柔性基板剥离装置及剥离方法与流程

本发明涉及柔性器件制造技术领域，特别是涉及一种柔性基板剥离装置及剥离方法。

背景技术：

随着科技的不断更新与发展，采用柔性基板制成的可弯曲的柔性器件有望成为下一代光电子器件的主流设备，如显示器、芯片、电路、电源、传感器等柔性器件可以实现传统光电子器件所不能实现的功能或用户体验的优势。以柔性显示为例，它是一种在柔性材料构成的基板表面制备器件的方法，如柔性有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体(active-matrixorganiclightemittingdiode，amoled)，需要在硬质基板表面先制备或吸附柔性基板，继而进行器件制备后再将柔性基板从硬质基板上剥离。因此，如何将柔性基板与硬质基板的有效剥离是生产柔性器件的关键技术之一。

目前主流的柔性amoled剥离方式是采用激光烧蚀的方式进行，即在聚合物柔性基板和刚性玻璃基板的界面施加高强度的激光，烧蚀界面层的聚合物，从而实现柔性基板和刚性玻璃基板的剥离。但是，在采用激光烧蚀界面层的聚合物之后，所述柔性基板和所述刚性玻璃基板之间还有轻微粘着力。因此，为了确保不损伤柔性基板，需要采取额外的剥离措施来实现柔性基板和刚性玻璃基板的温和有效剥离。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种柔性基板剥离装置及剥离方法，其能通过胶带的牵拉实现柔性基板和玻璃基板的温和有效剥离，提高了柔性基板剥离工艺的良率，而且所述柔性基板剥离装置的结构简单，未额外增加费用，成本较低。

第一方面，本发明实施例提供了一种柔性基板剥离装置，用于将柔性基板从玻璃基板上剥离，其特征在于，所述柔性基板剥离装置包括胶带输送轮、胶带回收轮、剥离辊和胶带，所述胶带输送轮轴向转动以传送所述胶带，所述胶带包括相对设置的第一表面和第二表面，所述剥离辊的表面与所述胶带的第二表面相接触，所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向移动并压紧所述柔性基板，使得所述柔性基板黏贴在所述胶带的第一表面上，所述胶带回收轮轴向转动以带动所述胶带使得黏贴在所述胶带的第一表面上的柔性基板从所述玻璃基板上剥离。

其中，所述胶带输送轮和所述剥离辊之间的位置设置有第一胶带导向轮，所述胶带回收轮和所述剥离辊之间的位置设置有第二胶带导向轮，所述第一胶带导向轮和所述第二胶带导向轮轴向转动以传送所述胶带，所述第一胶带导向轮和所述第二胶带导向轮的设置还用于确保所述柔性基板紧贴在所述胶带的第一表面上。

其中，所述胶带的传送始端与所述胶带输送轮相连，所述胶带的传送末端与所述胶带回收轮相连，所述胶带输送轮、所述第一胶带导向轮、所述剥离辊、所述第二胶带导向轮和所述胶带回收轮从右至左依次设置。

其中，所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向向右移动；所述胶带输送轮、所述胶带回收轮、所述剥离辊、所述第一胶带导向轮和所述第二胶带导向轮均绕着各自的转轴沿顺时针方向转动。

其中，所述胶带输送轮、所述胶带回收轮、所述第一胶带导向轮和所述第二胶带导向轮的位置不可移动。

其中，所述胶带回收轮轴向转动以回收所述胶带。

其中，所述柔性基板上制备有柔性器件。

其中，所述胶带为可用紫外光照解胶的胶带。

其中，所述柔性基板剥离装置还包括紫外光发射装置，所述紫外光发射装置发射紫外光照射所述胶带的第一表面，使得所述胶带的第一表面失去粘性，从而使得所述柔性基板从所述胶带上剥离。

第二方面，本发明实施例还提供了一种剥离方法，其用于将柔性基板从玻璃基板上剥离，所述剥离方法包括：

提供一柔性基板剥离装置，包括胶带输送轮、胶带回收轮、剥离辊、胶带和紫外光发射装置；

控制所述胶带输送轮以第一预定转速转动以供应所述胶带；

控制所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向移动并压紧所述柔性基板，使得将所述柔性基板黏贴在所述胶带的第一表面上；

控制所述胶带回收轮以第二预定转速转动以带动所述胶带，使得黏贴在所述胶带的第一表面上的所述柔性基板从所述玻璃基板上剥离；

控制所述紫外光发射装置发射紫外光照射所述胶带的第一表面，使得所述胶带的第一表面失去粘性，从而使得所述柔性基板从所述胶带上剥离；

控制所述胶带回收轮以第三预定转速转动以回收所述胶带。

本发明的柔性基板剥离装置及剥离方法，将柔性基板黏贴在可用紫外光照解胶的胶带的粘胶面上，通过胶带的牵拉实现柔性基板和玻璃基板的温和有效剥离，然后使用紫外光照射所述胶带的粘胶面，使得所述胶带的粘胶面失去粘性，从而使得所述柔性基板从所述胶带上剥离，提高了柔性基板剥离工艺的良率，而且该柔性基板剥离装置的结构简单，未额外增加费用，成本较低。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的柔性基板剥离装置的正面结构示意图。

图2为图1所示柔性基板剥离装置各组成部分的运作方向示意图。

图3为使用图1所示柔性基板剥离装置将柔性基板从玻璃基板上剥离的剥离方法流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式是本发明的一部分实施方式，而不是全部实施方式。基在本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施方式，都应属在本发明保护的范围。

此外，以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明中所提到的方向用语，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向，因此，使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本发明，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸地连接，或者一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。若本说明书中出现“工序”的用语，其不仅是指独立的工序，在与其它工序无法明确区别时，只要能实现所述工序所预期的作用则也包括在本用语中。另外，本说明书中用“￣”表示的数值范围是指将“￣”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。在附图中，结构相似或相同的单元用相同的标号表示。

本发明实施例提供了一种柔性基板剥离装置，其能通过胶带牵拉实现柔性基板和玻璃基板的温和有效剥离，提高了产品的良率。此外，该柔性基板剥离装置的结构简单，未额外增加费用，成本较低。以下结合图1-图3对本发明实施例提供的柔性基板剥离装置及剥离方法分别进行详细说明。

请参阅图1，图1为本发明实施例提供的柔性基板剥离装置的正面结构示意图。本发明实施例的柔性基板剥离装置10用于将柔性基板20从玻璃(glass)基板30上剥离。其中，所述柔性基板20设置在所述玻璃基板30上，即所述柔性基板20的第一表面(即下表面)覆盖在所述玻璃基板30上。所述柔性基板20的第二表面(即上表面)上制备有柔性器件(图未示)，在本发明的实施例中，所述柔性器件包括但不限于：有机发光二极管(organiclight-emittingdiode，oled)、薄膜晶体管(thinfilmtransistor，tft)等器件。具体地，在将所述柔性基板20从所述玻璃基板30上剥离时，所述柔性基板20与在其表面上制备的柔性器件作为一个整体从所述玻璃基板30上剥离。

在本发明的实施例中，如图1所示，所述柔性基板剥离装置10包括胶带输送轮11、胶带回收轮12、剥离辊13、第一胶带导向轮14、第二胶带导向轮15和胶带16。

其中，所述胶带输送轮11和所述胶带回收轮12可以轴向转动。具体地，所述胶带输送轮11和所述胶带回收轮12可以绕着其转轴沿顺时针方向转动或沿逆时针方向转动。但是，所述胶带输送轮11和所述胶带回收轮12的位置不可移动，即所述胶带输送轮11和所述胶带回收轮12在所述柔性基板剥离装置10中的位置是固定的。进一步地，所述胶带输送轮11可以轴向转动以传送所述胶带16，并且，所述胶带16的传送始端与所述胶带输送轮11相连，也就是说，所述胶带输送轮11还用于供应所述胶带16；所述胶带回收轮12可以轴向转动以带动所述胶带，并且，所述胶带16的传送末端与所述胶带回收轮12相连，也就是说，所述胶带回收轮12还用于回收所述胶带16。

其中，所述胶带16包括相对设置的第一表面和第二表面。在本发明的实施例中，所述胶带16的第一表面(即粘胶面)向下布置，并对准所述柔性基板20，所述胶带16的第二表面向上布置。

其中，所述剥离辊13可以轴向转动。具体地，所述剥离辊13可以绕着其转轴沿顺时针方向转动或沿逆时针方向转动。并且，所述剥离辊13的位置可以移动，即所述剥离辊13在所述柔性基板剥离装置10中的位置可以改变。其中，所述剥离辊13位于所述胶带输送轮11和所述胶带回收轮12之间的位置，所述剥离辊13的表面与所述胶带16的第二表面相接触，所述剥离辊13的轴向方向与所述胶带16的传送方向相垂直。具体地，所述剥离辊13可以相对于所述柔性基板20沿垂直方向移动并靠近所述柔性基板20。进一步地，所述剥离辊13还可以沿着平行于所述玻璃基板30的方向移动并压紧所述柔性基板20，使得所述柔性基板20黏贴在所述胶带16的第一表面上。

其中，所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15可以轴向转动。具体地，所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15可以绕着其转轴沿顺时针方向转动或沿逆时针方向转动。但是，所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15的位置不可移动，即所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15在所述柔性基板剥离装置10中的位置是固定的。进一步地，所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15可以轴向转动以传送所述胶带16。在本发明的实施例中，所述第一胶带导向轮14位于所述胶带输送轮11和所述剥离辊13之间的位置，所述第二胶带导向轮15位于所述胶带回收轮12和所述剥离辊13之间的位置。从而，所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15的设置可以进一步确保所述柔性基板20紧贴在所述胶带16的第一表面上。

进一步地，所述胶带回收轮12可以轴向转动以带动所述胶带16使得黏贴在所述胶带16的第一表面上的所述柔性基板20从所述玻璃基板30上剥离。在将所述柔性基板20从所述玻璃基板30上剥离完成之后，所述玻璃基板30可以丢弃。

在本发明一实施方式中，所述胶带输送轮11、所述第一胶带导向轮14、所述剥离辊13、所述第二胶带导向轮15和所述胶带回收轮12从右至左依次设置，其中心线连起来形成“u”字形。

在本发明一实施方式中，在将所述柔性基板20从所述玻璃基板30上剥离的过程中，如图2所示，所述胶带输送轮11、所述胶带回收轮12、所述剥离辊13、所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15均绕着各自的转轴沿顺时针方向转动。同时，所述剥离辊13沿着平行于所述玻璃基板30的方向向右移动。

在本发明一实施方式中，所述胶带16为可用紫外光照解胶的胶带。其中，所述胶带16的胶膜涂布厚度为25um。此时，所述胶带16撕开形式的强度为1.2kg/in2。

在本发明一实施方式中，所述柔性基板剥离装置10还包括紫外光发射装置(图未示)，在所述柔性基板20和所述玻璃基板30剥离完成之后，所述紫外光发射装置可以发射紫外光所述胶带16的第一表面，所述胶带16的第一表面在所述紫外光的照射下失去粘性。从而，所述胶带16的第一表面上的胶膜脱落。需要说明的是，采用紫外光照解胶的方式对所述胶带16进行解胶时，不会出现残留胶膜的现象。从而，所述柔性基板20可以进一步从所述胶带16上剥离。至此，剥离所述柔性基板20的制程最终完成。在本发明一实施方式中，所述紫外光发射装置发射所述紫外光照射所述胶带16的第一表面的时长为10s。

需要说明的是，在所述柔性基板20和所述胶带16剥离完成之后，所述胶带回收轮12可以回收已经使用过的所述胶带16。

在本发明一实施方式中，所述柔性基板剥离装置10还包括安装部(图未示)，所述安装部用于实现所述柔性基板剥离装置10的安装固定，并可带动所述胶带输送轮11、所述胶带回收轮12、所述剥离辊13、所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15绕着各自的转轴沿顺时针方向转动或沿逆时针方向转动，还可带动所述剥离辊13相对所述柔性基板20沿垂直方向向上或向下移动，以及带动所述剥离辊13沿着平行于所述柔性基板20(或者所述玻璃基板30)的方向向左或向右移动，即可将所述柔性基板20从所述玻璃基板30上剥离。所述安装部还可带动所述紫外光发射装置相对所述柔性基板20移动，即可将所述柔性基板20从所述胶带16上剥离。

在本发明一实施方式中，所述柔性基板剥离装置10还包括承载部(图未示)，所述承载部用于承载设置在所述玻璃基板30上的所述柔性基板20，所述承载部还用于承载已经从所述玻璃基板30上剥离的黏贴在所述胶带16的第一表面上的所述柔性基板20。

需要说明的是，所述柔性基板20和玻璃基板30之间设置有激光剥离层(图未示)。在本发明一实施方式中，所述激光剥离层的材质为主链含有酰亚胺基团(—co—n—co—)的聚合物(即聚酰亚胺(polyimide，pi))。并且，所述柔性基板20和所述激光剥离层的材质相同。在采用如图1所示的柔性基板剥离装置10实现所述柔性基板20和所述玻璃基板30的剥离之前，可采用激光剥离(laserliftoff，llo)技术，即采用镭射激光(lightamplificationstimulatedemissionradiation，laser)照射所述玻璃基板30的底面以烧蚀所述激光剥离层，从而实现所述柔性基板20和所述玻璃基板30的初次剥离。在本发明一实施方式中，所述激光的能量密度为270-300mj/cm²，所述激光的重叠率为50％，所述激光的波长为308nm或343nm。

在采用所述激光烧蚀所述激光剥离层之后，所述柔性基板20和所述玻璃基板30之间还有轻微分子间作用力。并且，所述激光剥离层和所述玻璃基板30中间仅存在少量空气，在大尺寸柔性基板20剥离时存在较大负压。因此，在采用所述激光烧蚀所述激光剥离层之后，所述柔性基板20和所述玻璃基板30之间还有轻微粘着力。此时，采用如图1所示的柔性基板剥离装置10将所述柔性基板20黏贴在可用紫外光照解胶的胶带16上，首先通过胶带16的牵拉可以在不损伤所述柔性基板20的前提下，进一步实现所述柔性基板20和所述玻璃基板30的温和有效剥离，然后通过对所述胶带16进行紫外光照解胶实现所述柔性基板20和所述胶带16的剥离，从而最终完成剥离所述柔性基板20的制程。

请一并参阅图3，图3为使用图1所示柔性基板剥离装置将柔性基板从玻璃基板上剥离的剥离方法流程图。本发明实施例的剥离方法包括以下步骤：

s1：控制所述胶带输送轮以第一预定转速转动以供应所述胶带。

在本发明一实施方式中，所述胶带输送轮11以第一预定转速沿顺时针方向转动以供应新胶带(即未使用的所述胶带16)。在所述胶带16的传送过程中，依次经过所述第一胶带导向轮14、所述剥离辊13、所述第二胶带导向轮15和所述胶带回收轮。

s2：控制所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向移动并压紧所述柔性基板，使得所述柔性基板黏贴在所述胶带的第一表面上。

其中，所述胶带16包括相对设置的第一表面和第二表面。所述玻璃辊13与所述胶带16的第二表面相接触。所述胶带16的第一表面即为所述胶带16的粘胶面。也就是说，所述柔性基板20黏贴在所述胶带16的粘胶面。

在本发明的一实施方式中，所述剥离方法还包括控制所述玻璃辊13相对于所述玻璃基板30沿垂直方向移动并靠近所述柔性基板20。进一步地，所述剥离辊13沿着平行于所述玻璃基板30的方向从左至右移动并压紧所述柔性基板20，使得所述柔性基板20黏贴在所述胶带16的第一表面上。

其中，所述第一胶带导向轮14位于所述胶带输送轮11和所述剥离辊13之间的位置，所述第二胶带导向轮15位于所述胶带回收轮12和所述剥离辊13之间的位置。从而，所述第一胶带导向轮14和所述第二胶带导向轮15的设置可以进一步确保所述柔性基板20紧贴在所述胶带16的第一表面上。

s3：控制所述胶带回收轮以第二预定转速转动以带动所述胶带，使得黏贴在所述胶带的第一表面上的所述柔性基板从所述玻璃基板上剥离。

可以理解的是，所述胶带回收轮12也绕着其转轴沿顺时针转动。由于所述柔性基板20黏贴在所述胶带16的第一表面上，从而当所述胶带回收轮12以第二预定转速沿顺时针方向转动带动所述胶带16时，通过所述胶带16的牵拉可以使得黏贴在所述胶带16的第一表面上的柔性基板20从所述玻璃基板30上剥离。

s4：控制所述紫外光发射装置发射紫外光照射所述胶带的第一表面，使得所述胶带的第一表面失去粘性，从而使得所述柔性基板从所述胶带上剥离。

在所述柔性基板20从所述玻璃基板30上剥离之后，所述柔性基板20仍然黏贴在所述胶带16的第一表面上。由于所述胶带16为可用紫外光照解胶的胶带，因此可以控制所述紫外光发射装置发射紫外光照射所述胶带16的第一表面以使所述胶带16的第一表面在所述紫外光的照射下失去粘性。从而，所述胶带16的第一表面上的胶膜脱落，使得所述柔性基板20从所述胶带16上剥离。

s5：控制所述胶带回收轮以第三预定转速转动以回收所述胶带。

其中，所述胶带回收轮12与所述胶带16的传送末端相连。从而，所述胶带回收轮12可以轴向转动以回收废胶带(即使用过的胶带16)。在本发明的实施例中，在所述柔性基板20从所述胶带16上剥离之后，所述胶带回收轮12以第三预定转速沿顺时针方向转动以回收所述胶带16。

本发明的柔性基板剥离装置及其剥离方法，在采用激光剥离技术实现柔性基板和玻璃基板的初次剥离之后，将柔性基板黏贴在可用紫外光照解胶的胶带的粘胶面上，通过胶带的牵拉进一步实现柔性基板和玻璃基板的温和有效剥离，然后使用紫外光照射所述胶带的粘胶面，使得所述胶带的粘胶面失去粘性，从而使得所述柔性基板从所述胶带上剥离，提高了柔性基板剥离工艺的良率，而且该柔性基板剥离装置的结构简单，未额外增加费用，成本较低。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含在本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上对本发明实施例所提供的柔性基板剥离装置及剥离方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。