
6. 如权利要求3所述的基板载具，其特征在于，其中该弹性臂呈倒U形、实心长柱状或 中空长管状。
7. 如权利要求3所述的基板载具，其特征在于，还包括一外盒体，该基板载具设于该外 盒体内，其中该弹性臂的数量为数个，且数个该弹性臂彼此之间间隔出一间隙。
8. 如权利要求7所述的基板载具，其特征在于，其中该基板载具与该外盒体一体成型。
9. 如权利要求7所述的基板载具，其特征在于，其中该环侧壁凸伸有一环肩部，该环肩 部凸设有数个凸缘，该外盒体开设有数个开孔，且该数个凸缘分别嵌入于该数个开孔。
10. 如权利要求3所述的基板载具，其特征在于，其中该弹性臂的形状是选自下列群组 中的其中之一： 该弹性臂呈实心圆柱状； 该弹性臂呈中空圆柱状并包括一外径及一内径，且该外径与该内径的比值大于等于 2. 0 ； 该弹性臂呈中空圆柱状并包括一长度及一外径，且该长度与该外径之比值大于等于 2. 0 ； 该弹性臂呈矩形状并包括一长度及一宽度，且该长度与该宽度之比值大于等于2. 0 ; 该弹性臂呈矩形状并包括一长度及一厚度，且该长度与该厚度之比值大于等于2. 0 ; 以及 该弹性臂呈矩形状并包括一宽度及一厚度，且该宽度与该厚度之比值大于等于2. 0。
【文档编号】H01L21/673GK203871307SQ201420296035
【公开日】2014年10月8日 申请日期:2014年6月5日 优先权日:2014年6月5日
【发明者】颜晖展, 朱筱惠 申请人:中勤实业股份有限公司